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-   attocube systems高精度レーザー干渉式変位センサ attocube systems高精度レーザー干渉式変位センサピコオーダ、超高速(10MHz)、長作動距離(最大5m)、多様な材質や極端環境(超高真空、高磁場)に対応する変位測定干渉計【レーザー干渉式変位センサ】 
-   Onto Innovation (旧Lumina Instruments)基板用 高速レーザー欠陥スキャナー PrimaScanシリーズ Onto Innovation (旧Lumina Instruments)基板用 高速レーザー欠陥スキャナー PrimaScanシリーズ基板用高速レーザー欠陥スキャナー PrimaScanシリーズ。ガラス基板、半導体基板、ディスプレイ基板などの基板の欠陥を可視化する欠陥検査イメージング装置です。 高速での測定とnm単位の高いPSLパーティクル感度を実現。透明、半透明、不透明の基板に対応。サンプルの大きさから PrimaScan、PrimaScan R&D、PrimaScan Pをラインアップ。最大サンプルサイズ600mm x 600mmに対応。ウエハ入荷検査、ウエハチャックの検査。ブランケットフィルム(膜付きウエハ)の検査。AR/VR/MR用マイクロレンズアレイの内部応力・ギャップ等の検査。フォトレジストのコーティング欠陥検査などに使用いただけます。 
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-   Scigentecペレット・粉体用 異物検査装置 CALPAS Scigentecペレット・粉体用 異物検査装置 CALPAS粉体やペレット・サンプル中の異物を検出 (サイズ, 形状分析による)。粒子のサイズ、色、形状を高速に評価。多彩なサンプル搬送ユニット (乾式, 湿式, ステージ 等)。オフライン、オンラインの両方に対応可能。 
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