全周3D測定

S neox Five Axis は回転と仰角の異なる位置でサンプルを測定し、個々の測定結果から成るグループを生成します。SensoFIVEソフトウェアは、これら個々の表面測定による画像情報を重ね合わせて合成し、サンプル全体の3次元測定結果を高精度に生成します。仰角の異なるデータをマージすることで、鋭角部などの3D形状情報を取得することができます。隣接表面を連結し90°以上の角度も測定可能です。急峻な角度を含む複雑な表面は、影が発生するため1回で全体を計測するのが困難ですが、サンプルを傾けて異なる2点から測定し、その2つの測定形状を合成し、影となっていた表面を含めた形状を明らかにします。測定した個々結果は自動的に合成され、完全な3D形状測定が達成されます。
 
 

3つの測定技術を一台で

共焦点	焦点移動	光干渉

 
 
S neox Five Axis 高性能 3D光学形状測定器は、可動部品を含まない同一センサヘッドで、3つの測定法を提供する画期的な製品です。形状の高速測定（Ai焦点移動）、サブナノメーター粗さ（光干渉）、高い水平方向および垂直方向の解像度を必要とする寸法精度（共焦点）測定まで広範囲のスケールをカバーします。
 
原理の詳細については次の技術情報ページをご参照ください。
光学式非接触3D形状測定の原理
先進的な測定・観察方式