5軸ステージ付き3D測定顕微鏡 S neox Five Axis

SENSOFAR Metrology

S neox Five Axis 光学式3次元測定装置は、高精度回転ステージモジュールと、S neox 3D測定顕微鏡の高度な検査および解析機能を組み合わせています。これにより、指定された位置・角度で自動的に3D表面形状測定を行い、完全な3D形状計測が可能になります。

全周3D測定

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S neox Five Axis は回転と仰角の異なる位置でサンプルを測定し、個々の測定結果から成るグループを生成します。SensoFIVEソフトウェアは、これら個々の表面測定による画像情報を重ね合わせて合成し、サンプル全体の3次元測定結果を高精度に生成します。仰角の異なるデータをマージすることで、鋭角部などの3D形状情報を取得することができます。隣接表面を連結し90°以上の角度も測定可能です。急峻な角度を含む複雑な表面は、影が発生するため1回で全体を計測するのが困難ですが、サンプルを傾けて異なる2点から測定し、その2つの測定形状を合成し、影となっていた表面を含めた形状を明らかにします。測定した個々結果は自動的に合成され、完全な3D形状測定が達成されます。
 
 

 

3つの測定技術を一台で

共焦点 焦点移動 光干渉

 
 
S neox Five Axis 高性能 3D光学形状測定器は、可動部品を含まない同一センサヘッドで、3つの測定法を提供する画期的な製品です。形状の高速測定(Ai焦点移動)、サブナノメーター粗さ(光干渉)、高い水平方向および垂直方向の解像度を必要とする寸法精度(共焦点)測定まで広範囲のスケールをカバーします。
 
原理の詳細については次の技術情報ページをご参照ください。
光学式非接触3D形状測定の原理
先進的な測定・観察方式

・極細工具の3次元形状測定
高分解能な測定が可能な共焦点方式を用いることにより焦点移動法では難しかった極細工具の全周測定が可能です。
 
 
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・工具切れ刃
S neox Five Axis は表面の形状と粗さを計測できます。特に形状については、直径0.5mm以下、切れ刃丸み150nm以下のサンプルを測定できます。高NA値(0.95)の共焦点法では、小さい曲率半径の刃先形状を測定できます。
 
 
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・高精度&高信頼性の表面仕上げ検査
共焦点法及び光干渉法の技術により、非常に粗い面 (例: 積層造形)から、1Åオーダーの高反射率表面 (ダイヤモンドミラー)まで、あらゆる種類の粗さ測定が可能です。NPL, NIST, PTB といった粗さ標準に準拠した再現性とトレーサビリティを提供します。
 
 
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