クリーンルーム対応装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox Cleanroom sensor

SENSOFAR Metrology

クリーンルーム対応。高い柔軟性を持つ装置組込み用顕微鏡ヘッド。さまざまなアプリケーションに適合します。ISO Class 1及びESDの規格に対応。

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概要
主な仕様
関連情報

クリーンルーム内での3D表面粗さ・形状測定

S neox Cleanroom は、光学測定の分野で今までにない画期的な技術の製品です。生産現場での測定、特性評価において最高の多機能性を実現します。

4-in-1テクノロジーと4種類の光源により、変化するアプリケーション要件に対し、比類ない適合性を発揮します。

S neox Cleanroom 信頼性と適合規格

S neoxはISO Class 1及びESDに適合するように設計されており、厳格な検査に合格しています。

S neox Cleanroom 最高のZ分解能

S neox Cleanroomは、オプションでZ軸用ピエゾモーターを搭載可能。更なる高性能を実現。50nmから5mmまでの厚み測定に対応しています。

S neox Cleanroom 自動3D測定

S neox Cleanroomは測定に最適な取得設定を見つける機能を持っており、表面に焦点を合わせるのみで、あとはS neox Cleanroomが自動で測定を行います。

寸法

測定技術


共焦点	白色干渉計 PSI, ePSI, CSI	Ai焦点移動

S neox Cleanroom 光源


630 nm	530 nm	460 nm	575 nm

対物レンズ性能　明視野

倍率	5X	10X	20X	50X	100X	150X
開口径 NA	0.15	0.30	0.45	0.80	0.90	0.90
作動距離 WD (mm)	23.5	17.5	4.5	1.0	1.0	1.5
FOV 視野1 (μm)	3378 x 2826	1689 x 1413	845 x 707	338 x 283	169 x 141	113 x 94
空間サンプリング2(µm)	1.38	0.69	0.34	0.13	0.07	0.05
光学分解能3(µm)	0.94	0.47	0.31	0.18	0.16	0.16
システムノイズ4(nm)	100	30	8	5	3	2
最大傾斜5(º)	9	17	27	44	64	64

対物レンズ性能　干渉

倍率	5X	10X	20X	50X	100X	150X
開口径 NA	0.075	0.13	0.30	0.40	0.55	0.70
作動距離 WD (mm)	10.3	9.3	7.4	4.7	3.4	2.0
FOV 視野1 (μm)	6756 x 5652	3378 x 2826	1689 x 1413	845 x 707	338 x 283	169 x 141
空間サンプリング2(µm)	2.76	1.38	0.69	0.34	0.13	0.07
光学分解能3(µm)	1.87	1.08	0.47	0.35	0.26	0.20
システムノイズ4(nm)	PSI / ePSI 0.1 nm (PZTで0.01 nm) CSI 1 nm
最大傾斜5(º)	4	7	17	24	33	44

注釈
1. 3/2”カメラと0.5倍の光学系による最大視野
2. 表面のピクセルサイズ。
3. L&S: ライン&スペース、レイリー基準による回折限界の半分の値、空間サンプリングは干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。青色LEDによる値。
4. システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置されたキャリブレーションミラーにおいて、連続する2つ測定値の差として計測。干渉対物レンズ、PSIの場合、10個の位相の平均です。温度制御された部屋でピエゾステージスキャナの使用した場合0.01 nmまで達成可能。緑色LEDでの値 (CSIは白色LED) 解像度HD VC-Eの環境振動で測定。
5. 平滑面では最大71°まで。散乱面上で最大傾斜 86°

S neox Cleanroom Z軸方向性能

Z軸	粗さ（リニアステージ）	精度（静電センサ付きピエゾスキャナー）
垂直範囲	40 mm	200 µm
分解能	5 nm	1.25 nm

S neox Cleanroom 精度　再現性

測定基準	値	U, σ	測定技術
段差	48600 nm	U=300 nm, σ= 10 nm	共焦点法、CSI
	7616 nm	U=79 nm, σ= 5 nm	共焦点法、CSI
	941.6 nm	U=7 nm, σ= 1 nm	共焦点法、CSI
	186 nm	U=4 nm, σ= 0.4 nm	共焦点法、CSI
	44.3 nm	U=0.5 nm, σ= 0.1 nm	PSI
	10.8 nm	U=0.5 nm, σ= 0.05 nm	PSI
面粗度(Sa)7	0.79 µm	U=0.04 µm, σ=0.0005 µm	共焦点法、Ai移動焦点法、CSI
プロファイル粗さ (Ra)8	2.40 µm	U=0.03 µm, σ= 0.002 µm	共焦点法、Ai移動焦点法、CSI
	0.88 µm	U=0.015 µm, σ= 0.0005 µm	共焦点法、Ai移動焦点法、CSI
	0.23 µm	U=0.005 µm, σ= 0.0002 µm	共焦点法、Ai移動焦点法、CSI

注釈 7.面積 1×1 mm　 8.プロファイル 4mm長

共焦点とAi焦点移動で使用する対物レンズは 50X 0.80 NA、CSIおよびPSIでは 50X 0.55NA。解像度 1220×1024ピクセル。全測定はPZTを使用。不確定度(U)は以下に準拠します。ISO/IECガイド 98-3:2008 GUM:1995, K=1,96 (信用度 95%)。σは25回の測定に依ります。