UVフェムト秒レーザー Tangor UV

Amplitude Systemes

出力パワー 15W/30W、パルス幅500fs、波長343nm、パルスエネルギー最大80 μJ。OLEDディスプレイ加工にも好適なレーザーです。

  • パルス幅343nm-500fs:最小のHAZとクオリティの高いアブレーションを実現
  • 高出力、高い繰返し周波数
  • 高パルスエネルギー80 μJ
  • コンパクトで軽量

Amplitude Systemes(アンプリチュード・システムズ)社のTangor UVシリーズは、最大30W-500fsの高出力UVフェムト秒レーザーです。最大2MHzの高い繰返し周波数と、最大150μJの高いUVパルスエネルギーを兼ね備えています。フェムト秒UVパルスは、光学セットアップのタイプに関係なく、最高・最速の加工において卓越した成果が得られます。コンパクトで軽量ですので、システム統合も容易です。

  • OLEDディスプレイの切断と穴あけ加工(HIAA)
  • Flex-PCBの切断と穴あけ加工

例:OLEDディスプレイパネルに使用されるPol-filmの切断

@ 1600 kHz。結果を比較するため同じ切削速度を維持。

使用タイプ オンザフライ スキャナのみ
マークスピード < 700 mm/s > 700 mm/s
HAZ Down to 10 μm Down to 10 μm
UVピコ秒(10 ps)との比較 85% HAZ reduction 50% HAZ reduction

※パルス幅が短いため、UVピコ秒レーザーと比較して切断品質とプロセスの効率が向上
※高いピーク出力により、UVピコ秒レーザーと比較してアブレーション率が向上

モデル Tangor UV Tangor UV HP
平均出力パワー > 15 W > 30 W
パルスエネルギー Up to 80 μJ
繰り返し周波数 From single shot to 2 MHz
パルス幅 500 fs
中心波長 343 +/- 5 nm
スペクトルバンド幅 < 0.5nm
M2 < 1.3
非点収差 < 25 %
ウエスト非対称 < 10 %
パワー安定性 < 2 % rms
ビームポインティング安定性 < 100 μrad/°C
寸法 レーザー 89 x 48 x 16 cm, 電源 60 x 55 x 53 cm
重量 レーザー 85 kg, 電源 52 kg
オプション ・出力:50W UV
・FemtoTrigTM:25 nsジッタの出力パルス制御
・ビーム品質:非点収差 <10%, ウエスト非対称性 <5%
・4.0対応:50以上のセンサを搭載
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