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UVフェムト秒レーザー Tangor UV
- パルス幅343nm-500fs：最小のHAZとクオリティの高いアブレーションを実現
- 高出力、高い繰返し周波数
- 高パルスエネルギー80 μJ
- コンパクトで軽量
Amplitude Systemes（アンプリチュード・システムズ）社のTangor UVシリーズは、最大30W-500fsの高出力UVフェムト秒レーザーです。最大2MHzの高い繰返し周波数と、最大150μJの高いUVパルスエネルギーを兼ね備えています。フェムト秒UVパルスは、光学セットアップのタイプに関係なく、最高・最速の加工において卓越した成果が得られます。コンパクトで軽量ですので、システム統合も容易です。
- OLEDディスプレイの切断と穴あけ加工（HIAA）
- Flex-PCBの切断と穴あけ加工
例：OLEDディスプレイパネルに使用されるPol-filmの切断
@ 1600 kHz。結果を比較するため同じ切削速度を維持。
| 使用タイプ | オンザフライ | スキャナのみ |
|---|---|---|
| マークスピード | < 700 mm/s | > 700 mm/s |
| HAZ | Down to 10 μm | Down to 10 μm |
| UVピコ秒（10 ps）との比較 | 85% HAZ reduction | 50% HAZ reduction |
※パルス幅が短いため、UVピコ秒レーザーと比較して切断品質とプロセスの効率が向上
※高いピーク出力により、UVピコ秒レーザーと比較してアブレーション率が向上
| モデル | Tangor UV | Tangor UV HP |
|---|---|---|
| 平均出力パワー | > 15 W | > 30 W |
| パルスエネルギー | Up to 80 μJ | |
| 繰り返し周波数 | From single shot to 2 MHz | |
| パルス幅 | 500 fs | |
| 中心波長 | 343 +/- 5 nm | |
| スペクトルバンド幅 | < 0.5nm | |
| M2 | < 1.3 | |
| 非点収差 | < 25 % | |
| ウエスト非対称 | < 10 % | |
| パワー安定性 | < 2 % rms | |
| ビームポインティング安定性 | < 100 μrad/°C | |
| 寸法 | レーザー 89 x 48 x 16 cm, 電源 60 x 55 x 53 cm | |
| 重量 | レーザー 85 kg, 電源 52 kg | |
| オプション | ・出力：50W UV ・FemtoTrigTM：25 nsジッタの出力パルス制御 ・ビーム品質：非点収差 <10%, ウエスト非対称性 <5% ・4.0対応：50以上のセンサを搭載 | |
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