AMPHOS 高出力ピコ秒レーザーシステム一覧

AMPHOS

最大1000W、mJエネルギー出力。繰返し最高100MHz。フェムト秒～ピコ秒パルスのコンパクト、堅牢、高安定性なターンキーシステム

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概要
応用例
主な仕様

最大1000W出力。フェムト秒～ピコ秒パルスのコンパクト、堅牢、高安定性なターンキーシステム

コンパクトヘッド
InnoSlab増幅技術採用： CPA、再生増幅なしで高効率なアンプを実現
多彩なパルスパラメータを提供可能
ソフトウェアでパルス幅や繰返し周波数を制御可能
パルスバースト機能
アンプのみバージョン提供可能

AMPHOS ハイパワー・超短パルスレーザーシステムは、InnoSlab増幅技術を用いた平均出力の高い製品です。パルス形状、パルス幅、繰返し周波数はシードレーザーにのみ依存するシンプルなシステムですので、要求に応じたカスタマイズも自在に対応できます。平均出力は最大1000Wまで製造可能。また繰返し周波数（100MHzまで、またはそれ以上）やパルスエネルギー（mJレベルまで）の指定、周波数変換などのカスタマイズにも柔軟に対応いたします。アンプのみの提供も可能です。

標準モデルは出力10W, 100W, 200W, 400Wの4種です。レーザーヘッドとコントロールユニットで構成されるターンキーシステムで、ヘッドにはオシレータが、コントロールユニットにはチラー、LD電源、及び複数のインタフェースを備えたコントロールエレクトロニクスが搭載されています。またオプションで以下のコンポーネントを搭載できます。

オプション

ハイパワー用光アイソレータ
高速ビームスイッチ
外部パワー設定ユニット
非線形周波数変換モジュール

特にフェムト秒またはピコ秒レーザを用いた周波数変換は効率が高いため、周波数変換モジュールをアンプの後方に追加することも可能です。AMPHOS のレーザーシステムにはチャープパルスアンプ（CPA）や再生増幅のためのビームパスは一切用いず、その結果非常にコンパクトで堅牢なセットアップになっています。

InnoSlab増幅技術について

AMPHOSハイパワー・超短パルスレーザーの核となるInnoSlab増幅技術は、非常にシンプルでコンパクトなビームパスを特徴としています。センチメートル・スケールのミラー間距離をもつ、堅牢な擬似モノシリックパッケージです。擬似シングルパス構成による高効率システムで、CPAや再生増幅技術は一切用いていません。アクティブ媒体には高出力であると同時に安定性に優れたYb:YAGを採用しています。またシンプルなシステムのため、結晶の厚みを増すだけでビーム品質を損なうことなく出力パワーを増加できる高い拡張性も、本製品の特長の一つです。

コヒーレントEUV発生
OPCPA
アト秒物理
ガラスの切断
CFRP加工
高圧タービン
LPVD重合
マテリアル切除
放電加工との置き換え
光電池　など

Amphos1000 シリーズ	1000	1100	1300
出力パワー	> 200 mW	> 200 mW	> 200 mW
パルスエネルギー	> 10 nJ	最大 2 μJ	最大 2 μJ
パルス幅	1 – 500ps	1 – 500ps	250ps – 35ns
繰返し周波数	20 – 100 MHz	Single Shot – 50 MHz	Single Shot – 100 MHz
ビーム品質	M² < 1.1	M² < 1.1	M² < 1.1
波長	1030 nm	1030 nm	1030 nm
ヘッド外形寸法	112 x 79 x 307 mm

Amphos2000 シリーズ	2101	2201	2204	2301
出力パワー	100 W	200 W	200 W	300 W
パルスエネルギー	500 μJ	500 μJ	1000 μJ	500 μJ
パルス幅	0.9 – 10ps	0.9 – 10ps	0.9 – 10ps	0.9 – 10ps
繰返し周波数	0.2 – 40 MHz	0.4 – 40 MHz	0.2 – 40 MHz	0.6 – 40 MHz
ビーム品質	M² < 1.3	M² < 1.3	M² < 1.3	M² < 1.3
波長	1030 nm	1030 nm	1030 nm/515 nm	1030 nm
ヘッド外形寸法	600 x 194 x 720 mm

Amphos3000 シリーズ	3204	3304	3404	3502	3604	3706
出力パワー	200 W	300 W	400 W	200 W	300 W	400 W
パルスエネルギー	4 mJ	4 mJ	4 mJ	10 mJ	12 mJ	15 mJ
パルス幅	1 – 10ps	1 – 10ps	1 – 10ps	< 1.5ps	< 1.5ps	< 1.5ps
繰返し周波数	0.05 – 40 MHz	0.075 – 40 MHz	0.1 – 40 MHz	0.02 – 40 MHz	0.025 – 40 MHz	0.025 – 40 MHz
ビーム品質	M² < 1.3	M² < 1.3	M² < 1.3	M² < 1.5	M² < 1.5	M² < 1.5
波長	1030 nm	1030 nm	1030 nm	1030 nm	1030 nm	1030 nm
ヘッド外形寸法	720 x 249 x 1110 mm			1540 x 248 x 1110 mm

Amphos5000 シリーズ	5102	5106	5206
出力パワー	800 W	800 W	1000 W
パルスエネルギー	10 mJ	20 mJ	20 mJ
パルス幅	1.5ps	1.5ps	1.5ps
繰返し周波数	80 kHz	40 kHz	50 kHz
ビーム品質	M² < 1.5	M² < 1.5	M² < 1.5
波長	1030 nm	1030 nm	1030 nm
ヘッド外形寸法	2360 x 249 x 1110 mm