高速・高分解能・高精度な偏向器
- 高速
- 高分解能
- 高精度のランダムアクセス
- 優れた応答性
- 偏向角&偏向周波数を選選択可能
- 波長帯域は、深紫外、紫外、可視から近赤外域まで対応
四重電極構造の極めて高速の応答性に優れた電気光学結晶と専用ドライバーから構成されています。波長帯域は、深紫外・紫外・可視から近赤外域まで対応しています。偏向角および偏向周波数は、専用ドライバーと電気光学結晶との最適な組み合わせにより選択できます。高精度で高速のランダムアクセスの優れた応答性による振れ角は、専用ドライバーの出力信号に比例したビームがスキャンされることで実現されます。偏向効率(感度)は例えば0.6μrad/V、応答速度14nsecと極めて高速、高分解能で高精度な偏向器となっています。
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