形状・変位計測 一覧

高解像度ダイアモンド・AFMプローブ(ダイヤモンドカンチレバー)

CSInstruments

最高の耐摩耗性と電気的性能を提供する高導電性ダイヤモンドプローブ(ダイヤモンドAFMカンチレバー)

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MicroSense 静電容量変位センサ一覧

MicroSense

MicroSense LLCの静電容量センサを紹介。全カタログをまとめてダウンロードできます。

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MicroSense 6800 シリーズ 静電容量変位センサ

MicroSense

シリーズ最高分解能・高速応答モデル
高速変位を高精度で測定

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MicroSense 5800 シリーズ 静電容量変位センサ

MicroSense

高分解能・高速応答。動的変位測定のスタンダードモデル。

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AFMコントローラー “Galaxy Dual”

CSInstruments
[オススメ]

24 bit AFMコントローラー。サポートの終了した Agilent Technology 製 AFM に対応します。シンプルに既存のコントローラーとの置き換えが可能。既存のAFMヘッドへプラグインの上、専用ソフトウェア使用して同様のAFM動作が行えます。「Molecular Imaging/ Agilent / Keysight製AFMの修理を承ります。」

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導電性プローブ

MikroMasch

導電性プローブ:- Pt プラチナ、Cr-Au 金 コーティング, – 高分解能導電性 DPERシリーズ, – 低ノイズ導電性 DPEシリーズ

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MicroSense 4800 シリーズ 静電容量変位センサ

MicroSense

優れた直線性と温度特性。静的な変位測定のスタンダードモデル。

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非接触型厚さ測定装置 “VarioMetric”

Varioscale

レーザー干渉を利用した厚さ測定装置。厚膜(1~500μm)測定用。小型・高速・高精度。VarioMetricは表面が粗くても高精度な厚さ測定が可能な装置です。高速かつ自動で測定が可能で、半導体製造やMEMS分野での様々な用途に使用いただけます。特に、先端パッケージ ICや集積回路の製造工程において、重要な役割を果たします。

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AFM 原子間力顕微鏡 Nano-Observer 2 ナノオブザーバー 2

CSInstruments
[新商品]

最先端のAFM(原子間力顕微鏡)Nano-Observer 2は、柔軟性、卓越した性能、使いやすい操作性を兼ね備えつつ、老舗AFMメーカのハイエンド品並みの測定品質を実現。ナノスケールのイメージングと特性評価のための幅広い機能を備えています。電気特性測定(KFM、C-AFM)、脆いサンプルも測定可能なソフトICモードも実現。

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クリーンルーム対応 装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox Cleanroom sensor

SENSOFAR Metrology

クリーンルーム対応。高い柔軟性を持つ装置組込み用顕微鏡ヘッド。さまざまなアプリケーションに適合します。ISO Class 1及びESDの規格に対応。

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AFMプローブ SiN 窒化シリコンプローブ

MikroMasch

シリコンナイトライドカンチレバー・チップのガラスホルダーチップの両側に2つ配置。用途としてソフトコンタクトモードで使われます。

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大型サンプル対応AFM 最大12インチ NanoViewラージスキャナシリーズ 

FSM Precision
[新商品]

NanoViewラージスキャナシリーズは4~12インチのサンプルを分割することなく直接観察が可能。表面粗さ、粒子サイズ、ステップ高さなどの3次元表面形状の画像が取得可能な最も直感的で高速かつ費用対効果に優れた産業用AFMです。また自動ポジショニングのための座標の設定も可能で、製品開発と品質管理にとって最適なツールをなっています。

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長寿命プローブ

MikroMasch

長寿命プローブ:- AFMプローブ HARDシリーズ,- AFMプローブ 導電性ダイヤモンドコーティング DMD-XSC11

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簡易・小型 原子間力顕微鏡 AFM “CrabiAFM”

OME Technology

CrabiAFMは、コンパクトで低価格な簡易原子間力顕微鏡(AFM)です。リサーチ用途、ナノ教育、またはすでにAFM経験をお持ちの方のサブ機として最適です。

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SiC GaN ウエハ フォトルミネセンス マッピング対応 高速レーザー欠陥スキャナー Celero PL

Onto Innovation (旧Lumina Instruments)
[新商品]

Celero PLシステムはフォトルミネセンス マッピングに対応した高速レーザー欠陥スキャナーです。炭化ケイ素(SiC)および窒化ガリウム(GaN)ベースのウエハと化合物半導体材料の表面下欠陥検査とクラス分け機能のニーズに応えるように開発されました。。さまざまなウェーハ処理オプションが用意されており、クラス最高のスループットと感度を備えながら、1パスあたりのコストを最小限に抑え、研究開発と大量生産の双方の対応します。

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白色干渉計シリーズ一覧

SENSOFAR Metrology

非接触・非破壊で表面の微細な3D形状、および粗さを測定・解析することができる形状計測装置です。装置組込み用顕微鏡ヘッドモデル、テーブルトップモデル、大型ステージ付きモデル、クリーンルーム対応モデルまで用途に応じた幅広いラインナップを提供。

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AFMプローブ 磁気力顕微鏡 Co-Cr コーテイング コバルトクロム

MikroMasch

HQ:NSCプローブモデルには、磁気力顕微鏡(MFM)用のコーティングを施した製品もご用意しております。コーティングはチップサイドに膜厚60 nmのコバルト層があり、さらに酸化防止のクロムフィルム膜厚20 nmがカバーしています。トポグラフィーと磁気特性の安定した測定のためにカンチレバーのパラメーターは最適化されています。

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金属単結晶・酸化物単結晶・合金単結晶

Surface Preparation Laboratory (SPL)

金属単結晶・酸化物単結晶・合金単結晶試料の高品質品を高精度加工

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MicroSense 8800 シリーズ 静電容量変位センサ

MicroSense

優れた温度特性と高分解能を実現。制御用途でのフィードバックセンサに最適。

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装置組込み用非接触面粗さ計 S mart sensor

SENSOFAR Metrology
[オススメ]

S mart 2は、白色干渉計とエリア共焦点(コンフォーカル)の技術による3D表面形状測定が可能な装置組込み用顕微鏡ユニットです。3Dレーザー顕微鏡と同等の分解能と精度、再現性による表面形状・粗さ測定を実現可能です。

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AFMプローブ HQシリーズ

MikroMasch

位相イメージングは、異種材料や特性の不均一性を持つサンプルにおいて、ナノスケールの違いをイメージングするために用いられるAFM技術の一つです。位相コントラストは、チップとサンプル間の相互作用に基づきますが、これらの相互作用は、スキャンパラメーターや、イメージングの測定モード(原子間力の引力領域か斥力領域で捜査しているかなど)に依存します。O’DeaとBurratoは、位相イメージングを使用して、Nafion膜のプロトン伝導ドメインをマッピングしました。彼らは、先端とサンプルの間の特定の相互作用力がプロトン伝導ドメインの分解能に大きく影響することを発見しました。斥力レジームでのイメージングにより、ドメインの面積が大きめに表示され、ドメインの数が少なめに表示されました。引力領域でのイメージングにより、水やフルオロカーボンのドメインが最も正確に測定できました。AFMのフィードバックループが最適化されていない場合、またはカンチレバーが共振周波数を超えて駆動していた時、位相イメージングは組成の違いではなく、形状の変化に対応するイメージになりました。

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ローコスト高イメージング品質 AFM  Nanoview 1000 AFM

FSM Precision

従来のAFMの半分以下の低価格ながら、高いイメージング品質を発揮します。日本初上陸の高コストパフォーマンスAFMです。

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AFM(原子間力顕微鏡)取り扱い製品一覧

[オススメ]

日本レーザーでは用途に応じて様々なAFM(原子間力顕微鏡)を取り揃えております。

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レジスコープ “ResiscopeII”

CSInstruments

AFM 超高感度電流増幅器

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