導電性プローブ

MikroMasch

導電性プローブ
 
– Pt プラチナ、Cr-Au 金 コーティング
– 高分解能導電性 DPERシリーズ
– 低ノイズ導電性 DPEシリーズ

Pt プラチナ、Cr-Au 金 コーティング

Pt プラチナ、Cr-Au 金 コーティング

導電性のプラチナまたは金のコーティングを施されたピラミッド型シリコンエッチングプローブは、AFMの電気的用途の幅広い範囲で適しています。金とプラチナのコーティングは不活性であるため、生物学や化学での多くの実験でご使用いただけます。
 

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  • 導電性
  • ノンコンタクト(NSC)
  • コンタクト(CSC)
  • 4レバー(XSC)
  • シリコンプローブ

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AFMは、トポグラフィ像に対応する、材料のさまざまな電気的特性をマッピングすることができます。これらのデータは、不均一なサンプルの構造、組成の分析や、表面の個々の粒子や欠陥の定量的特性評価に使用できます。導電性コーティングを持ったプローブを使い、チップとサンプルの間にACまたはDCバイアスが印加した状態で表面をスキャンさせることで、サンプルの電気的特性をマッピングできます。接触モードまたは2パステクニックが用いられます。かねてから、圧電性材料と強誘電性材料は、PFMを使用して研究されてきましたが、Minary-JolandanとYuは、コラーゲン線維の電気機械特性もPFMで調査できることを示しました。彼らは、PtコーティングされたCSC17プローブ(現在はHQ:CSC17 / Ptにアップグレード)を備えた高解像度PFMを介して、コラーゲン線維に圧電的に不均一なギャップと重複領域があることを発見しました。ギャップ領域は圧電性をほとんどまたはまったく示さないが、オーバーラップ領域は圧電性を示します。
 

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画像(a)および(d)はコラーゲン原線維のトポグラフィーを示し、(b)および(e)はPFM振幅を示します。 (c)と(f)は、PFM信号との静電干渉を排除するために測定された2ω信号です。 CSC17プローブのPtのみのコーティング(現在はHQ:CSC17 / Ptにアップグレードされています)により、30 nmまでのフィーチャの解像度が可能になりました。
(Minary-Jolandan、M.およびYu、M.-F .; ACS Nano 2009、3、1859-1863)

 

高分解能導電性 DPERシリーズ

高分解能導電性 DPERシリーズ

DPERは、高分解能導電性シリコンプローブで、シリコンチップに薄いプラチナコーティングを施された製品です。カンチレバーの平らな部分のコーティング厚は約15nmであり、先端の厚みでは、コーティング無のシリコンプローブと比較して厚みの増加は10nm程度です。より高い解像度が必要とされる電気アプリケーションでご使用いただけます。
 

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  • Ptコーティング後チップ半径 < 20 nm
  • 全面Ptコーティング: 15 nm

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AFMは、トポグラフィ像に対応する、材料のさまざまな電気的特性をマッピングすることができます。これらのデータは、不均一なサンプルの構造、組成の分析や、表面の個々の粒子や欠陥の定量的特性評価に使用できます。導電性コーティングを持ったプローブを使い、チップとサンプルの間にACまたはDCバイアスが印加した状態で表面をスキャンさせることで、サンプルの電気的特性をマッピングできます。接触モードまたは2パステクニックが用いられます。かねてから、圧電性材料と強誘電性材料は、PFMを使用して研究されてきましたが、Minary-JolandanとYuは、コラーゲン線維の電気機械特性もPFMで調査できることを示しました。彼らは、PtコーティングされたCSC17プローブ(現在はHQ:CSC17 / Ptにアップグレード)を備えた高解像度PFMを介して、コラーゲン線維に圧電的に不均一なギャップと重複領域があることを発見しました。ギャップ領域は圧電性をほとんどまたはまったく示さないが、オーバーラップ領域は圧電性を示します。
 

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DPER18プローブ(現在はHQ:DPE-XSC11に置き換えられています)を用いて取得したLaAlO3基板上に成長した厚さ約80 nmのBiFeO3膜のトポグラフィー(a)およびPFM像(b)
Image courtesy of Zuhuang Chen, Nanyang Technologica

 

低ノイズ導電性 DPEシリーズ

低ノイズ導電性 DPEシリーズ

DPEプローブ低ノイズ導電性のシリコンプローブです。シリコンのチップに導電層をもつ特殊な構造を有し、より安定した低ノイズの電気信号を伝えます。
*DPEプローブは先端の半径が大きいため、トポグラフィー画像の解像度低下の可能性があります。

 

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  • Ptコーティング後チップ半径 <40nm
  • 全面Ptコーティング: 50nm

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シリコン基板上のフルオロアルカン(F12H20)の(a)トポグラフィーおよび(b)表面電位(b)画像。
Agilent 5500 AFM、シングルパスKFM測定 S.Mag
 

Pt プラチナ、Cr-Au 金 コーティング

  • Ptコーティング後チップ半径 < 30 nm
  • 全面Ptコーティング: 30 nm
  • Cr-Auコーティング後チップ半径 < 35 nm
  • Au全面コーティング: 30 nm
  • Cr全面サブレイヤー: 20 nm

 

品番 コーティング レバー長[µm,±5] レバー幅[µm,±3] レバー厚[µm,±0.5] 共振周波数 [kHz] ばね定数 [N/m]
(typical) (range) (typical) (range)
HQ:NSC14 Cr-Au,
Pt
125 25 2.1 160 110-220 5 1.8-13
HQ:NSC15 Cr-Au,
Pt
125 30 4.0 325 265-410 40 20-80
HQ:NSC16 Cr-Au 225 37.5 7.0 190 170-210 45 30-70
HQ:CSC17 Cr-Au,
Pt
450 50 2.0 13 10-17 0.18 0.06-0.40
HQ:NSC18 Cr-Au,Pt 225 27.5 3.0 75 60-90 2.8 1.2-5.5
HQ:NSC19 Cr-Au 125 22.5 1.0 65 25-120 0.5 0.05-0.23
HQ:NSC35
lever A Cr-Au,Pt 110 35 2.0 205 130-290 8.9 2.7-24
lever B Cr-Au,Pt 90 35 2.0 300 185-430 16 4.8-44
lever C Cr-Au,Pt 130 35 2.0 150 95-205 5.4 1.7-14
HQ:NSC36
lever A Cr-Au,Pt 110 32.5 1.0 90 30-160 1 0.1-4.6
lever B Cr-Au,Pt 90 32.5 1.0 130 45-240 2 0.2-9
lever C Cr-Au,Pt 130 32.5 1.0 65 25-115 0.6 0.06-2.7
HQ:CSC37
lever A Cr-Au,Pt 250 35 2.0 40 30-55 0.8 0.3-2
lever B Cr-Au,Pt 350 35 2.0 20 15-30 0.3 0.1-0.6
lever C Cr-Au,Pt 300 35 2.0 30 20-40 0.4 0.1-1
HQ:CSC38
lever A Cr-Au 250 32.5 1.0 20 8-32 0.09 0.01-0.36
lever B Cr-Au 350 32.5 1.0 10 5-17 0.03 0.003-0.13
lever C Cr-Au 300 32.5 1.0 14 6-23 0.05 0.005-0.21
HQ:XSC11
lever A Pt 500 30 2.7 15 12-18 0.2 0.1-0.4
lever B Pt 210 30 2.7 80 60-100 2.7 1.1-5.6
lever C Pt 150 30 2.7 155 115-200 7 3-16
lever D Pt 100 50 2.7 350 250-465 42 17-90

 

高分解能導電性 DPERシリーズ

  • Ptコーティング後チップ半径 < 20 nm
  • 全面Ptコーティング: 15 nm

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品番 HQ:DPER-XSC11 コーティング レバー長[µm,±5] レバー幅[µm,±3] レバー厚[µm,±0.5] 共振周波数 [kHz] ばね定数 [N/m]
(typical) (range) (typical) (range)
lever A Pt 500 30 2.7 15 12-18 0.2 0.1-0.4
lever B Pt 210 30 2.7 80 60-100 2.7 1.1-5.6
lever C Pt 150 30 2.7 155 115-200 7 3-16
lever D Pt 100 50 2.7 350 250-465 42 17-90

 

低ノイズ導電性 DPEシリーズ

  • Ptコーティング後チップ半径 < 40nm
  • 全面Ptコーティング: 50nm

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品番 HQ:DPE-XSC11 コーティング レバー長[µm,±5] レバー幅[µm,±3] レバー厚[µm,±0.5] 共振周波数 [kHz] ばね定数 [N/m]
(typical) (range) (typical) (range)
lever A Pt 500 30 2.7 15 12-18 0.2 0.1-0.4
lever B Pt 210 30 2.7 80 60-100 2.7 1.1-5.6
lever C Pt 150 30 2.7 155 115-200 7 3-16
lever D Pt 100 50 2.7 350 250-465 42 17-90
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