導電性プローブ
Pt プラチナ、Cr-Au 金 コーティング
AFMは、トポグラフィ像に対応する、材料のさまざまな電気的特性をマッピングすることができます。これらのデータは、不均一なサンプルの構造、組成の分析や、表面の個々の粒子や欠陥の定量的特性評価に使用できます。導電性コーティングを持ったプローブを使い、チップとサンプルの間にACまたはDCバイアスが印加した状態で表面をスキャンさせることで、サンプルの電気的特性をマッピングできます。接触モードまたは2パステクニックが用いられます。かねてから、圧電性材料と強誘電性材料は、PFMを使用して研究されてきましたが、Minary-JolandanとYuは、コラーゲン線維の電気機械特性もPFMで調査できることを示しました。彼らは、PtコーティングされたCSC17プローブ(現在はHQ:CSC17 / Ptにアップグレード)を備えた高解像度PFMを介して、コラーゲン線維に圧電的に不均一なギャップと重複領域があることを発見しました。ギャップ領域は圧電性をほとんどまたはまったく示さないが、オーバーラップ領域は圧電性を示します。
画像(a)および(d)はコラーゲン原線維のトポグラフィーを示し、(b)および(e)はPFM振幅を示します。 (c)と(f)は、PFM信号との静電干渉を排除するために測定された2ω信号です。 CSC17プローブのPtのみのコーティング(現在はHQ:CSC17 / Ptにアップグレードされています)により、30 nmまでのフィーチャの解像度が可能になりました。
(Minary-Jolandan、M.およびYu、M.-F .; ACS Nano 2009、3、1859-1863)
高分解能導電性 DPERシリーズ
AFMは、トポグラフィ像に対応する、材料のさまざまな電気的特性をマッピングすることができます。これらのデータは、不均一なサンプルの構造、組成の分析や、表面の個々の粒子や欠陥の定量的特性評価に使用できます。導電性コーティングを持ったプローブを使い、チップとサンプルの間にACまたはDCバイアスが印加した状態で表面をスキャンさせることで、サンプルの電気的特性をマッピングできます。接触モードまたは2パステクニックが用いられます。かねてから、圧電性材料と強誘電性材料は、PFMを使用して研究されてきましたが、Minary-JolandanとYuは、コラーゲン線維の電気機械特性もPFMで調査できることを示しました。彼らは、PtコーティングされたCSC17プローブ(現在はHQ:CSC17 / Ptにアップグレード)を備えた高解像度PFMを介して、コラーゲン線維に圧電的に不均一なギャップと重複領域があることを発見しました。ギャップ領域は圧電性をほとんどまたはまったく示さないが、オーバーラップ領域は圧電性を示します。
DPER18プローブ(現在はHQ:DPE-XSC11に置き換えられています)を用いて取得したLaAlO3基板上に成長した厚さ約80 nmのBiFeO3膜のトポグラフィー(a)およびPFM像(b)
Image courtesy of Zuhuang Chen, Nanyang Technologica
低ノイズ導電性 DPEシリーズ
シリコン基板上のフルオロアルカン(F12H20)の(a)トポグラフィーおよび(b)表面電位(b)画像。
Agilent 5500 AFM、シングルパスKFM測定 S.Mag
Pt プラチナ、Cr-Au 金 コーティング
- Ptコーティング後チップ半径 < 30 nm
- 全面Ptコーティング: 30 nm
- Cr-Auコーティング後チップ半径 < 35 nm
- Au全面コーティング: 30 nm
- Cr全面サブレイヤー: 20 nm
品番 | コーティング | レバー長[µm,±5] | レバー幅[µm,±3] | レバー厚[µm,±0.5] | 共振周波数 [kHz] | ばね定数 [N/m] | ||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
(typical) | (range) | (typical) | (range) | |||||
HQ:NSC14 | Cr-Au, Pt | 125 | 25 | 2.1 | 160 | 110-220 | 5 | 1.8-13 |
HQ:NSC15 | Cr-Au, Pt | 125 | 30 | 4.0 | 325 | 265-410 | 40 | 20-80 |
HQ:NSC16 | Cr-Au | 225 | 37.5 | 7.0 | 190 | 170-210 | 45 | 30-70 |
HQ:CSC17 | Cr-Au, Pt | 450 | 50 | 2.0 | 13 | 10-17 | 0.18 | 0.06-0.40 |
HQ:NSC18 | Cr-Au,Pt | 225 | 27.5 | 3.0 | 75 | 60-90 | 2.8 | 1.2-5.5 |
HQ:NSC19 | Cr-Au | 125 | 22.5 | 1.0 | 65 | 25-120 | 0.5 | 0.05-0.23 |
HQ:NSC35 | ||||||||
lever A | Cr-Au,Pt | 110 | 35 | 2.0 | 205 | 130-290 | 8.9 | 2.7-24 |
lever B | Cr-Au,Pt | 90 | 35 | 2.0 | 300 | 185-430 | 16 | 4.8-44 |
lever C | Cr-Au,Pt | 130 | 35 | 2.0 | 150 | 95-205 | 5.4 | 1.7-14 |
HQ:NSC36 | ||||||||
lever A | Cr-Au,Pt | 110 | 32.5 | 1.0 | 90 | 30-160 | 1 | 0.1-4.6 |
lever B | Cr-Au,Pt | 90 | 32.5 | 1.0 | 130 | 45-240 | 2 | 0.2-9 |
lever C | Cr-Au,Pt | 130 | 32.5 | 1.0 | 65 | 25-115 | 0.6 | 0.06-2.7 |
HQ:CSC37 | ||||||||
lever A | Cr-Au,Pt | 250 | 35 | 2.0 | 40 | 30-55 | 0.8 | 0.3-2 |
lever B | Cr-Au,Pt | 350 | 35 | 2.0 | 20 | 15-30 | 0.3 | 0.1-0.6 |
lever C | Cr-Au,Pt | 300 | 35 | 2.0 | 30 | 20-40 | 0.4 | 0.1-1 |
HQ:CSC38 | ||||||||
lever A | Cr-Au | 250 | 32.5 | 1.0 | 20 | 8-32 | 0.09 | 0.01-0.36 |
lever B | Cr-Au | 350 | 32.5 | 1.0 | 10 | 5-17 | 0.03 | 0.003-0.13 |
lever C | Cr-Au | 300 | 32.5 | 1.0 | 14 | 6-23 | 0.05 | 0.005-0.21 |
HQ:XSC11 | ||||||||
lever A | Pt | 500 | 30 | 2.7 | 15 | 12-18 | 0.2 | 0.1-0.4 |
lever B | Pt | 210 | 30 | 2.7 | 80 | 60-100 | 2.7 | 1.1-5.6 |
lever C | Pt | 150 | 30 | 2.7 | 155 | 115-200 | 7 | 3-16 |
lever D | Pt | 100 | 50 | 2.7 | 350 | 250-465 | 42 | 17-90 |
高分解能導電性 DPERシリーズ
- Ptコーティング後チップ半径 < 20 nm
- 全面Ptコーティング: 15 nm
品番 HQ:DPER-XSC11 | コーティング | レバー長[µm,±5] | レバー幅[µm,±3] | レバー厚[µm,±0.5] | 共振周波数 [kHz] | ばね定数 [N/m] | ||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
(typical) | (range) | (typical) | (range) | |||||
lever A | Pt | 500 | 30 | 2.7 | 15 | 12-18 | 0.2 | 0.1-0.4 |
lever B | Pt | 210 | 30 | 2.7 | 80 | 60-100 | 2.7 | 1.1-5.6 |
lever C | Pt | 150 | 30 | 2.7 | 155 | 115-200 | 7 | 3-16 |
lever D | Pt | 100 | 50 | 2.7 | 350 | 250-465 | 42 | 17-90 |
低ノイズ導電性 DPEシリーズ
- Ptコーティング後チップ半径 < 40nm
- 全面Ptコーティング: 50nm
品番 HQ:DPE-XSC11 | コーティング | レバー長[µm,±5] | レバー幅[µm,±3] | レバー厚[µm,±0.5] | 共振周波数 [kHz] | ばね定数 [N/m] | ||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
(typical) | (range) | (typical) | (range) | |||||
lever A | Pt | 500 | 30 | 2.7 | 15 | 12-18 | 0.2 | 0.1-0.4 |
lever B | Pt | 210 | 30 | 2.7 | 80 | 60-100 | 2.7 | 1.1-5.6 |
lever C | Pt | 150 | 30 | 2.7 | 155 | 115-200 | 7 | 3-16 |
lever D | Pt | 100 | 50 | 2.7 | 350 | 250-465 | 42 | 17-90 |