長寿命プローブ

MikroMasch

長寿命プローブ
 
– AFMプローブ HARDシリーズ
– AFMプローブ 導電性ダイヤモンドコーティング DMD-XSC11

AFMプローブ HARDシリーズ

AFMプローブ HARDシリーズ

HARDシリーズのシリコンエッチングプローブチップはピラミッド形状をしています。
プローブは硬いDLCフィルムでコーティングされており、カンチレバーの反射面はアルミニウムコーティングされています(膜厚30nm)

 

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  • 硬化DLCコーティングシリコンプローブ

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AFMプローブ 導電性ダイヤモンドコーティング DMD-XSC11

AFMプローブ 導電性ダイヤモンドコーティング DMD-XSC11

DMDシリーズシリコンエッチングチップは、本物の多結晶ダイヤモンドチップサイドコーティングの製品です。卓越した長時間のスキャンが可能であり、良好な導電性が保証されます。HQ:DMD-XSC11は非常に耐久性があり、導電性のあるチップを持つ4つのカンチレバーを備えています。応用範囲は非常に広く表面改質とナノメカニクス、ナノスクラッチング、ナノリソグラフィー、ナノインデンテーション、フォーススペクトロスコピー、等で使用いただけます。電気的特性評価ではトンネル電流AFMや導電性AFMなど接触モードでの電気測定、およびKPFM、EFMなどの動的モード測定に用いられます。先端形状の安定性が求められる、タッピング、ソフトタッピング、フォースモジュレーション、またはコンタクトモード測定にもご使用いただけます。
 

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  • チップ半径(Typical値): 100-250 nm
  • チップサイドコーティング: ダイヤモンド
  • 反射面コーティング: Al 30 nm

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AFMプローブ HARDシリーズ

耐摩耗性のあるダイヤモンドライクカーボン(DLC)コーティングにより、チップの耐久性と向上と長寿命を実現。 DLCコーティングされたプローブは、広い領域や非常に硬い材料のスキャンに最適です。
 

  • チップ半径(Typical) < 20 nm
  • チップ面コーティング: DLC 20 nm
  • 反射面コーティング: Al 30 nm
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品番 コーティング レバー長
[µm,±5]
レバー幅
[µm,±3]
レバー厚
[µm,±0.5]
共振周波数 [kHz] ばね定数 [N/m]
(typical) (range) (typical) (range)
HQ:NSC14 Hard/AL BS 125 25 2.1 160 110-220 5 1.8-13
HQ:NSC15 Hard/AL BS 125 30 4.0 325 265-410 40 20-80
HQ:NSC16 Hard/AL BS 225 37.5 7.0 190 170-210 45 30-70
HQ:CSC17 Hard/AL BS 450 50 2.0 13 10-17 0.18 0.06-0.40
HQ:NSC18 Hard/AL BS 225 27.5 3.0 75 60-90 2.8 1.2-5.5
HQ:NSC35
lever A Hard/AL BS 110 35 2.0 205 130-290 8.9 2.7-24
lever B Hard/AL BS 90 35 2.0 300 185-430 16 4.8-44
lever C Hard/AL BS 130 35 2.0 150 95-205 5.4 1.7-14
HQ:NSC36
lever A Hard/AL BS 110 32.5 1.0 90 30-160 1 0.1-4.6
lever B Hard/AL BS 90 32.5 1.0 130 45-240 2 0.2-9
lever C Hard/AL BS 130 32.5 1.0 65 25-115 0.6 0.06-2.7
HQ:XSC11
lever A Hard/AL BS 500 30 2.7 15 12-18 0.2 0.1-0.4
lever B Hard/AL BS 210 30 2.7 80 60-100 2.7 1.1-5.6
lever C Hard/AL BS 150 30 2.7 155 115-200 7 3-16
lever D Hard/AL BS 100 50 2.7 350 250-465 42 17-90

 

AFMプローブ 導電性ダイヤモンドコーティング DMD-XSC11

  • チップ半径(Typical値): 100-250 nm
  • チップサイドコーティング: ダイヤモンド
  • 反射面コーティング: Al 30 nm

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品番 コーティング レバー長[µm,±5] レバー幅[µm,±3] レバー厚[µm,±0.5] 共振周波数 [kHz] ばね定数 [N/m]
(typical) (range) (typical) (range)
HQ:DMD-XSC11
lever A チップサイド:ダイヤモンド
反射面 Al
500 30 2.7 18 15-22 0.5 0.25-1.0
lever B チップサイド:ダイヤモンド
反射面 Al
210 30 2.7 110 90-130 6.5 3.5-10.0
lever C チップサイド:ダイヤモンド
反射面 Al
150 30 2.7 210 170-250 18 10-30
lever D チップサイド:ダイヤモンド
反射面 Al
100 50 2.7 450 350-575 95 55-175
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