長寿命プローブ

MikroMasch

長寿命プローブ

– AFMプローブ HARDシリーズ
– AFMプローブ導電性ダイヤモンドコーティング DMD-XSC11

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概要
主な仕様

AFMプローブ HARDシリーズ

HARDシリーズのシリコンエッチングプローブチップはピラミッド形状をしています。
プローブは硬いDLCフィルムでコーティングされており、カンチレバーの反射面はアルミニウムコーティングされています(膜厚30nm)

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硬化DLCコーティングシリコンプローブ

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AFMプローブ導電性ダイヤモンドコーティング DMD-XSC11

DMDシリーズシリコンエッチングチップは、本物の多結晶ダイヤモンドチップサイドコーティングの製品です。卓越した長時間のスキャンが可能であり、良好な導電性が保証されます。HQ：DMD-XSC11は非常に耐久性があり、導電性のあるチップを持つ4つのカンチレバーを備えています。応用範囲は非常に広く表面改質とナノメカニクス、ナノスクラッチング、ナノリソグラフィー、ナノインデンテーション、フォーススペクトロスコピー、等で使用いただけます。電気的特性評価ではトンネル電流AFMや導電性AFMなど接触モードでの電気測定、およびKPFM、EFMなどの動的モード測定に用いられます。先端形状の安定性が求められる、タッピング、ソフトタッピング、フォースモジュレーション、またはコンタクトモード測定にもご使用いただけます。

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チップ半径（Typical値）: 100-250 nm
チップサイドコーティング: ダイヤモンド
反射面コーティング: Al 30 nm

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AFMプローブ HARDシリーズ

耐摩耗性のあるダイヤモンドライクカーボン（DLC）コーティングにより、チップの耐久性と向上と長寿命を実現。 DLCコーティングされたプローブは、広い領域や非常に硬い材料のスキャンに最適です。

チップ半径（Typical） < 20 nm
チップ面コーティング: DLC 20 nm
反射面コーティング: Al 30 nm

品番	コーティング	レバー長 [µm,±5]	レバー幅 [µm,±3]	レバー厚 [µm,±0.5]	共振周波数 [kHz]		ばね定数 [N/m]
品番	コーティング	レバー長 [µm,±5]	レバー幅 [µm,±3]	レバー厚 [µm,±0.5]	(typical)	(range)	(typical)	(range)
HQ:NSC14	Hard/AL BS	125	25	2.1	160	110-220	5	1.8-13
HQ:NSC15	Hard/AL BS	125	30	4.0	325	265-410	40	20-80
HQ:NSC16	Hard/AL BS	225	37.5	7.0	190	170-210	45	30-70
HQ:CSC17	Hard/AL BS	450	50	2.0	13	10-17	0.18	0.06-0.40
HQ:NSC18	Hard/AL BS	225	27.5	3.0	75	60-90	2.8	1.2-5.5
HQ:NSC35
lever A	Hard/AL BS	110	35	2.0	205	130-290	8.9	2.7-24
lever B	Hard/AL BS	90	35	2.0	300	185-430	16	4.8-44
lever C	Hard/AL BS	130	35	2.0	150	95-205	5.4	1.7-14
HQ:NSC36
lever A	Hard/AL BS	110	32.5	1.0	90	30-160	1	0.1-4.6
lever B	Hard/AL BS	90	32.5	1.0	130	45-240	2	0.2-9
lever C	Hard/AL BS	130	32.5	1.0	65	25-115	0.6	0.06-2.7
HQ:XSC11
lever A	Hard/AL BS	500	30	2.7	15	12-18	0.2	0.1-0.4
lever B	Hard/AL BS	210	30	2.7	80	60-100	2.7	1.1-5.6
lever C	Hard/AL BS	150	30	2.7	155	115-200	7	3-16
lever D	Hard/AL BS	100	50	2.7	350	250-465	42	17-90

AFMプローブ導電性ダイヤモンドコーティング DMD-XSC11

チップ半径（Typical値）: 100-250 nm
チップサイドコーティング: ダイヤモンド
反射面コーティング: Al 30 nm

mikromasch_DMX-XSC11_PN_

品番	コーティング	レバー長[µm,±5]	レバー幅[µm,±3]	レバー厚[µm,±0.5]	共振周波数 [kHz]		ばね定数 [N/m]
品番	コーティング	レバー長[µm,±5]	レバー幅[µm,±3]	レバー厚[µm,±0.5]	(typical)	(range)	(typical)	(range)
HQ:DMD-XSC11
lever A	チップサイド:ダイヤモンド反射面 Al	500	30	2.7	18	15-22	0.5	0.25-1.0
lever B	チップサイド:ダイヤモンド反射面 Al	210	30	2.7	110	90-130	6.5	3.5-10.0
lever C	チップサイド:ダイヤモンド反射面 Al	150	30	2.7	210	170-250	18	10-30
lever D	チップサイド:ダイヤモンド反射面 Al	100	50	2.7	450	350-575	95	55-175