形状・変位計測
AFM-IR装置 Vista One, IR-PiFM / PiF-IR
ナノスケールIR化学分析用のオリジナルPiFM用AFM。 Vista One は、FTIR やナノ FTIR よりも詳細なナノスケールのケミカルマッピングと点スペクトルを取得します。
検査工程向け自動解析ソフトウェア SensoPRO
Sensofarの白色干渉計および共焦点顕微鏡で得られる形状データを自動解析するソフトウェアです。主に品質管理、検査用途での使用を目的としており、ユーザーは素早く、簡単に解析結果が取得できます。
真空対応 高精度位置センサ
高真空・超高真空対応プローブ。低アウトガス・高安定性・非磁性対応可能。
AFMプローブ Tipless チップレスカンチレバー
チップレスシリーズは、チップの片側に異なるばね定数と共振周波数を持つ3つのチップレスカンチレバーを備えています。 本シリーズは以前の12シリーズに代わるものです。
チップレスカンチレバーは材料特性と相互作用の測定に使用できます。 ガラス球やポリスチレン粒子などをチップレスカンチレバーに取り付け、AFMのような実験に適用することができます。
3D形状・表面粗測定 ソフトウェアパッケージ
3D形状や表面粗さを測定、解析するための直感的で使いやすいソフトウェアパッケージを装置とセットで提供しています。
AFMプローブ 高分解能 Hi’Res-C
Hi’Res-Cプローブはシリコンプローブよりも汚染が少なく、より多い枚数の高解像度スキャンの実行が可能です。Hi’Res-Cは微小領域 (< 250 nm) の走査や、平坦なサンプル (Ra < 20 nm) の測定で顕著に能力を発揮します。*本プローブは先端の曲率半径が小さいため、先端とサンプルの相互作用力は小さくなります。
装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox sensor
S neoxは多機能かつ高性能な機能をもつ組込み可能な3D測定センサです。共焦点・白色干渉計・焦点移動による3D表面形状測定加えて、膜厚測定ができ、幅広いアプリケーションに対応。自動3D測定が可能。
5軸ステージ付き白色干渉計 S neox Five Axis
S neox Five Axis 5軸ステージ付き白色干渉計は、高精度回転ステージモジュールと白色干渉計 高速・多機能モデルS neox の高度な検査および解析機能を組み合わせています。これにより、指定された位置・角度で自動的に3D表面形状測定を行い、完全な3D形状計測が可能になります。
白色干渉計 高速・多機能モデル ”S neox”
S neox は、性能、機能、効率、デザインの全ての面で既存の光学3Dプロファイリング顕微鏡を凌駕する、クラス最高の面形状計測システムです。
ハイエンド リーズナブル価格 AFM Nano-Observer ナノオブザーバー1
高いスキャナー性能を持つハイエンドAFMです。老舗AFMメーカのハイエンド品並みの測定品質ながらリーズナブルな価格に抑え、非常にコストパフォーマンスの高いAFMになっています。通常のAFMとしての機能のほか、電気特性測定(KFM、C-AFM)などに強みがあります。
高精度レーザー干渉式変位センサ
ピコオーダ、超高速(10MHz)、長作動距離(最大5m)、多様な材質や極端環境(超高真空、高磁場)に対応する変位測定干渉計【レーザー干渉式変位センサ】
高精度・多層膜・非接触 厚み計 157/137シリーズ
※デモ機あり、サンプル測定可能 高精度 (±0.1 μm)、12μm から 80mmの広い範囲が測定可能な膜厚計(厚み計)です。独自の非接触光学技術を採用。硬質材料と軟質材料の両方を、損傷や変形なく厚さ測定をすることができます。最大31層の厚みを同時に測定することが可能です。
光学顕微鏡付きAFMプラットフォーム FM Nanoview Op AFM
光学顕微鏡を備えたAFMのプラットフォーム。高速走査かつ高分解能、原子力間顕微鏡によるイメージングを実現。空中や液体中での測定に対応。
測定用標準基板・テストサンプル・校正構造体
測定用標準基板・テストサンプル・校正構造体:- AFM 校正用構造体 測定用標準基板 HOPG,- AFM 校正用構造体 TGXYZ,- AFM 校正用構造体 TGX,- AFM 校正用構造体 TGF11シリーズ
装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 シリーズ一覧
非接触・非破壊で表面の微細形状、面粗度、粗さ、薄膜計測などの3D形状を測定することができる装置組込み用の顕微鏡ユニット 。白色干渉計および3Dレーザー顕微鏡に代表される共焦点顕微鏡技術を搭載。
白色干渉計 エントリーモデル ”S lynx”
コンパクトなサイズにSensofarの3-in-1テクノロジーを搭載した卓上型の3D形状測定装置
高精細 大型サンプル向け 白色干渉計 共焦点顕微鏡システム S neox Grand Format
半導体、ディスプレイ、プリント基板における大型の基板の3D表面測定が可能な白色干渉計・共焦点顕微鏡システムです。測定ソフトウェア、また特定の測定ニーズに合わせたプラグインも幅広くご用意。アプリケーションに適した測定ソリューションをご提供致します。