大型サンプル対応AFM 最大12インチ NanoViewラージスキャナシリーズ 

FSM Precision

新商品

NanoViewラージスキャナシリーズは4~12インチのサンプルを分割することなく直接観察が可能。表面粗さ、粒子サイズ、ステップ高さなどの3次元表面形状の画像が取得可能な最も直感的で高速かつ費用対効果に優れた産業用AFMです。また自動ポジショニングのための座標の設定も可能で、製品開発と品質管理にとって最適なツールをなっています。

NanoView ラージスキャナシリーズ AFM 概要

日本国内でも実績があり、低価格でありながら高いイメージング品質のNanoView 1000 AFMシリーズのFSM Precision社が製造するラージスキャン用のAFMです。大きなサンプルをカットせずに測定可能。最大サンプル 4インチ、6インチ、8インチ、12インチの4種類をご用意しています。最大サンプルサイズにより装置の価格が異なりますが、ご用途に合わせて必要なものをお選びいただけますので、オーバースペックのものを購入する必要がなく、費用を抑えることができます。

NanoViewラージスキャナシリーズ AFM 特徴

  • サンプルサイズ: 最大サンプルサイズが4インチ、6インチ、8インチ、12インチのものがあります。最大で12インチのサンプルを搭載可能
  • 電動ステージ
  • 高コストパフォーマンス
  • 堅牢なデザインと振動等外乱への対策
  • 簡単に高精細イメージを取得できます。
アルミナ Al₂O₃AluminaAl2O3-20240626-FSM
STOフィルムSTO film
ITOフィルムITO film

用途

  • ウェーハ処理前後の違いの評価 (SiO2、GaAs、SiGe など)
  • コンタクトレンズ、カテーテル、コーティングされたステントなどのバイオメディカル機器の処理効果(プラズマ処理など)を観察。
  • 表面粗さの接着に与える影響の確認
  • ウェーハのパターン形状の観察と清浄度の評価

分析事例

  • コーティングの評価: 粗さ分析、膜厚分析、ピット分析
  • ナノ材料分析: 粒子観察、分散分析
  • 材料の3Dトポグラフィ

NanoView ラージスキャナ全体写真

“fsm-precision_nanoView”NanoViewラージスキャナ閉めた”

仕様

標準モード: タッピングモード、コンタクトモード
オプションモード: 位相、MFM、EFM、LFM
スキャン速度: 0.6Hz~4.34Hz
ちから‐グラフ曲線: F-Z曲線、RMS-Z曲線
スキャン角度: 0~360°
オプションモード: プロファイルライン高速測定モード
オペレーティングシステム: Windows XP/7/8/10オペレーティングシステム
最大走査範囲: XY: 50um、Z: 5um
通信方法: USB2.0/3.0
スキャナ分解能: XY: 0.2nm、Z: 0.05nm
耐衝撃設計: エアフローティング耐衝撃テーブル/金属製防音ボックス
サンプルサイズ: Φ=100mm (4インチ)から300mm (12インチ)、H<20mm
機器サイズ: モデルによる
機器重量: モデルによる
サンプル移動範囲: モデルによる
光学観察: 10倍対物レンズレンズ / 1um解像度
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