AFMプローブ HQシリーズ

MikroMasch

位相イメージングは、異種材料や特性の不均一性を持つサンプルにおいて、ナノスケールの違いをイメージングするために用いられるAFM技術の一つです。位相コントラストは、チップとサンプル間の相互作用に基づきますが、これらの相互作用は、スキャンパラメーターや、イメージングの測定モード(原子間力の引力領域か斥力領域で捜査しているかなど)に依存します。O’DeaとBurratoは、位相イメージングを使用して、Nafion膜のプロトン伝導ドメインをマッピングしました。彼らは、先端とサンプルの間の特定の相互作用力がプロトン伝導ドメインの分解能に大きく影響することを発見しました。斥力レジームでのイメージングにより、ドメインの面積が大きめに表示され、ドメインの数が少なめに表示されました。引力領域でのイメージングにより、水やフルオロカーボンのドメインが最も正確に測定できました。AFMのフィードバックループが最適化されていない場合、またはカンチレバーが共振周波数を超えて駆動していた時、位相イメージングは組成の違いではなく、形状の変化に対応するイメージになりました。

MikroMaschHQicons

 

  • ノンコンタクト(NSC)
  • コンタクト(CSC)
  • 4 – レバー(XSC)
  • シリコンプローブ

 

mikromasch_ab_picture
 
図(a)と図(b)では、それぞれ斥力レジームと引力レジームからの位相データが、対応するトポグラフィー画像に重ねて表示されています。斥力レジームの位相コントラスト像は、地形のいくつかの構造に対応していますが、引力レジームの位相コントラストは、地形とは無関係になっています。画像はNSC15 / Al BSで撮影されました(現在はHQ:NSC15 / Al BSにアップグレードされています)
(O’Dea, J.R. and Burrato, S.K.; J. Phys. Chem. B 2011, 115,1014-1020.)
  • チップ半径: ~ 8 nm
  • チップ材質: シリコン
  • 反射面コーティング【 AL BS: Al 30 nm, NO Al: 無し, Cr-Au BS: Au 30 nm サブレイヤー(Cr 20 nm )】

HQ_PN_mikromash_

 

品番 コーティング レバー長[µm,±5] レバー幅[µm,±3] レバー厚[µm,±0.5] 共振周波数 [kHz] ばね定数 [N/m]
(typical) (range) (typical) (range)
HQ:NSC14 NO AL,
AL BS
125 25 2.1 160 110-220 5 1.8-13
HQ:NSC15 NO AL,
AL BS,
Cr-Au BS
125 30 4.0 325 265-410 40 20-80
HQ:NSC16 NO AL,
AL BS
225 37.5 7.0 190 170-210 45 30-70
HQ:CSC17 NO AL,
AL BS
450 50 2.0 13 10-17 0.18 0.06-0.40
HQ:NSC18 NO AL,
AL BS
225 27.5 3.0 75 60-90 2.8 1.2-5.5
HQ:NSC19 NO AL,
AL BS
125 22.5 1.0 65 25-120 0.5 0.05-0.23
HQ:NSC35
lever A NO AL,
AL BS,
Cr-Au BS
110 35 2.0 205 130-290 8.9 2.7-24
lever B NO AL,
AL BS,
Cr-Au BS
90 35 2.0 300 185-430 16 4.8-44
lever C NO AL,
AL BS,
Cr-Au BS
130 35 2.0 150 95-205 5.4 1.7-14
HQ:NSC36
lever A NO AL,
AL BS
110 32.5 1.0 90 30-160 1 0.1-4.6
lever B NO AL,
AL BS
90 32.5 1.0 130 45-240 2 0.2-9
lever C NO AL,
AL BS
130 32.5 1.0 65 25-115 0.6 0.06-2.7
HQ:CSC37
lever A NO AL,
AL BS
250 35 2.0 40 30-55 0.8 0.3-2
lever B NO AL,
AL BS
350 35 2.0 20 15-30 0.3 0.1-0.6
lever C NO AL,
AL BS
300 35 2.0 30 20-40 0.4 0.1-1
HQ:CSC38
lever A NO AL,
AL BS
250 32.5 1.0 20 8-32 0.09 0.01-0.36
lever B NO AL,
AL BS
350 32.5 1.0 10 5-17 0.03 0.003-0.13
lever C NO AL,
AL BS
300 32.5 1.0 14 6-23 0.05 0.005-0.21
HQ:XSC11
lever A NO AL,
AL BS
500 30 2.7 15 12-18 0.2 0.1-0.4
lever B NO AL,
AL BS
210 30 2.7 80 60-100 2.7 1.1-5.6
lever C NO AL,
AL BS
150 30 2.7 155 115-200 7 3-16
lever D NO AL,
AL BS
100 50 2.7 350 250-465 42 17-90
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