AFMプローブ 磁気力顕微鏡 Co-Cr コーテイング コバルトクロム

MikroMasch

HQ:NSCプローブモデルには、磁気力顕微鏡(MFM)用のコーティングを施した製品もご用意しております。コーティングはチップサイドに膜厚60 nmのコバルト層があり、さらに酸化防止のクロムフィルム膜厚20 nmがカバーしています。トポグラフィーと磁気特性の安定した測定のためにカンチレバーのパラメーターは最適化されています。

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  • マグネティック
  • ノンコンタクト
  • シリコンプローブ

 

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Coモノドメイン粒子の(a)トポグラフィーおよび(b)磁気像Co-Crコーティングを施したNSC36シリーズ
カンチレバー(現在はHQ:NSC36 / Co-Cr / Al BSにアップグレード)を使用してリフトモードで測定
Image courtesy of Prof. V. Shevyakov, MIET.

  • Co-Cr コーティング後チップ半径: < 60 nm
  • Co チップ面コーティング: 60 nm
  • Cr チップ面コーティング: 20 nm
  • 反射面Alコーティング: 30 nm
  • 保磁力: 300-400 Oe

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品番 コーティング レバー長[µm,±5] レバー幅[µm,±3] レバー厚[µm,±0.5] 共振周波数 [kHz] ばね定数 [N/m]
(typical) (range) (typical) (range)
HQ:NSC16 Co-Cr,
AL BS
225 27.5 3.0 75 60-90 2.8 1.2-5.5
HQ:NSC36
lever A Co-Cr,
AL BS
110 32.5 1.0 90 30-160 1 0.1-4.6
lever B Co-Cr,
AL BS
90 32.5 1.0 130 45-240 2 0.2-9
lever C Co-Cr,
AL BS
130 32.5 1.0 65 25-115 0.6 0.06-2.7
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