アプリケーション事例

• 材料科学
• 半導体研究
• 高分子研究
• 生体試料
• 二次元材料特性評価
• 太陽光発電
• 電気化学
• 腐食研究
• ナノメカニカル分析

スキャナ仕様

• XYスキャン範囲 100 μm × 100 μm (±10%)
• Zレンジ 15 μm (±10%)
• XY分解能 < 0.1 nm
• Z分解能 < 0.05 nm

光学検出システム

• レーザータイプ 低コヒーレンスレーザーダイオード
• 検出器 4象限フォトダイオード
• レーザースポット径 < 30 μm

力測定

• 最小検出力 < 10 pN
• 力の分解能 < 1 pN

イメージングモード

• 接触モード
• タッピングモード（振幅変調）
• 非接触モード
• HD-KFM III (高精細ケルビン力顕微鏡)
• レジスコープIII (抵抗マッピング)
• ソフト間欠接触（ソフトIC）モード
• ソフトMEKA（機械的特性マッピング）
• ソフトレジスコープ
• PFM (ピエゾ応答力顕微鏡)
• SThM（走査型熱顕微鏡）

電気測定

• レジスコープの測定範囲 10²～10¹²オーム
• 電圧範囲：±10 V（調整可能）

コントローラーとデータ収集

• コントローラ分解能：24ビット
• 内蔵ロックインアンプ 最大6 MHz
• 最大データポイント 8192 × 8192
• スキャン速度：最大10ライン/秒（256×256ピクセル時）

サンプルステージ

• サンプルサイズ 最大直径50 mm
• サンプル重量 最大100 g
• モーター駆動サンプルアプローチ 5 mmレンジ、分解能1 μm

環境制御

• 温度範囲：-40℃～300℃（オプションの加熱/冷却ステージ使用時）
• 湿度制御： オプション、範囲はモジュールにより異なる
• 液体セル：流体環境でのイメージングに使用可能
• ガス制御： オプション、雰囲気制御実験用

電気化学AFM (EC-AFM)

• 電気化学セル：3電極構成
• 電位範囲： ±10 V（代表値、変動する可能性あり）
• 電流範囲： pA～mA

ソフトウェア

• オペレーティングシステムの互換性 ウィンドウズ10/11
• オートスキャン機能 スリークリック操作による自動イメージング
• リアルタイムデータ処理と表示
• 高度なモード制御：HD-KFM、レジスコープ、ソフトICなど
• データ解析ツール： フォースカーブ解析、粗さ計算など