超分解能光学顕微鏡 ≦100nm分解能光学ナノスコープ NANORO M

超分解能を持つ光学顕微鏡（光学ナノスコープ）。回折限界を超えて観察が可能。≦100nm分解能、光学顕微鏡でナノスケールの検査ができます。非破壊、フルカラーでのイメージング・観察が可能。さまざまな対物レンズをサポート。半導体研究開発および先端材料イメージングにご使用いただけます。

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概要
主な仕様

光学ナノスコープ（光学顕微鏡）NANORO Mとは

光学ナノスコープ NANORO M　は日々のルーチンワークで使用できる低分解能（10倍）から超分解能（≦100nm）まで対応する光学顕微鏡です。さまざまな対物レンズをサポートしています。

光学ナノスコープ（光学顕微鏡）NANORO Mの特長とメリット

フルカラーの結像

LIG Nanowise社のミクロスフェアレンズ（微小球体レンズ）により、NANORO Mは色情報を維持したまま、回折限界を超えて結像することができます。

迅速なサンプルスキャンを実現

LIG Nanosiwのソフトウェアとナノメータステージにより、標準的な光学顕微鏡よりも大幅に速く、また複数の分解能で迅速にサンプルの広い領域を画像化することが可能です。

非破壊

従来の超解像技術とは異なり、NANORO Mは非破壊であるため、サンプルの完全性を損なうことなく何度もイメージングすることが可能です。

誰でも簡単に使用可能

超解像機能を備えた完全光学式の顕微鏡であるため、従来の白色光顕微鏡に慣れ親しんだ方であれば、どなたでも簡単にご使用いただけます。

ラボ（研究室）対応

NANORO Mは、標準的な光学テーブルの上で作業が可能。クリーンルームや真空などの特別な環境は不要です。

≦100nm　分解能

SMAL（超分解能ミクロスフィア増幅レンズ）を使用するオプションにより、NANORO M はサンプルによって 100 nm 以下での観察が可能です。

光学ナノスコープ（光学顕微鏡）NANORO Mの特長詳細

光学分解能 ≦100nm

LIG Nanowise Nanoro M Sub 100 nm Optical Resolution

右の画像（白色光倍率100）でSMALによって見える細い線は、SEM（走査型電子顕微鏡）によって測定すると幅は66nmになります。

ケーススタディ事例紹介（外部英文ページに遷移）
アプリケーションノート（外部英文ページに遷移）

広範囲でのスキャン（走査）＆ステッチ（画像合成）

LIG Nanowise Nanoro M Scanning Switch 5db2ead6b44d610eeb58886e_ezgif.com-video-to-gif

ナノ精度のスキャンステージとカスタムステッチングのアルゴリズムにより、NANORO Mは10倍拡大から超解像まで、さまざまな解像度の広範囲でのスキャンを迅速に画像化し、つなぎ合わせることができます。

ソフトウェア仕様

※上記のスキャン画像はイメージです。

波長選択性

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NANORO Mは目的の波長に対して画像が確実に焦点が合っていることを確認するために使用していただけます。また、サンプルが波長に対してある程度の透過性を持っている場合には、目的の特定の領域が最もシャープで高い解像度で画像化されていることを確認するために使用することも可能です。

ソフトウェア仕様

パワフルな対物

LIG Nanowise Nanoro M Objective 5db2ca43a1406616f0c5cba6_lens-p-1600

SMAL（超分解能ミクロスフィア増幅レンズ）の性能を最大限に活用できる唯一の顕微鏡であるNanoro Mは、高コントラストでの超解像スキャンが可能で、通常の白色光顕微鏡よりも多くのトポグラフィデータを得ることができる側面照明顕微鏡の機能も備えています。

アプリケーションノート（外部英文ページに遷移）
関連論文（外部英文ページに遷移）

白色光とオプティクス

LIG Nanowise Nanoro M white light and optics

NANORO Mは完全光学式であるため、白色光顕微鏡のメリットをすべて備えています。使いやすく、様々な対物レンズを利用可能で、非破壊でサンプルの前処理も最小限で済ませることができます。

ホワイトペーパー（外部英文ページに遷移

カメラセンサ

タイプ	フルカラー Bayer pattern CMOS
ピクセルサイズ	1.55 µm角
アスペクト	4:3
センサ	12 MP CMOS
ピクセル	4000 x 3000
アナログコンバータ	12ビット
最大FPS	60
通信	USB3.0

イルミネーション（照明）

タイプ	可変出力LED
代表的使用寿命	10万時間
消費電力	3.2 W
光出力	> 800 mW
200mmでの最大放射照度	24.8 µW / mm2
色	コールドホワイト（6500 K）
照射範囲	400 nm – 700 nm
ピーク分光光度	440 nm
ピーク分光光度 @ ~ 440nm	22 mW / nm

SMAL（超分解能ミクロスフィア増幅レンズ）用アイリス制御

タイプ	ソフトウェア制御XY位置
XY制御	100 µm単位
アイリス制御	0.145°単位

タレット

タイプ	マニュアル
サポート	4レンズ
接続	M25

モニタ

インターフェース	HDMI
最小解像度	1920 x 1080

ソフトウェア

ソフトウェアの特長

ブラウザ、スキャンマネージャー、エクスプローラモードを使いやすく分離
ライブ・エクスプローラとブラウザ・モードでのデジタル・ズーム可能
x10、x40、x100、SMALレンズ用に設定されたオートフォーカス
測定/寸法計測ツール搭載
エンコーダとの距離キャリブレーション可能
超解像分析のための4Kモニターサポート
スナップショットおよびエリアスキャンモード
画像メタデータサポート（フッター凡例表示）
ステッチ用の関心領域をユーザーサイズで設定可能
ユーザー設定可能なスティッチ画像間の滞留時間
ユーザー制御による波長選択性
ユーザー制御によるアイリス設定（サイズと位置）
統合ソフトウェア・ジョイスティック
NANORO 3軸ホール効果装置対応
特注レンズの選択と入力可能
付属レンズ、その他レンズを問わず、すべてのレンズの画像ステッチが可能
設定可能な画像エクスポート（「Image J 」または「Gwyddion 」など）
最大ステッチ領域： 64 mm² （600 Mbyte までのファイルに制限）
最大スキャンエリア：1600 mm²
最大ステッチ画像サイズ：28,000 x 28,000 ピクセル
最大ステッチ画像サイズ：784 MP
アップデート無料

レンズサポート

タイプ	無限修正
スレッド	M25

標準M25スレッド、10倍、40倍、100倍、SMAL付き
各種オイルレンズ、ウォーターレンズ、エアーレンズなど、ご要望に応じて他のレンズもご用意いたします。

Zステージ

デザイン	クロスローラベアリング
ポジショニング	真、アンチバックラッシュ
移動範囲	60 mm
分解能	100 nm
最小移動距離	100 nm

XYスキャニングステージ – 50 mm

デザイン	クリープ防止クロスローラベアリング
ポジショニング	真、ゼロバックラッシ
エンコーダ	サンプルキャリッジ上のリニア
移動範囲	50 mm
最大速度	500 mm/s
分解能/最小ステップサイズ	5 nm
インポジション安定性	< 1nm
双方向繰り返し精度	+/- 75nm
精度	+/- 250 nm
負荷容量	3 Kg
MTBF*	20,000時間

ヒューマンインターフェース

ジョイスティック	（オプション）3軸ホール効果
マウス	2ボタンとホイール
キーボード	標準英数字

サイズと重量

Nanoro-M 顕微鏡重量	24 Kg
Nanoro-M 顕微鏡サイズ	30 x 40 x 60 cm
Nanoro-M コントローラ重量	19 Kg
Nanoro-M コントローラサイズ	27 x 60 x 65 cm

電源

電圧	230Vac / 110Vac
電流	0.4 A / 0.6 A
最大消費電力	100 W

* コントローラ内部スイッチによる選択が必要です。