12インチ 300 mm サンプル対応 AFM-IR装置 PiFM / PiF-IR Vista300

サンプルは12インチ 300 mm × 300 mm まで対応のAFM。ナノ加工における研究開発および故障解析に最適な最先端のナノ化学測定装置。業界トップクラスの自動化を実現したAFMです。

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AFM-IR装置　Vista300の特長

AutoPiFMは、検出されたすべての化学成分の固定波数PiFM画像と各化学相のPiF-IRスペクトルを含む完全なデータセットをゼロから生成します。

業界初！励起レーザーの重要なアライメントがコンピュータ画面を使って行われるようになり、最適な結果を確実にし、トレーニングを減らし、時間の節約を実現します。

自動ビームアライメントと内蔵マルチプレクサにより、レーザーをメイン装置の下に内蔵することが可能になりました。これにより、妥協することなく、よりコンパクトな設計が実現しました。Vista300は、赤外スペクトル全域をカバーするため、最大2台のレーザーをサポートしています。（仕様参照）

幅400 mmのサンプルへのアクセスドアは、ドリフトの原因となる熱擾乱を最小限に抑えながら、スループットを最大化します。絶縁された金属筐体は、防音と0.1°C以内の安定した温度制御を保証しており、クリーンルームにも対応しています。

ステージと走査	サンプルステージ移動領域：300mm x 300mm square
	走査サイズ：90 μm　x　90 μm
	デュアル Z　フィードバック: 600 nm 高速スキャナー付　12 μm z-スキャナーが高帯域かつ広いz軸範囲の両方で走査
機能性	イメージングモード：Non-contact AFM, PiFM, KPFM, cAFM, nano DMA, FvD （力 vs 距離）マッピング.
	分光モード：PiFm-IR, FvD
	PiFレーザーオプション：QCL (770 – 1840, 1995 – 2395 cm−1), OPO/DFG (590 – 2050, 2250 – 4400, 5000 – 7000 cm⁻¹).
	デプスプローブ（IR）:表面モードでは20 nm、バルクモードでは100 nm 超
物理的要件	システム寸法：1.1 m × 1.1 m × 4.9 m (3’ 7.3” × 3’ 7.3”× 5”)
物理的要件	筐体：400mm×200mmのアクセスドアにより、熱ドリフトを最小限に抑えます。筐体はケーブルを外すことなく取り外しが可能です。