8インチ（200 mm）ウエハ対応 AFM-IR装置 Vista 200 PiFM / PiF-IR

8インチ（200mm）ウエハをそのままサンプルステージに乗せてAFM-IR測定を実施できる大型サンプル対応モデルです。8インチウエハだけでなく、152mmのフォトマスクサンプルにも対応します。高空間分解能のケミカルイメージングのほか、ナノスケールIR分光により、ナノ異物分析にも対応します。IRライブラリにも対応します。

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概要
主な仕様
関連情報

AFM-IR装置　Vista200の概要と特長

Vista_200_0512-1024x768 Molecular Vista　Vista200 写真

半導体向け仕様

200mm×200mmのサンプルステージを持つVista 200は、ウェーハやフォトマスクの分析に最適です。Vista200は、マグネット付き真空チャックまたは専用EUVマスクホルダーのいずれかを使って構成できます。この装置は4インチ、6インチ、8インチウェーハに最適です。

強力ながら非破壊で測定

MolecularVistaのAFM-IR PiFMは真の非接触モード計測が可能です。サンプルに触れることがないため、クリーンな状態に保たれ、チップもクリーンな状態が保たれます。

工程の合理化

付属のデータ解析ソフトウェアにより、チームは測定からプレゼンテーションに使える結果まで迅速に行うことができます。データ収集ソフトウェアとの緊密な連携により、必要な解析結果をリアルタイムで取得することが可能です。スクリプトAPIはカスタムレシピを可能にし、ファイルはオープンなので、サードパーティのソフトウェアとの統合も簡単です。

卓越したAFM性能

120µmのxyスキャナ、12µmのサンプルzスキャナ、そして統合された防振により、AFMの性能はトップクラスです。高帯域幅のデュアルzフィードバックシステムにより、IR PiFM用の真の非接触AFMを実現しています。

through_window_B84　Molecular Vista Vista200写真

産業向けに開発構築

効率を最大化し、測定の妨げを最小化を実現。
幅300 mmのサンプルアクセスドアは、ドリフトの原因となる熱による妨げを最小限に抑え、生産性を最大化します。前方に移動するステージと使いやすいヘッドマウントにより、筐体全体を開けることなくチップとサンプルを簡単に交換することが可能です。

Vista_200_0615　Molecular Vista Vista200写真

自己完結型システム

特別な環境は不要です。Vista200は、防振構造、0.1 ºC精度で温度制御された音響エンクロージャー、乾燥した空気での完全に密閉されたビーム経路を完備しています。

究極の分光ナノスコピーPiFM・PiF -IR

サブ5 nm のIR 空間分解能

PiFM化学マッピングは、表面化学分析に比類のない水平方向 IR分解能を提供します。
スプルース材の細胞壁のリグニンマトリックスにセルロース繊維は埋め込まれている様子を右図のようにイメージングできます。走査寸法：150 nm × 150 nm × 10.5 nm　詳細（外部英文リンク）

単一分子レベルの感度を実現

PiF -IR
PiF-IR スペクトル（マゼンタとグリーン）は、これらのペプトイドナノシートフラグメント上とそれ以外の場所の化学的差異を示しています。

PiFM
PiFMケミカルイメージング(1633, 1462cm-1)では、周囲の物質よりわずか 0.5 nm 高いペプトイドフラグメントを検出できていることがわかります。【スキャン寸法: 500 nm × 500 nm × 1.7 nm 】

仕様

ステージと走査	サンプルステージ移動領域：200mm x 200mm square
	走査サイズ：120 μm　x　120 μm
	デュアル Z　フィードバック: 600 nm 高速スキャナー付　12 μm z-スキャナーが高帯域かつ広いz軸範囲の両方で走査
機能性	イメージングモード：Non-contact AFM, PiFM, KPFM, cAFM, nano DMA, FvD (力 vs 距離) マッピング.
	分光モード：PiFm-IR, FvD
	PiFレーザーオプション：QCL (770 – 1840, 1995 – 2395 cm−1), OPO/DFG (590 – 2050, 2250 – 4400, 5000 – 7000 cm⁻¹).
	デプスプローブ（IR）:表面モードでは20 nm、バルクモードでは100 nm 超