半導体向け仕様

200mm×200mmのサンプルステージを持つVista 200はウエハやフォトマスクの分析に最適です。Vista200は、マグネット付き真空チャックまたは専用EUVマスクホルダーのいずれかを使って構成できます。この装置は4インチ、6インチ、8インチウエハに最適です。

強力ながら非破壊で測定

MolecularVistaのAFM-IR PiFMは真の非接触モード計測が可能です。サンプルに触れることがないため、クリーンな状態に保たれ、チップもクリーンな状態が保たれます。

工程の合理化

付属のデータ解析ソフトウェアにより、チームは測定からプレゼンテーションに使える結果まで迅速に行うことができます。データ収集ソフトウェアとの緊密な連携により、必要な解析結果をリアルタイムで取得することが可能です。スクリプトAPIはカスタムレシピを可能にし、ファイルはオープンなので、サードパーティのソフトウェアとの統合も簡単です。

卓越したAFM性能

120µmのxyスキャナ、12µmのサンプルzスキャナ、そして統合された防振により、AFMの性能はトップクラスです。高帯域幅のデュアルzフィードバックシステムにより、IR PiFM用の真の非接触AFMを実現しています。

産業向けに開発構築

効率を最大化し、測定の妨げを最小化を実現。
幅300 mmのサンプルアクセスドアは、ドリフトの原因となる熱による妨げを最小限に抑え、生産性を最大化します。前方に移動するステージと使いやすいヘッドマウントにより、筐体全体を開けることなくチップとサンプルを簡単に交換することが可能です。

自己完結型システム

特別な環境は不要です。Vista200は、防振構造、0.1 ºC精度で温度制御された音響エンクロージャー、乾燥した空気での完全に密閉されたビーム経路を完備しています。