AFM 超高感度電流増幅器

ResiScopeⅡ　レジスコープⅡは、他にないユニークなシステムです。高感度かつ、10桁以上のダイナミックレンジを持つ、AFM電流抵抗値測定（C-AFM）用高性能アンプです。MFM / EFMまたはKFMシングルパス（HD-KFM）等のいくつかのモードと合わせて使用することで、同一のスキャン領域における複数の特性評価を行うことができます。
測定は、光てこ方式によるコンタクトモード測定でサンプル表面を走査しつつ、サンプルと導電性AFMプローブ（仮想接地）の間にDCバイアスを印加することによって行われます。レジスコープⅡは、サンプルの各点の抵抗値を、高性能アンプ（HPA； High Performance Amplifier）を介して測定します。

柔らかい・脆いサンプル測定用機能 “Soft ResiScope ソフトレジスコープ” の詳細はこちら

Resiscope 紹介動画

世界最高性能の電気的特性評価

デュアル測定システム

• 抵抗値測定
• 電流値測定 (IVカーブ)
• オシレーションモードで動作 (タッピング / ACモード)
• EFM / MFM、シングルパスKFMと同一の場所を測定可能
• 抵抗値測定範囲:10² Ω – 10¹² Ω (ダイナミックレンジ10桁)
• 出力データ: R, Log R, 電流 & I/Vカーブ

アプリケーション

• 太陽光発電関連技術
• 半導体
• 酸化物特性評価
• その他すべての電気的特性評価

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原理

測定中、DSP（Digital Signal Processor）は、アンプモジュール（HPA）による測定を最適化するため、リアルタイム（各ピクセルごとに）で最適なゲインを選択します。この技術により、AFMの走査スピードはそのままに、すべての測定レンジにおいて高感度の電流値測定を可能にしています。他の測定技術に加え、チップ、サンプル間に流れる電流は極めて小さくなります。そのため、電流の流れすぎによるサンプルや導電性チップへの局所的な酸化やダメージの危険が著しく低減され、これまでダメージに弱く、測定できなかったサンプルも測定が可能になることがあります。

Stainless steel, Resiscope mode, 50µm	Carbon black stripe, Resiscope mode, 60µm	OPV, Resiscope mode, 10µm
Organic soler cell layer, Resiscope mode, 5µm	SBS, Resiscope mode, 3µm

レジスコープはリアルタイムで適切な測定レンジを選択して、最適な感度と測定レンジの測定データを取得します。これにより、チップ、サンプル間に流れる電流が制限され、チップまたはサンプルへのダメージを予防します。リニアアンプやログアンプを用いている従来の電流測定手法よりもすべての面で高性能です。

AFMモード

レジスコープモード、10桁以上の抵抗値測定

Resiscope™（レジスコープ）モードは、AFMのコンタクトモードとして動作します。導電性のチップを介して、サンプルの電流値または抵抗値の変化を、広範囲にわたって記録します。IVカーブは測定視野の任意の点で測定できます。抵抗値と電流値の測定範囲は10桁以上です。

抵抗値&電流値マッピング 大きなダイナミックレンジにおいて高感度測定 下記モードと動作 オシレーション / AC モード EFM / MFM、シングルパスKFM(HD-KFM) 出力データ R, Log R, 電流, I/Vカーブ
	レジスコープ概念図

直感的なソフトウェア

• 使いやすい
• 自動モード切替
• 出力スケールの設定可: R | Log R | 電流

レジスコープはGalaxy Dualコントローラーに互換します

レジスコープは、Galaxy Dualコントローラーを接続した他社製AFMでも利用可能です。
Galaxy Dualコントローラーについては専用ページをご覧ください。

Galaxy Dualコントローラー

受賞歴

2013 : FIEEC Prize for Applied Research at « Rendez-Vous Carnot 2013 » 2014 : « Yves Rocard 2014 » Prize (Société Française de physique) ※メーカーサイトに遷移します
	Rendez-Vous Carnot 2013	Yves Rocard 2014