attocube レーザー干渉式センサ概要

attocube systems

ピコオーダ、超高速(10MHz)、長作動距離(最大5m)、多様な材質に対応

ピコオーダ、超高速(10MHz)、長作動距離(最大5m)、多様な材質や極端環境(超高真空、極低温、高磁場)に対応

attocube レーザー干渉式センサ概要

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attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、ターゲットの直線運動を測定します。小型で3軸まで構成できます。ファブリーペロー干渉計に基づいたセンサで、さまざまな材料や形状に対して最も正確に測定でき、数ミリメートルから数メートルまでの広い作動距離を達成しています。特許取得済みのファイバーベース技術で、モジュール式のセットアップと非常にコンパクトなセンサヘッドが特長です。さらに、振動測定、回転の振れ測定、工作機械の校正にも適用できます。位置信号はクローズドループ位置決めシステムの入力シグナルとして使用できます。

レーザ干渉式変位センサ IDS3010


コンパクトなモジュール型 レーザー干渉式変位センサです。一般大気環境から、超高真空、低温、放射線環境といった極端環境下でのチャレンジングなOEM用途へも容易に導入できます。


OEMセンサ・ソリューション


高精度な変位測定が必要なアプリケーション向けに、ご指定の用途に最適化したカスタムコンポーネント、統合モジュール、システムソリューションを提供します。


応用分野

導入例

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