高精度回折計によるAR導光板グレーティング解析システム　WG-GAT

OptoFidelity社のWG-GAT は、導光板グレーティングの品質を総合的に評価できるLittrow 回折計システムです。
完全自動化システムで、回折格子のピッチと方向を測定し、ピコメートルおよび秒角スケールの高い精度で、グレーティング構造の欠陥を検出できます。種類や基板に関係なくあらゆるグレーティングサンプルを測定でき、グレーティング構造の均一性を広い領域にわたって評価できます。AR導光板の製造において、マスター、スタンプ、レプリカの回折格子の品質テストに最適で、グレーティング導光板による高品質なAR画像の実現に寄与します。
 

高精度

WG-GATの解析技術は、従来の顕微鏡技術に代わる優れた方法です。AR導光板グレーティングの厳格な製作公差を満たす、最大 50倍の精度、再現性、解像度を実現しています。また、オペレータの熟練度に依存しない高いパフォーマンスとトレーサブル精度により、一貫性と信頼性に優れたグレーティング測定が可能です。

完全自動化システム

WG-GAT は、AR産業のニーズに合わせて特別に開発された、使いやすい完全自動化システムです。効率的なグレーティング検査とコスト効率の高いメンテナンスを提供します。

生産向けに最適化された、高い信頼性

WG-GAT は、マスターグレーティングの品質評価、スタンプ交換の必要性の判断、複製プロセスの全体的な品質の検証に使用でき、生産プロセスの最適化をサポートします。WG-GAT は、AR産業の品質基準や生産要件に適合し、AR導光板の開発ワークフローの効率向上に貢献できます。
 

高度な分析

WG-GAT は、WG-IQ　AR導光板品質の自動画像検査システム と組み合わせて、導光板の画質の特定の欠損と、グレーティング構造における品質の問題や欠陥とを関連付けることができます。
 

AR導光板グレーティング解析システム　WG-GAT デモ動画

WG-GATは、AR導光板グレーティングの特性評価用Littrow 回折計システムです。グレーティングのあらゆる欠陥を検知できます。ウェハやダイスといったあらゆるグレーティングサンプルを測定可能です。使いやすい完全自動化システム。高精密回転ステージによるアクティブアライメントで、グレーティング間隔と方向を正確に計測できます。