ALPHAシリーズ ナノ秒レーザーを使用したレーザー微細加工例をご紹介します。

NKT Photonics社のKoherasシリーズ 単一周波数ファイバレーザーは、超低ノイズ、狭線幅、高い周波数安定性、さらには堅牢で信頼性の高いファイバー出力レーザーで、原子トラッピング/原子冷却に最適です。

attocube社製ナノ位置決めステージおよびレーザー干渉式センサを用いた、ウェハやマスク処理における品質保証