IDS レーザ干渉式変位センサヘッドについて

attocube systems

アプリケーションに応じてカスタマイズ可能なattocube社 IDS レーザ干渉式変位センサヘッドについての詳細情報。推奨アプリケーション、推奨材料もご紹介します。

製品詳細はこちら ≫ レーザ干渉式変位センサ IDS3010

標準センサヘッド概要

attocube社 IDS レーザ干渉式変位センサには、狭い場所向けの超コンパクトヘッド、位置合わせが簡単なタイプや様々なターゲット材料(ガラス、アルミニウム、セラミックなど)に適したタイプなど、用途に合わせてさまざまなセンサヘッドからお選びいただけます。(※下図はクリックで大きく拡大表示します)

カスタマイズが可能なセンサヘッド

ナノメートルスケールで変位を測定するには、センサヘッドがアプリケーションに適合している必要があります。標準センサヘッド外が必要なアプリケーションには、ご指定のアプリケーションに最適化したセンサヘッドをカスタマイズいたします。
光学系タイプ、焦点距離、取り付け方法、接続ファイバー、使用環境などに応じたカスタマイズが可能です。下図はカスタマイズ対応可能な例です。アプリケーションに求められる特性を明らかにし、適切なセンサヘッドを見つけるお手伝いをいたします。

広角センサヘッド


広い角度公差を必要とするアプリケーションには、M12 /C1.6センサヘッドのカスタマイズをお勧めします。このコリメート型センサヘッドは、最大許容差±2°の広角オプション対応です(作動距離によって異なります)。広角オプションは、Webサーバを介して有効化できます。広角オプションの効果は、レーザー光がキャビティを2回通過することによるデュアルパスモードに基づいています。1回目の通過後、レーザー光はフェルールで反射されてターゲットに戻り、2回目にファイバーで反射されます(左図参照)。これにより、低い角度公差で大きな作動距離を実現でき、小さな作動距離でも高い角度公差が可能になります。

限られたスペースでのアプリケーション向けセンサヘッド


マシン組込型の測定では、従来型の測定器に必要なスペースが得られません。限られたスペースでの測定を実現するには、センサヘッドとエレクトロニクスのコンパクト化が必要です。attocube社では、スペース最小化の要件を満たす直径1.2mmのカスタムセンサヘッドを提供できます。センサヘッドから内蔵の電子部品やビームスプリッタを排除し、小型化を実現しました。さまざまな焦点距離にも対応可能です。

金型ガイドレールに直接フォーカスしたカスタマイズセンサヘッド


リニアステージのポジショナーの精度を特定するため、リニアステージの動作をレーザー干渉計センサで追跡します。金型ガイドレールは動作中にステージを傾けるため、測定システムには高い角度公差が必要です。センサヘッドにレトロリフレクタを取り付けずに、ステージ上での直接測定が必要な場合は、レトロリフレクタにのみ適用できるセンサヘッドM12 / C7.6は適していません。ビーム径1.6 mmのコリメートオプティクスを内蔵したカスタマイズセンサヘッドM12 / C1.6であれば、非ミラー面での測定が可能で、広い角度公差の要件も満たします。
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