技術情報

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半導体製造装置・アプリケーション

attocube systems

半導体メーカーは、効率的で高密度なチップを製造しなければなりません。生産から品質保証に至るまでのすべての工程に共通する条件は、最高の精度と信頼性を確保し、品質を最大限に高めることです。attocube社の高精度部品は、これらの要求にお応えし、半導体アプリケーションに最先端の技術を提供します。

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スキャッタロメトリー(CryLaS社レーザーアプリケーションノート)

CryLaS

CryLaS社小型&低ノイズレーザーシステムによるスキャッタロメトリーの例をご紹介します。

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Photon Energy レーザー金属加工

Photon Energy

フォトンエナジー社 レーザーマーキング・レーザープロセス製品によるアプリケーション例:金属加工(彫刻、カラーアニーリング、切断、素材除去、ブラックマーキング

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フォトニクス・アプリケーション

attocube systems

データ伝送の高速化、通信ネットワークの拡大、家電製品の普及により、フォトニクス業界ではさらなる小型化が求められています。そのため、非常に小さくて複雑な部品を作り、組み立てる必要があります。個々の部品はナノメートル単位の微細な構造で構成されており、高度な光学システムによって作成または検査されます。フォトニクスやオプティクスのアプリケーションにおいて、高精度な位置決めを達成することが重要です。attocube社のモジュール式ナノ位置決めステージは、複雑な多軸アプリケーションにも優れた精度と信頼性を提供します。

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【応用例】CANLAS社レーザー溶接

Canlas

CANLAS社のQスイッチ半導体励起固体レーザーを用いた溶接加工の例をご紹介します。

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ラマン分光(CryLas社アプリケーションノート)

CryLaS

CryLaS社小型&低ノイズレーザーシステムによるラマン分光法の例をご紹介。

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