Sensofar 組込みセンサによるCMP（Chemical Mechanical Planarization）工程のパッドの平坦性の測定・解析。S mart によるCMPの測定によって、CMPパッドは全般的に十分活用されておらず、多くの場合は有効な製品寿命が半分以上残ったまま廃棄されていることが明らかになっています。

光ドップラー速度測定は高速で運動する物質の速度測定です。ファブリペロー干渉計のVISAR（レーザー速度干渉計）に比べ、機器費用の経済性に優れています。また衝撃面からの反射光の強度・速度の急激な変化にも対応します。本ページでは光ドップラー速度測定の原理、構成事例等をご紹介します。

半導体の電荷キャリアダイナミクスはウェハ材料の性質と品質を直接反映します。この特性を明らかにするため、光励起された電子と正孔の拡散長の正確かつ効率的な測定することが不可欠です。これには時間分解フォトルミネッセンス消光実験、すなわち時間相関単一光子計数（TCSPC）による時間分解フォトルミネッセンス（TRPL）が有効です。PicoQuant社の分光計 FluoTime 300や、励起光源としてTaiko PDL M1 レーザードライバ駆動のピコ秒パルスレーザーにより、電荷キャリアダイナミクスに影響を与える現象を最短サブナノ秒の時間スケールで直接分析できます。

Ti:Sapphireレーザー 近赤外光を発光する波長可変光源です。Ti:Sapphireレーザー の励起用レーザーを多数ラインナップしております。

フォトンエナジー社 レーザーマーキング・レーザープロセス製品によるアプリケーション例：金属加工（彫刻、カラーアニーリング、切断、素材除去、ブラックマーキング

レーザーを対象に照射し、反射光の解析によりリモートセンシングやイメージングが行えます。化合物、雨、岩石、非金属、エアロゾルなど様々なものに対してセンシング・イメージングが可能です。

代謝物NADHを解糖の固有マーカーとして用いることで、個々の細胞の動態をモニターし、その相互作用を研究することが可能です。

CryLaS社小型＆低ノイズレーザーシステムによるリソグラフィの例をご紹介します。

シンプル、優れた柔軟性、高精度なレーザーマーキングを可能にするカメラシステム

CryLaS社小型＆低ノイズレーザーシステムによるレーザーマイクロダイセクションの例をご紹介します。

非接触・非破壊でナノメートルからミリメートルオーダーの3D形状、および表面粗さを測定することができる形状計測技術の原理について紹介します。

NKT Photonics社の Super K スーパーコンティニュームレーザーは、可視光から近赤外・中赤外までの広い波長域をカバーし、単一周波数光源に匹敵する良質なビーム品質と高輝度をもち、多様なアプリケーションの新しい可能性を開く優れたツールです。

CryLaS社小型＆低ノイズレーザーシステムによるレーザー誘起蛍光法の例をご紹介します。

ナノ粒子や量子ドットの特性評価では、高解像度検査、材料の局所的変更、高密度場、強度強化など、目的に適応できる光源が必要です。NKT Photonics社のSuperK スーパーコンティニューム白色光レーザーは、非常に柔軟性に優れ、ナノ粒子や量子ドット研究で求められる多様なパラメータを提供します。

Lytid社とボルドー大学 IMS Nanoelectronicグループ（Patrick Mounaix教授）との共同研究による、テラヘルツ技術を駆使したイメージングアプリケーションの研究開発成果をご紹介します。

グラフェンは、炭素原子が六角形格子構造を成す二次元 (2D) 原子結晶で、強度が高く軽い素材でありながら、非常に柔軟です。さらに極めて優れた機械的剛性、高い弾性、優れた電気伝導性と熱伝導性を示します。SuperK スーパーコンティニューム白色光レーザーは、グラフェンと、グラフェンシートを管状にしたカーボンナノチューブの、マッピングや特性評価に活用されています。

半導体の製造工程おけるSensofar製品の測定アプリケーションをご紹介します。重要な寸法の測定、3D測定、膜厚測定、粗さの特性評価、欠陥検査などでご使用いただけます。

CryLaS社小型＆低ノイズレーザーシステムによる彫刻およびマーキングの例をご紹介します。

9～11 μm 中赤外領域の特性と、短パルス、高エネルギー、高繰返し周波数で多彩な用途で高速・高効率なプロセスが可能

レーザー誘起ブレークダウン分光法（ LIBS ）は高エネルギーのレーザーパルスよってプラズマを生成し、サンプルを原子化および励起することにより、固体、液体、気体などあらゆる物質を分析することが可能です。

ペロブスカイト（perovskite）ナノ結晶の特性評価における波長可変光源として、SuperKシリーズ スーパーコンティニューム光源を利用できます。従来の太陽電池の多くは、シリコンの層を2つの電極で挟んだものでした。シリコン太陽電池は寿命が長く、安定性に優れていますが、その反面、限界もあります。そのひとつは、太陽スペクトルのすべての波長からエネルギーを吸収することができないことです。しかし、ペロブスカイトは有望な太陽電池の候補となっています。

QCL-IRは、約1000cm-1の波数範囲を10Hzで掃引し、スペクトルの取得が可能です。IRケミカルイメージング（2次元マッピング）、リアルタイム赤外イメージング、溶液・ガスのリアルタイム分析の時間短縮を実現し、高速で結果をご提供します。

PaR Systems社では、製油所の一次スタックからの排出量を監視するLIDARシステムなど低高度の汚染物質監視に最適な、LIDAR用のカスタムTEA CO2レーザーを製造しています。出力波長間の高速切り替え用二重グレーティングの制御機能付きです。

フォトンエナジー社 レーザーマーキング・レーザープロセス製品によるアプリケーション例：レーザー微細加工、レーザー・ストラクチャリング