表面・薄膜物性
日本レーザーでは、微細な表面粗さ測定装置から、レーザー表面改質・テクスチャリング用モジュールまで、表面特性に焦点を当てた機器を厳選して取り揃えています。摩擦・摩耗・コーティング厚み・表面応力などを高精度に捉え、光学機器、半導体製造、機械部品などの表面性能を飛躍的に向上させるためのソリューションをご提供します。
表面・薄膜物性 製品一覧
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Molecular Vista12インチ 300 mm サンプル対応 AFM-IR装置 PiFM / PiF-IR Vista300サンプルは12インチ 300 mm × 300 mm まで対応のAFM。ナノ加工における研究開発および故障解析に最適な最先端の ナノ化学測定装置。業界トップクラスの自動化を実現したAFMです。
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保護中: 回折格子＆薄膜 微細寸法計測装置ナノ構造の幾何学的パラメータの変位や光学特性の変化を、製造中に非接触かつ非破壊で判定します。フォトニクス、半導体、量子技術のためのグレーティングや薄膜の品質検査に好適です。
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Molecular Vista8インチ 200 mm ウエハ対応 AFM-IR装置 Vista 200 PiFM / PiF-IR8インチ（200mm）ウエハをそのままサンプルステージに乗せてAFM-IR測定を実施できる大型サンプル対応モデルです。8インチウエハだけでなく、152mmのフォトマスクサンプルにも対応します。高空間分解能のケミカルイメージングのほか、ナノスケールIR分光により、ナノ異物分析にも対応します。IRライブラリにも対応します。
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おすすめCSInstrumentsAFMコントローラー “Galaxy Dual”24 bit AFMコントローラー。サポートの終了した Agilent Technology 製 AFM に対応します。シンプルに既存のコントローラーとの置き換えが可能。既存のAFMヘッドへプラグインの上、専用ソフトウェア使用して同様のAFM動作が行えます。「Molecular Imaging/ Agilent / Keysight製AFMの修理を承ります。」
- OME Technology簡易・小型 原子間力顕微鏡 AFM “CrabiAFM”
CrabiAFMは、コンパクトで低価格な簡易原子間力顕微鏡（AFM）です。リサーチ用途、ナノ教育、またはすでにAFM経験をお持ちの方のサブ機として最適です。
- おすすめAFM（原子間力顕微鏡）取り扱い製品一覧
日本レーザーでは用途に応じて様々なAFM（原子間力顕微鏡）を取り揃えております。
- FSM Precisionローコスト高イメージング品質 AFM Nanoview 1000 AFM
従来のAFMの半分以下の低価格ながら、高いイメージング品質を発揮します。日本初上陸の高コストパフォーマンスAFMです。
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Surface Preparation Laboratory (SPL)金属単結晶・酸化物単結晶・合金単結晶金属単結晶・酸化物単結晶・合金単結晶試料の高品質品を高精度加工
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Onto Innovation （旧Lumina Instruments）基板用 高速レーザー欠陥スキャナー PrimaScanシリーズ基板用高速レーザー欠陥スキャナー PrimaScanシリーズ。ガラス基板、半導体基板、ディスプレイ基板などの基板の欠陥を可視化する欠陥検査イメージング装置です。 高速での測定とnm単位の高いPSLパーティクル感度を実現。透明、半透明、不透明の基板に対応。サンプルの大きさから PrimaScan、PrimaScan R＆D、PrimaScan Pをラインアップ。最大サンプルサイズ600mm x 600mmに対応。ウエハ入荷検査、ウエハチャックの検査。ブランケットフィルム（膜付きウエハ）の検査。AR/VR/MR用マイクロレンズアレイの内部応力・ギャップ等の検査。フォトレジストのコーティング欠陥検査などに使用いただけます。
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CSInstrumentsハイエンド リーズナブル価格 AFM Nano-Observer ナノオブザーバー1高いスキャナー性能を持つハイエンドAFMです。老舗AFMメーカのハイエンド品並みの測定品質ながらリーズナブルな価格に抑え、非常にコストパフォーマンスの高いAFMになっています。通常のAFMとしての機能のほか、電気特性測定（KFM、C-AFM)などに強みがあります。
- CSInstrumentsレジスコープ “ResiscopeII”
AFM 超高感度電流増幅器
- CSInstruments高解像度ダイアモンド・AFMプローブ（ダイヤモンドカンチレバー）
最高の耐摩耗性と電気的性能を提供する高導電性ダイヤモンドプローブ（ダイヤモンドAFMカンチレバー）
