UV/熱/複合ナノインプリント装置 RubiQ™

SCIVAX

ナノインプリントにおける樹脂硬化方式/プレス⽅式/加圧方式の組み合わせを選択可能。かつレトロフィットを可能にしたR&D専用装置。ナノインプリント・プロセス応用を伴う研究開発を加速します。

 
 

R&D~少量パイロット・スケールの試作での用途を想定したコンパクトで簡易な操作性のナノインプリント装置。SCIVAX社のナノインプリント技術を応用した1,000件を超える受託開発に基づく知見とノウハウを集約したモジュラー・デザインで、複数の樹脂硬化/プレス方式/加圧方式を装備/組み合わせ、そして導入後のレトロフィット可能にしました。ナノインプリント・プロセスを応用する研究開発~試作を、技術的だけでなくコスト的にも、スムーズに展開頂くことが出来ます。

 

トータル14通りの樹脂硬化/プレス方式の組み合わせを実現

 
7通り(樹脂硬化/プレス方式組み合わせ) ×  2通り(加圧方式) = 14通り
 

樹脂硬化→ UV 熱・UV   加圧方式
プレス↓
平行平板 N/A × 低:10kN/エア・シリンダ
高:20kN/サーボ・モータ
FLAN (エア・アシスト)
両方 N/A

〇:使用可能
※SCIVAX社特許取得済
 

熱/UV硬化方式選択可能

熱可塑性樹脂とUV硬化樹脂の双方の使用も可能に
 

平行平板方式

シリコン等のハードマスター使用可能
 

高荷重機構装備

高アスペクト比ストラクチャの形成と荷重制御が可能
 

FLAN(エア・アシスト・プレス)

ソフト/フレキシブル樹脂スタンプによる曲面へのパターニングに好適
 

多様なオプション機能装備

プロセス自動化、昇降ピン式離型機構、HEPAフィルター、イオナイザー、高照度UV-LED、ピラニ・ゲージ(50Pa-)
※オプション機能も、後付け可能です。

成形例

 

モス・アイ ピラー
 
ホール ライン&スペース
 
マイクロ・レンズ・アレイ レトロリフレクター

アプリケーション

応用
3Dセンサ(ToF式) VCSEL照明用DOE、
拡散板マイクロ・レンズ・アレイ
DNAシーケンサ NGS(次世代シーケンシング)使い捨てチップ
車載HUD(ヘッド・アップ・ディスプレイ) グレア・トラップ、フラット・ミラー用 WGP(ワイヤー・グリッド偏光子)
イメージ・センサ WGP、オンチップ・レンズCMOS
反射防止面 レンズ・カバー、ディスプレイ用モス・アイ
医療診断 SERS(表面増強ラマン分光)チップ
AR(拡張現実)グラス 光導波路用グレーティング
高速5Gネットワーク DFBレーザー用グレーティング
Deep UVランプ PSS(サファイア表面基板)
モデル RubiQ™ RD-100
寸法(mm) W540 x D740 x H1700
重量(kg) 260(最小重量)
形状 スタンドアロン
材質 SUS304, #400 アルミフレーム
ワークサイズ(mm) □10~φ100、1μm厚(max)
以下トータルで14通りの組み合わせ可: 7通り(樹脂硬化/プレス方式組み合わせ) ×  2通り(加圧方式)
●プレス方式
加圧方式(kN) 10 20
駆動機構 エア・シリンダ サーボ・モータ
ポジション制御 無し 有り
加圧方式フィードバック 無し 有り
方式 平行平板、FLAN(エア・アシスト、0.99MPa)、双方搭載可(但し、同時使用不可)
●樹脂硬化方式
熱式 上部、下部、双方搭載可
UV式 上部のみ搭載可
温度(℃) 室温~250
UVランプ UV-LED, 365nm(オプション:385nm、395nm、405nm)
UV照度(mW/cm2) 200(オプション:400)

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