レーザー微細加工高出力フェムト秒ファイバレーザー Jasper Flex

オールファイバの高出力フェムト秒ファイバレーザーです。ポリマ切断、レーザー微細加工、表面構造化、集積フォトニクス機器、ディスプレイ製造、民生用電子向けのアプリケーションに最適です。SESAMフリー発振器で40Gの振動でも動作可能。

概要
応用例
主な仕様
関連情報

フェムト秒レーザー高出力 Jasper Flexとは

Jasper Flexは、微細加工用の新しい高出力フェムト秒レーザーです。コンパクトなサイズなので、使いやすく、従来のシステムにも組み込みやすくなっています。最大繰り返し周波数1 MHzで最大エネルギー30 µJ、またバーストモードでは最大100 µJのパルスを発振します。ユーザーによる設定が可能なバースト・モードは、民生用電子機器、集積フォトニクス、ディスプレイを製造する業界において新たな特徴をもたらします。

高出力レーザーの最も重要な部分はフェムト秒発振器です。これは私たちのあらゆるシステムの心臓部となっています。Jasper Flexは、Fluence独自の技術であるオールファイバ、SESAMフリー発振器に基づいており、40Gの振動で動作することがテストされています。この発振器とファイバ・プリアンプは、アライメントのずれに影響されないモノリシック構造を実現。これにより、Jasper Flexシステムの堅牢性が確立されています。

フェムト秒レーザー高出力 Jasper Flexの特長とメリット

オールファイバ設計
真のオールファイバ（SESAMフリーのFluecne社の発振器に基づく）
長寿命
優れた安定性
小型設計
標準270fs-8psパルス幅チューニング（デフォルト設定)
プロセス強化のためのバーストモードを標準で搭載

ディスプレイ修理
微細加工
ポリマー切断
表面構造化
AFM用FIBSサンプル前処理

レーザー Jasper Flex　データシート（外部英文リンク）

品名	Jasper Flex
最大平均出力	30 W （さらに高出力はお問い合わせください。）
最大パルスエネルギー	30 μJ 最大 1 MHz （さらに高出力はお問い合わせください。）
最大バーストエネルギー	100 μJ @ 200 kHz, 1030 nm
基本繰返し周波数	20 ± 2 MHz
2 段階繰返し周波数調整	1 – 20 MHz（内部繰り返し周波数）
制御ソフトウェアでの選択可能性	シングルパルス – 1 MHz, （パルスピッカー内蔵で実現）
パルス幅	< 270 fs FWHM（< 250 fs 代表値）
パルス幅調整	< 270 fs – 8 ps, ソフトウェア制御（< 270 fs – 20 ps オプション）
中心波長	1030 ± 5 nm
波長出力（オプション）	高調波発生モジュール（HGM）付き: 515 nm、343 nm、258 nm （ご要望に応じて対応可能）
偏光	直線、垂直
ビーム品質 M²	< 1.2（~ 1.1 代表値）
出力ビームウエスト径 1/e²	2.5 ± 0.5 mm（その他はお問い合わせください）
加工強化のためのバーストモード	内蔵
6U 19インチラック搭載型チラー	内蔵
外部ゲートトリガ	内蔵
外部アナログパワー変調	内蔵
レーザー制御ソフトウェア	内蔵
パルスオンデマンド	内蔵