測定用標準基板・テストサンプル・校正構造体：- AFM 校正用構造体 測定用標準基板 HOPG,- AFM 校正用構造体 TGXYZ,- AFM 校正用構造体 TGX,- AFM 校正用構造体 TGF11シリーズ

基板用高速レーザー欠陥スキャナー PrimaScanシリーズ。ガラス基板、半導体基板、ディスプレイ基板などの基板の欠陥を可視化する欠陥検査イメージング装置です。 高速での測定とnm単位の高いPSLパーティクル感度を実現。透明、半透明、不透明の基板に対応。サンプルの大きさから PrimaScan、PrimaScan R＆D、PrimaScan Pをラインアップ。最大サンプルサイズ600mm x 600mmに対応。ウエハ入荷検査、ウエハチャックの検査。ブランケットフィルム（膜付きウエハ）の検査。AR/VR/MR用マイクロレンズアレイの内部応力・ギャップ等の検査。フォトレジストのコーティング欠陥検査などに使用いただけます。

レーザー干渉を利用した厚さ測定装置。厚膜(1～500μm)測定用。小型・高速・高精度。VarioMetricは表面が粗くても高精度な厚さ測定が可能な装置です。高速かつ自動で測定が可能で、半導体製造やMEMS分野での様々な用途に使用いただけます。特に、先端パッケージ ICや集積回路の製造工程において、重要な役割を果たします。

高濃度対応 インラインSS（浮遊物質測定）・濁度　計測 後方光散乱方式採用 過酷な環境下でもメンテフリーで使用可能な堅牢デザイン

長寿命LEDを搭載した光散乱原理の濁度計。センシティブな部品群を計測ラインから隔離したユニットに実装。過酷な環境下でもメンテナンスフリーで使用することのできる堅牢なデザインの濁度計です。

インライン用の吸光光度計。プロセスの濃度・色測定に最適。 過酷な環境下でもメンテナンスフリーで使用することのできる堅牢なデザイン。