非接触3D光学プロファイラ 組み込みソリューション

堅牢かつ高い信頼性の非接触3D光学プロファイラ

製造現場は測定機器にとって過酷な環境であることが多く、変化する条件、振動、劣化を起こす材料などが測定作業を、より困難なものにします。当社の組込み型3Dセンサは、まさにこのことを念頭に置いて設計されています。密閉されたセンサヘッドはデブリやパーティクルの侵入を防ぎます。また、機械的可動部品がない光学系は、長期間にわたって、センサをクリーンに保ち、アライメントも保持されます。

小型・軽量で取付方向が自由なプロファイラセンサユニット

組込みやすさを重視した、小型で軽量なデザインです。また、あらゆる方向での測定が可能なため、アプリケーションの要求に応じてSensofarのセンサを設置できます。ケーブルの長さは最大20mで、インライン生産とロボット搭載の両方のアプリケーションに完璧に適応します。

ソリューション：Sensofar 3Dセンサ ー あらゆる表面を、妥協のない精度で

Sensofarの3Dセンサは、品質管理（QC）および品質保証（QA）における最も高度な要求に応えるために設計されました。
ナノスケールの粗さからマクロな形状測定まで、単一のシステムで多様なテクスチャや構造を高精度に捉える「多機能性」がSensofarの強みです。
 

フリンジ投影

Ai焦点移動法

共焦点

白色干渉

分光反射率測定

非接触3D光学プロファイラ 組み込みソリューション 製品ラインナップ

お客様の計測ニーズに合わせて、4つの革新的なソリューションを提供します。
 

S mart 2　世界唯一の自動化対応センサ

コンパクトながら、面測定による粗さ・形状解析を自動実行します。

 
最適なアプリケーション
インライン検査、自動化ラインへの統合、省スペースでの高機能計測
 
主な特徴

• 測定時間 2 s
• FOV (シングルショット) > 3.4 x 2.8 mm
• コンピュータ ヘッド内蔵
• 高空間分解能
• システムノイズ < 1 nm

 
装置組込み用非接触面粗さ計 S mart sensor

S neox　究極の柔軟性を備えた産業用システム

組込み型センサの中でも最も柔軟性に優れ、市場で最も多機能な産業用システムです。

 
最適なアプリケーション
研究開発、高度な産業プロセス、汎用性の高い品質管理
 
主な特徴

• 測定時間 3 s
• FOV (シングルショット) > 6.7 x 5.6 mm
• 高空間分解能
• システムノイズ < 0.01 nm

 
装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox sensor

S neox Cleanroom　ISOクラス1対応、唯一の組込みヘッド

最高レベルの清浄度が求められる環境下で、比類なき多機能性を発揮します。市場で最も多機能な組込み可能なヘッドで、ISOクラス1に対応した唯一のヘッドです。

 
最適なアプリケーション
半導体製造、精密光学、極低発塵環境でのインライン計測
 
主な特徴

• 測定時間 3 s
• FOV (シングルショット) > 6.7 x 5.6 mm
• 光学分解能エネルギー < 148 nm
• システムノイズ < 0.01 nm

 
クリーンルーム対応 装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox Cleanroom sensor

S wide　大面積をワンショットで

シングルショットで広範囲の形状を高速に捉え、圧倒的なスループットを実現します。速度と形状測定が重要なアプリケーションに最適です。

 
最適なアプリケーション
広範囲の形状測定、スピードが重視される生産現場
 
主な特徴

• 測定時間 3 s
• FOV (シングルショット) 34.7 x 29.1 mm
• 光学分解能エネルギー n/a
• システムノイズ 1 µm

 
S wide sensor Large area 3D profiler（Sensofarサイトへ遷移します）
 

組み込み事例

WSM1300 ウェハ表面測定システム

QESにより設計された WSM1300 ウェハ表面測定システムに、Sensofar社製 S mart 2 センサ が採用され、組み込まれています。8インチ SEMI規格 オープンカセット、12インチ SEMI規格 FOUP および FOSB に対応した自動測定ソリューションを提供します。マッピングセンサ付きユニバーサルロードポート、Hirata製 ATMロボットアーム、ウェハプリアライナ、ウェハ IDリーダーを備えた本システムは、ウェハカセットをシームレスにハンドリングし、表面トポグラフィー分析のための包括的かつ高精度なソリューションを提供します。
 

 

AMS650 PCB 3D自動測定機

BRET社により設計された AMS650 PCB検査システムに、Sensofar社製 S neox センサ が採用され、組み込まれています。S neoxに650×650mmのXYステージが組み合わされ、PCB検査の自動化ソリューションを提供します。SensoPRO ソフトウェア を使用することで、AMS650はすべてのデータを自動的に分析し、合否判定レポートを生成します。この画期的な技術により、パッド、ビア、トレース寸法、表面仕上げなどの主要な特徴を測定することで、製造工程におけるPCB検査を一元化できます。
 

 

ソフトウェアマップ

Sensofarのソフトウェアとハードウェアを組み合わせることで、完全なソリューションを実現します。このソフトウェアマップでは、センサヘッドがどのように測定を行うかのプログラミングから、その結果に対してどのような解析を行うかの設定まで、測定のワークフローが示されています。

 

SensoPRO　測定から合否判定まで完全自動。現場のスピードを加速

SensoPROは、取得したトポグラフィデータを人の手を介さずに自動解析できる、画期的なソフトウェアです。
面粗さ、構造物の高さや直径、その他あらゆる表面形状の特徴を、生産ラインのタクトタイムを妨げない圧倒的なスピードで算出します。
独自のカスタムプラグインによる解析アルゴリズムが、高精度な合否判定（Pass/Fail）を瞬時に実行。解析からレポート作成までのプロセスを自動化し、品質管理のインテリジェント化を実現します。
 
検査工程向け自動解析ソフトウェア SensoPRO

SensoVIEW　あらゆるタスクを支える解析ソフトウェア

SensoVIEWは、3D・2D測定の予備検査から詳細な解析までをカバーする、汎用性の高いソフトウェアで、あらゆる分析ニーズに対応します。
粗さや体積の算出、重要寸法の測定といった一連のプロセスを、充実したツールスイートでスムーズに実行。解析データはレポート作成やCSV出力に柔軟に対応します。さらに、一度設定した分析フローは保存して他のデータにも適用できるため、検査業務の効率化を強力に後押しします。
 
SensoVIEW Powerful Analysis Software（Sensofarサイトへ遷移します）

SDK　自由自在なシステム構築を。遠隔制御とデータ連携をサポート

SensoVIEWは、3D・2D測定の予備検査から詳細な解析までをカバーする、汎用性の高いソフトウェアで、あらゆる分析ニーズに対応します。
粗さや体積の算出、重要寸法の測定といった一連のプロセスを、充実したツールスイートでスムーズに実行。解析データはレポート作成やCSV出力に柔軟に対応します。さらに、一度設定した分析フローは保存して他のデータにも適用できるため、検査業務の効率化を強力に後押しします。
 
SensoSCAN SDK Software Development Kit（Sensofarサイトへ遷移します）