従来のAFMの半分以下の低価格ながら、高いイメージング品質を発揮します。日本初上陸の高コストパフォーマンスAFMです。

基板用高速レーザー欠陥スキャナー PrimaScanシリーズ。ガラス基板、半導体基板、ディスプレイ基板などの基板の欠陥を可視化する欠陥検査イメージング装置です。 高速での測定とnm単位の高いPSLパーティクル感度を実現。透明、半透明、不透明の基板に対応。サンプルの大きさから PrimaScan、PrimaScan R＆D、PrimaScan Pをラインアップ。最大サンプルサイズ600mm x 600mmに対応。ウエハ入荷検査、ウエハチャックの検査。ブランケットフィルム（膜付きウエハ）の検査。AR/VR/MR用マイクロレンズアレイの内部応力・ギャップ等の検査。フォトレジストのコーティング欠陥検査などに使用いただけます。

レーザー干渉を利用した厚さ測定装置。厚膜(1～500μm)測定用。小型・高速・高精度。VarioMetricは表面が粗くても高精度な厚さ測定が可能な装置です。高速かつ自動で測定が可能で、半導体製造やMEMS分野での様々な用途に使用いただけます。特に、先端パッケージ ICや集積回路の製造工程において、重要な役割を果たします。

非接触・非破壊で表面の微細な3D形状、および粗さを測定・解析することができる形状計測装置です。装置組込み用顕微鏡ヘッドモデル、テーブルトップモデル、大型ステージ付きモデル、クリーンルーム対応モデルまで用途に応じた幅広いラインナップを提供。

S lynxは、産業および研究分野向けに開発された非接触3D表面形状測定装置です。コンパクトながら多用途で、光学部品のような滑らかな面から凹凸のある粗い面まで、幅広いアプリケーションに1台で対応します。独自の3-in-1測定技術とSensoSCANソフトウェアにより、R&D用途に最適な直感的操作と高精度測定を実現しています。

3D形状や表面粗さを測定、解析するための直感的で使いやすいソフトウェアパッケージを装置とセットで提供しています。

高いスキャナー性能を持つハイエンドAFMです。老舗AFMメーカのハイエンド品並みの測定品質ながらリーズナブルな価格に抑え、非常にコストパフォーマンスの高いAFMになっています。通常のAFMとしての機能のほか、電気特性測定（KFM、C-AFM)などに強みがあります。