半導体メーカーは、効率的で高密度なチップを製造しなければなりません。生産から品質保証に至るまでのすべての工程に共通する条件は、最高の精度と信頼性を確保し、品質を最大限に高めることです。attocube社の高精度部品は、これらの要求にお応えし、半導体アプリケーションに最先端の技術を提供します。

SENSOFAR社の3D測定顕微鏡は、共焦点・光干渉・焦点移動（フォーカスバリエーション）方式の標準的な原理だけでなく、それらの技術をさらに革新させた共焦点技術や膜厚測定などの先進的な測定、観察方式を有しています。

蛍光寿命イメージング（FLIM）は、蛍光体の異なる蛍光減衰時間を分離することで、従来のイメージングにおける強度とは異なる画像コントラストを作り出す技術です。

ヘキサポッドは、最大6つの軸で高負荷容量と精度に対応するステージです。 平行キネマティックモーションデバイスは、多軸ポジショニングのコンパクトなソリューションで6つの自由度（X、Y、Z、ピッチ、ロール、ヨー）を持ちます。 ここではその仕組みと優れた機能性、アプリケーションについて紹介いたします。

レーザー誘起ブレークダウン分光法（ LIBS ）は高エネルギーのレーザーパルスよってプラズマを生成し、サンプルを原子化および励起することにより、固体、液体、気体などあらゆる物質を分析することが可能です。

グラフェンは、炭素原子が六角形格子構造を成す二次元 (2D) 原子結晶で、強度が高く軽い素材でありながら、非常に柔軟です。さらに極めて優れた機械的剛性、高い弾性、優れた電気伝導性と熱伝導性を示します。SuperK スーパーコンティニューム白色光レーザーは、グラフェンと、グラフェンシートを管状にしたカーボンナノチューブの、マッピングや特性評価に活用されています。

半導体の製造工程おけるSensofar製品の測定アプリケーションをご紹介します。重要な寸法の測定、3D測定、膜厚測定、粗さの特性評価、欠陥検査などでご使用いただけます。

NKT Photonics社のKoherasシリーズ 単一周波数ファイバレーザーは、チューリッヒ工科大学で研究されている石英ガラスの真空浮遊ナノ粒子の磁気光学トラップにおいて重要な要素です。

CryLaS社小型＆低ノイズレーザーシステムによる質量分析の例をご紹介します。

CryLaS社小型＆低ノイズレーザーシステムによるスキャトロメトリ（光波散乱計測）の例をご紹介します。

金属誘起エネルギー移動 (MIET) は、蛍光分子から金属薄膜までの距離を測定するナノレベルの顕微鏡技術です。ここでは、LINCamを搭載した広視野およびTIRF蛍光寿命イメージング顕微鏡（FLIM）を用いたMIETの取得について紹介します。

9～11 μm 中赤外領域の特性と、短パルス、高エネルギー、高繰返し周波数で多彩な用途で高速・高効率なプロセスが可能

PCB プリント基板が正常に機能するための重要な銅回路、パッド、バンプ、レジスト開口部、レーザーグルービングの測定・特性評価が可能。分析ソフトウェアを最適化しました。

CANLAS社のQスイッチ半導体励起固体レーザーを用いたマーキング加工の例をご紹介します。

データ伝送の高速化、通信ネットワークの拡大、家電製品の普及により、フォトニクス業界ではさらなる小型化が求められています。そのため、非常に小さくて複雑な部品を作り、組み立てる必要があります。個々の部品はナノメートル単位の微細な構造で構成されており、高度な光学システムによって作成または検査されます。フォトニクスやオプティクスのアプリケーションにおいて、高精度な位置決めを達成することが重要です。attocube社のモジュール式ナノ位置決めステージは、複雑な多軸アプリケーションにも優れた精度と信頼性を提供します。

レーザーで発生させた超音波により、材料の特性評価・非接触での厚み測定、欠陥検出などが可能です。産業用途でのオンライン監視などで活用されています。

光パラメトリック発振器（OPO）向けの励起用レーザーをラインナップいたしております。

litilit社のBiolit 2 フェムト秒ファイバーレーザーは、バイオフォトニクス・アプリケーションに最適な光源です。様々な非線形光学技術を用いた多光子顕微鏡では、高い効率と精度でシグナルを生成、バックグランドノイズも抑制できます。生体組織や生化学プロセスのラベルフリー観察にも好適です。

ワークピースのサイズのバリエーションや複雑さが増しており、このような高品質な部品への要求が高まるにつれ、超精密な製造装置や検査装置へのニーズが高まっています。attocube社の超小型レーザー干渉式変位センサIDS3010は、認定された精度と最高の柔軟性を備えており、精密加工アプリケーションに最適です。

PaR Systems社では、製油所の一次スタックからの排出量を監視するLIDARシステムなど低高度の汚染物質監視に最適な、LIDAR用のカスタムTEA CO2レーザーを製造しています。出力波長間の高速切り替え用二重グレーティングの制御機能付きです。

レーザー誘起蛍光（LIF） レーザーを用いて粒子を高エネルギーの量子状態に励起し、その遷移中に粒子から放出される蛍光光子を検出する。測定法材料特性を検出するための高感度技術

CryLaS社小型＆低ノイズレーザーシステムによる彫刻およびマーキングの例をご紹介します。

集積回路（IC）においてパッケージングは半導体部品の封止を行う最終工程です。Sensofar製品はPCBの端子、パッドに正しく接続されるため重要なピンの寸法の測定、表面仕上げの特性評価ができます。

Aシリーズ ナノ秒レーザーを使用したレーザー微細加工例をご紹介します。