概要：なぜ白色干渉計・共焦点顕微鏡による検査・解析に自動化が必要か？

白色干渉計や共焦点（コンフォーカル）顕微鏡は、高精度な表面形状の3次元測定ができ、研究開発や品質管理に用いられてきました。品質管理においては、様々な製品の微細化に伴い、白色干渉計や共焦点顕微鏡を用いた測定を非常に多くの測定点で行う必要が出てくるようになってきています。多くの測定を行うために、検査者が顕微鏡を長時間操作し続けることは大きな負担になります。検査者の負担を減らし、検査効率を最大化することのできるSensofarの自動化ソリューションを紹介します。

測定の自動化

測定の自動化のためには決められた測定位置へ自動的にサンプルまたは装置が移動することが必要です。そのために活用できるSensofarのソリューションを紹介します。

自動化アライメント機能

S neoxモデルにはサンプルを移動させるための電動XYステージとオートフォーカス機能が搭載されています。ステージの移動量は、114x75mm, 154x154mm, 255x215mm, 302x302mm, 最大600x600mmまで選択可能です。測定は、装置に付属するSensoSCANソフトウェアを介して実行します。このソフトウェアの自動実行モジュールには、基準マーク(Fiducial Mark)の検出と自動アライメント機能が含まれています。この機能によりサンプル上の基準マークを検出して、サンプル位置とステージの座標系を自動的に補正します。あらかじめ複数の測定点を設定しておけば、補正された座標系、サンプルの任意位置の多点測定を自動的に行うことが可能です。
白色干渉計　高速・多機能モデル　”S neox”
 

装置組込み用顕微鏡ヘッド

ひとつ前の工程から自動的に検査を行いたい、クリーン度が要求されるため作業者の介在をなくしたいなど、通常の顕微鏡タイプの装置の装置では対応できない使用条件があります。そういった条件下にて活用できるソリューションが装置組込み用顕微鏡ヘッドです。白色干渉計、共焦点顕微鏡技術を搭載したコンパクトなヘッドで自由な取り付けが可能です。クリーン度が要求される用途向けにクリーンルーム対応モデルも供給しています。任意のステージを組み合わせて装置を構成することができ、サンプルの搬送から自動化することが可能です。
装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 シリーズ一覧

解析の自動化

SensoPRO自動解析ソフトウェア

白色干渉計や共焦点顕微鏡は、まずサンプル表面の3次元座標データを取得します。取得した3次元座標データから、必要となる形状の情報を取り出していきますが、その情報は表面粗さ、段差の高さ、溝の幅など、用途によって千差万別です。この3次元座標データから必要な情報を取り出す解析作業を効率化・自動化するためのツールがSensoPRO自動解析ソフトウェアです。
 

 
3次元座標データは、あらかじめ定義された解析アルゴリズムに基づき、測定後自動的に解析され、必要な情報だけを得ることができます。ソフトウェアは直観的なつくりになっており、簡単に解析アルゴリズムの定義や変更ができるため、検査工程の管理者が、解析のプロトコルを組むために四苦八苦してソフトウェアの使い方を覚える必要もありません。

SensoPROソフトウェア

測定と解析の自動化を統合 SDK – Command Line

自動化された測定と解析、これらを統合するための自動化ソリューションがSDKとCommand Lineです。これらを用いることで、Sensofarの白色干渉計・共焦点顕微鏡を制御する独自プログラムを作成することができます。