表面形状・粗さ
クリーンルーム対応 装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox Cleanroom sensor
SENSOFAR Metrology
クリーンルーム対応。高い柔軟性を持つ装置組込み用顕微鏡ヘッド。さまざまなアプリケーションに適合します。ISO Class 1及びESDの規格に対応。
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長寿命プローブ
MikroMasch
長寿命プローブ:- AFMプローブ HARDシリーズ,- AFMプローブ 導電性ダイヤモンドコーティング DMD-XSC11
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5軸ステージ付き白色干渉計 S neox Five Axis
SENSOFAR Metrology
S neox Five Axis 5軸ステージ付き白色干渉計は、高精度回転ステージモジュールと白色干渉計 高速・多機能モデルS neox の高度な検査および解析機能を組み合わせています。これにより、指定された位置・角度で自動的に3D表面形状測定を行い、完全な3D形状計測が可能になります。
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装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 シリーズ一覧
SENSOFAR Metrology
非接触・非破壊で表面の微細形状、面粗度、粗さ、薄膜計測などの3D形状を測定することができる装置組込み用の顕微鏡ユニット 。白色干渉計および3Dレーザー顕微鏡に代表される共焦点顕微鏡技術を搭載。
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レジスコープ “ResiscopeII”
CSInstruments
AFM 超高感度電流増幅器
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AFMプローブ Tipless チップレスカンチレバー
MikroMasch
チップレスシリーズは、チップの片側に異なるばね定数と共振周波数を持つ3つのチップレスカンチレバーを備えています。 本シリーズは以前の12シリーズに代わるものです。
チップレスカンチレバーは材料特性と相互作用の測定に使用できます。 ガラス球やポリスチレン粒子などをチップレスカンチレバーに取り付け、AFMのような実験に適用することができます。
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測定用標準基板・テストサンプル・校正構造体
MikroMasch
測定用標準基板・テストサンプル・校正構造体:- AFM 校正用構造体 測定用標準基板 HOPG,- AFM 校正用構造体 TGXYZ,- AFM 校正用構造体 TGX,- AFM 校正用構造体 TGF11シリーズ
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