テラヘルツ 非破壊検査 レーダーソリューション
非破壊検査レーダーソリューション。数十cmまでの高い材料浸透、数千トレース/秒の高い検査率、サブmmの解像度の高解像度3Dイメージングが可能です。非接触検査、インライン検査に適しています。
CMPパッドの液中3D表面形状測定・パッド寿命評価
Sensofar 組込みセンサによるCMP(Chemical Mechanical Planarization)工程のパッドの平坦性の測定・解析。S mart によるCMPの測定によって、CMPパッドは全般的に十分活用されておらず、多くの場合は有効な製品寿命が半分以上残ったまま廃棄されていることが明らかになっています。
LIBS レーザー誘起ブレークダウン分光法
レーザー誘起ブレークダウン分光法( LIBS )は高エネルギーのレーザーパルスよってプラズマを生成し、サンプルを原子化および励起することにより、固体、液体、気体などあらゆる物質を分析することが可能です。
【材料・ナノ構造】ナノ粒子および量子ドットの特性評価
ナノ粒子や量子ドットの特性評価では、高解像度検査、材料の局所的変更、高密度場、強度強化など、目的に適応できる光源が必要です。NKT Photonics社のSuperK スーパーコンティニューム白色光レーザーは、非常に柔軟性に優れ、ナノ粒子や量子ドット研究で求められる多様なパラメータを提供します。
半導体製造工程向けアプリケーション
半導体の製造工程おけるSensofar製品の測定アプリケーションをご紹介します。重要な寸法の測定、3D測定、膜厚測定、粗さの特性評価、欠陥検査などでご使用いただけます。
レーザー 超音波 非接触厚み測定 材料特性評価 欠陥検出
レーザーで発生させた超音波により、材料の特性評価・非接触での厚み測定、欠陥検出などが可能です。産業用途でのオンライン監視などで活用されています。
Photon Energy レーザー・ガラス加工
フォトンエナジー社 レーザーマーキング・レーザープロセス製品によるアプリケーション例:ガラス加工
リソグラフィ(CryLaS社レーザーアプリケーションノート)
CryLaS社小型&低ノイズレーザーシステムによるリソグラフィの例をご紹介します。
真核細胞の解糖振動に続くNADHイメージング
代謝物NADHを解糖の固有マーカーとして用いることで、個々の細胞の動態をモニターし、その相互作用を研究することが可能です。
彫刻 / マーキング(CryLaS社レーザーアプリケーションノート)
CryLaS社小型&低ノイズレーザーシステムによる彫刻およびマーキングの例をご紹介します。
【量子技術】原子のレーザー冷却&トラッピング
NKT Photonics社のKoherasシリーズ 単一周波数ファイバレーザーは、超低ノイズ、狭線幅、高い周波数安定性、さらには堅牢で信頼性の高いファイバー出力レーザーで、原子トラッピング/原子冷却に最適です。
OCT向けコンポーネント
OCT(光干渉断層撮影法)は高解像度で生体やサンプル内部を画像化します。General PhotonicsはOCT用コンポーネントを広くサポートしています。
LIDAR レーザー光反射 距離測定 リモートセンシング
レーザーを対象に照射し、反射光の解析によりリモートセンシングやイメージングが行えます。化合物、雨、岩石、非金属、エアロゾルなど様々なものに対してセンシング・イメージングが可能です。
誘発された蓄積イオンの量子もつれの測定
蓄積イオンはアンチバンチングされた放出量の統計を示す単一光子源の典型的な例です。しかし、単なる測定で2つの蓄積されたイオンが絡み合った、量子もつれの状態になると、興味深い現象が発生します。ここではエンタグルメント・もつれの事例についてご紹介いたします。
【加工例】コンパクト レーザー微細加工装置 “Aシリーズ”
Aシリーズ ナノ秒レーザーを使用したレーザー微細加工例をご紹介します。
Photon Energy レーザー微細加工&レーザー・ストラクチャリング
フォトンエナジー社 レーザーマーキング・レーザープロセス製品によるアプリケーション例:レーザー微細加工、レーザー・ストラクチャリング
高解像度&リアルタイム テラヘルツイメージング技術
Lytid社とボルドー大学 IMS Nanoelectronicグループ(Patrick Mounaix教授)との共同研究による、テラヘルツ技術を駆使したイメージングアプリケーションの研究開発成果をご紹介します。
光パラメトリック発振 励起用レーザー
光パラメトリック発振器(OPO)向けの励起用レーザーをラインナップいたしております。
先進的な測定・観察方式
SENSOFAR社の3D測定顕微鏡は、共焦点・光干渉・焦点移動(フォーカスバリエーション)方式の標準的な原理だけでなく、それらの技術をさらに革新させた共焦点技術や膜厚測定などの先進的な測定、観察方式を有しています。
浮遊ナノ粒子の研究(Koheras 低ノイズ単一周波数ファイバーレーザーの活用)
NKT Photonics社のKoherasシリーズ 単一周波数ファイバレーザーは、チューリッヒ工科大学で研究されている石英ガラスの真空浮遊ナノ粒子の磁気光学トラップにおいて重要な要素です。
【アプリケーション】TEA CO2 レーザー応用例
9~11 μm 中赤外領域の特性と、短パルス、高エネルギー、高繰返し周波数で多彩な用途で高速・高効率なプロセスが可能
光ドップラー速度測定 動作原理 構成事例 開発事例
光ドップラー速度測定は高速で運動する物質の速度測定です。ファブリペロー干渉計のVISAR(レーザー速度干渉計)に比べ、機器費用の経済性に優れています。また衝撃面からの反射光の強度・速度の急激な変化にも対応します。本ページでは光ドップラー速度測定の原理、構成事例等をご紹介します。
Photon Energy レーザー・プラスチック加工
フォトンエナジー社 レーザーマーキング・レーザープロセス製品によるアプリケーション例:プラスチック加工(炭化、彫刻、発泡成形、素材除去)
時間分解分光による半導体材料評価
半導体の電荷キャリアダイナミクスはウェハ材料の性質と品質を直接反映します。この特性を明らかにするため、光励起された電子と正孔の拡散長の正確かつ効率的な測定することが不可欠です。これには時間分解フォトルミネッセンス消光実験、すなわち時間相関単一光子計数(TCSPC)による時間分解フォトルミネッセンス(TRPL)が有効です。PicoQuant社の分光計 FluoTime 300や、励起光源としてTaiko PDL M1 レーザードライバ駆動のピコ秒パルスレーザーにより、電荷キャリアダイナミクスに影響を与える現象を最短サブナノ秒の時間スケールで直接分析できます。