展示会情報

展示会概要

• 会期：2025年12月17日（水）～19日（金）10：00-17：00
• 会場：東京ビッグサイト（〒135-0063 東京都江東区有明3丁目11-1）
• 小間番号：西展示棟 W2538
• ご来場：完全事前登録制

セミナー案内

• 会期：2025年12月19日（金）10:30 – 11:20
• セミナー会場：東京ビッグサイト 西2ホール 商談室 2F Exhibitor’s tech SPOT（Private Space）
• セミナータイトル：300mmウェハ自動欠陥レビュー:PiFM AFM-IRによる20nm欠陥・残留物3D形状と化学同定
• ご来場：聴講無料、お申込みも不要です

出展予定品

• 装置組込み用非接触3D面粗さ計測装置 “S mart”（SENSOFAR Metrology）
• 基板用 高速レーザー欠陥スキャナー PrimaScanシリーズ（Onto Innovation）
• 業界トップクラスの自動化を実現！12インチ 300 mm サンプル対応 AFM-IR装置 PiFM / PiF-IR Vista300（Molecular Vista）
• 低価格 高イメージング品質 AFM “Nanoview 1000”（FSM Precision）
• 伝導性リサーチ用AFM ハイエンド＆低価格 Nano-Observer（CSInstruments）
• ナノ精度アライメントシステム搭載 光実装と微小光学用3Dプリンタ “Quantum X align”（Nanoscribe）
• 真空対応モーション＆コントロール ナノ位置決めステージ/レーザー干渉式変位センサ（attocube systems）
• フォトルミネッセンス/ラマン分光用光源 320nm & 349nm 単一周波数 CW DPSSレーザー “NXシリーズ”（Skylark Lasers）
• マイクロスフィア式超解像分解能光学顕微鏡 ≦100nm分解能 NANORO M（LIG Nanowise）
• SiC GaN ウエハ フォトルミネセンス マッピング対応 高速レーザー欠陥スキャナー Celero PL（Onto Innovation）
• 卓上型ディスペンシング・ロボットシステム Twin-air® EDシリーズ（エンジニアリング・ラボ）