超小型高精度リニアステージ “M3-LSシリーズ”

M3-LSリニアステージは、コントローラを内蔵した超小型高精度リニアステージです。小型のOEM機器にすぐに組込みが可能。外部ボードも不要です。駆動機器もコンパクトな筐体に内蔵され一体化されています。超小型ながら高精度・安定性・使い易さを兼ね備えています。開発キットもご用意いたしております。

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概要
応用例
主な仕様
関連情報

超小型高精度リニアステージ M3-LSシリーズの特長

最小サイズ-すぐにOEM機器への組込みが可能

M3-LSシリーズ紹介動画（画像クリックで動画がご覧頂けます。）

一体型スマートモジュール：別途の電子機器が不要
超小型サイズ：29 × 20 × 10 mm ～ 32 × 32 × 11 mm（コントローラ含む）
高分解能： 0.5 µm
長いストロークでのモーションに対応： 6 mm、8 mm、15 mm
絶対位置エンコーディング：電源投入時にステージの原点復帰が不要（ホーミングが要りません。）
高い再現性と低ランナウト（振れ）：高剛性と横方向の安定性、バックラッシュ無、全移動範囲で10μm以下の振れ幅
シリアル、I2CまたはSPIインターフェースで制御可能
USBアダプタを介しPCで制御可能（使い易いソフトウェア New Scale Pathway™をご用意）
低電圧、低電力設計
静粛性：ピンの音が聞こえるほど静かさ（動画あり外部サイトに遷移します。）

M3-LS-3.4-15リニアステージ	M3-LS-U2-8リニアステージ

コントローラ内蔵の高荷重・長可動域のマイクロステージです。低消費電力で15mmの可動域です。仕様	コントローラー内蔵の高速マイクロステージ。移動距離は8mm。量産に最適です。仕様
M3-LS-1.8-6リニアステージ	多軸システム

コントローラ内蔵の超小型マイクロ位置決めステージです。低消費電力で移動距離6mmを実現。仕様	M3-LSシリーズは、多軸モーションシステムとして組み立てることが可能です。各ステージにコントローラを内蔵しているので、小型の2軸、3軸での精密なクローズドループモーションのシステムを外部制御基板なしで、すぐに作ることができます。仕様表記載の製品の組み合わせで可能

またその他大きいサイズの直進・回転ステージ等はMotion製品にてラインナップしております。

開発キット

開発キットをご用意しております。

DK-M3-LS-3.4-15 Kit	DK-M3-LS-U2-8 Kit	DK-M3-LS-1.8-6 Kit


コントローラ内蔵一体型M3-LS-3.4-15スマートステージ移動距離15mm USBアダプタブレイクアウトボード 6VDC電源 New Scale Pathwayソフトウェアケーブルと取り付けハードウェアキット	コントローラ内蔵一体型M3-LS-U2-8スマートステージ移動距離8mm USBアダプタ 5VDC電源 New Scale Pathwayソフトウェアケーブルと取り付けハードウェアキット	コントローラ内蔵一体型M3-LS-1.8-6スマートステージ移動距離6mm 250mm長のストレートフレックスケーブル1本 250mm長のL字フレックスケーブル1本 New Scale Pathwayソフトウェア取り付けハードウェアキット
DK-M3-LS-3.4-15 Kitデータシート寸法図	DK-M3-LS-U2-8 Kitデータシート寸法図	DK-M3-LS-1.8-6 Kitデータシート寸法図

DK-M3-LS-1.8-6 Kit
		コントローラ内蔵一体型M3-LS-1.8-6スマートステージ移動距離6mm 250mm長のストレートフレックスケーブル1本 250mm長のL字フレックスケーブル1本 New Scale Pathwayソフトウェア取り付けハードウェアキット DK-M3-LS-1.8-6 Kitデータシート寸法図

DK-M3-LS-1.8-6 Kit

コントローラ内蔵一体型M3-LS-1.8-6スマートステージ
移動距離6mm
250mm長のストレートフレックスケーブル1本
250mm長のL字フレックスケーブル1本
New Scale Pathwayソフトウェア
取り付けハードウェアキット

DK-M3-LS-1.8-6 Kitデータシート寸法図

詳細はこちらからご覧ください New Scale Technologiesサイトへ遷移します

応用例動画

精密位置決め・顕微鏡用途等

アプリケーション事例

高分解能レーザービームステアリング・ターゲティング
分光器
顕微鏡
DNAシーケンサー
医療機器
局所ケア診断システム
マイクロアセンブリ
生体医学探針・サンプリング
無人機・無人地上車両用の小型光学部品
小型カメラシステム

MS-LSシリーズ仕様一覧

　2軸/3軸のステージを下記製品を組合せ構築することが可能です。

モデル名	M3-LS-3.4-15	M3-LS-U2-8	M3-LS-1.8-6
特長	長距離移動・高負荷耐性小型位置決めモジュール	高速・大規模用途向け小型位置決めモジュール	超小型位置決めモジュール
PDFデータシート	M3-LS-3.4-15データシート寸法図	M3-LS-U2-8データシート寸法図	M3-LS-1.8-6データシート寸法図
寸法（コントローラ含む）	32 x 32 x 11 mm	32 x 32 x 10 mm	29 x 20 x 9.5 mm
ステージ重量（コントローラ含む）	30 g または 36 g（ケーブル・コネクタ込み）	15 g	8.4 g
最大駆動負荷（垂直方向）※2	100 g	5 g 推奨荷重※3	10 g　推奨
最大駆動負荷（横方向・水平方向）※2	200 g	40 g 推奨荷重※3	20 g（オフセット10㎜未満）推奨
駆動力	1 N	≧0.3 N （駆動力保持）、≧0.1 N （両方向）	0.2 N
速度（上記の駆動力の際）	> 4 mm/s	35 mm/s	5 mm/s
デューティ比	最大 50%	–	–
閉ループ関連性能
分解能（絶対位置エンコーディング）	0.5 μm	0.5 μm	0.5 μm
双方向位置再現性	< 5 μm	± 5 μm	< 5 μm
精度	< 20 μm	± 10 μm	< 20 μm
入力電源 ※4	6 VDC 5W（代表値：4mm/s）負荷1N、閉ループ、静止時：< 0.2W	DC5V (4.75V ～ 5.5V）最大速度および最大駆動力でのピーク時：3.2W 静止時：0.35 Wまで	3.3 VDC < 0.75 W（代表値：5 mm/s、閉ループ）最大2 W
機械的ステージ関連仕様
静的平行度	< 30 μm	< 30 μm	< 30 μm
振れ Run-out	< 10 μm	< 10 μm	< 10 μm
ピッチ・ヨー	< 1 mrad	< 1 mrad	< 1 mrad
絶対最大荷重	10 N	仕様書ご参照下さい。	10 N
リニアスライドの特長	高剛性クロスローラーベアリング	高剛性クロスローラーベアリング	高荷重、側面より高荷重でも均一かつ低摩擦。6個のボールベアリングがキネマティック “V “案内面を構成。ケージクリープや摩擦スパイクを排除。
使用環境条件
相対湿度	< 70%	< 70%	< 70%
動作温度※5	+5 °C to +40 °C	-30 °C to +70 °C	-30 to +70 °C ※3
保存温度	-40 °C to +85 °C	-40 °C to +85 °C	-40 °C to +85 °C
製品寿命	–	移動距離 50 km※6	1.2kmを超えない範囲で1000万回超えるランダムな移動距離※7
適合規格	CE / RoHS	RoHs; CE pending	CE / RoHS
コントローラ	内蔵	内蔵	内蔵
制御インターフェイス	シリアル, I²C, SPI, USBアダプタ経由でのPC制御	シリアル, I²C, SPI, USBアダプタ経由でのPC制御	シリアル, I²C, SPI, USBアダプタ経由でのPC制御

※1 M3-LS-U2-8の場合、荷重なしの状態で~6gです。
※2 移動質量の加増は可能ですが、性能と製品寿命に影響を及ぼします。
※3 M3-LS-U2-8　では台の中心点から算出した荷重の重心が台表面15㎜以下であることを推奨します。（データシート内に記載の座標を参照下さい。）
※4 電力は入力電圧、速度、負荷に依存します
※5 使用温度範囲内においても低温では速度や駆動力は低下します。
※6 水平方向に20gの荷重をかけ、逆の位置で8.75mmオフセットした状態で測定
※7 平均ランダム移動距離が120μmで1,000万回の移動に相当します。寿命は用途や使用例によって異なります。具体的なシステム設計につきましてはご相談ください。