表面粗さ・形状測定

日本レーザーでは、非接触型の3D光学プロファイラ「S neox」シリーズをはじめ、白色干渉計・共焦点顕微鏡・5軸ステージ付きモデルなど大型基板対応の高度な表面粗さ・形状測定装置を厳選。半導体・ディスプレイ・プリント基板などの微細構造評価において、信頼できる測定ソリューションを幅広くご提供いたします。