-100～1000℃の温度範囲で薄膜の機械特性（硬度、ヤング率等）を測定できる唯一の装置

押圧試験、硬度試験、ヤング率評価等、薄膜の機械的特性を高分解能で評価。850℃までの高温に対応

ナノインデンテーション試験、マイクロインデンテーション試験、ナノスクラッチ試験、マイクロスクラッチ試験、ナノインパクト試験機能がそれぞれ独立したコンパクトな機械特性測定装置