R&D向けコンパクトモデル 3D光学プロファイラ　S lynx

S lynxはコンパクトなサイズにSensofarの3-in-1テクノロジーを搭載した卓上型の3D形状測定装置です。

• 3 in 1テクノロジー：共焦点・3D光学プロファイラ（CSI）・Ai焦点移動方式
• 光学部品のような滑らかな面から凹凸のある粗い面まで幅広いアプリケーションに1台で対応
• R&Dの用途に最適
• コンパクトでシンプルな構成
• 電動ステージ（スティッチング機能有）

3-in-1 テクノロジー

共焦点方式	3D光学プロファイラ方式	Ai焦点移動方式
共焦点顕微鏡は、粗い表面から滑らか な表面の形状までを幅広いスケールの 測定が可能な技術で、光学形状測定と しては最高の水平分解能を誇ります。 空間分解能を0.10µm程度にすることが 可能で、クリティカルな寸法測定に最 適です。独自アルゴリズムによりナノ レベルの垂直再現性を提供します。	垂直走査型低コヒーレンス干渉法（ CSI, 3D光学プロファイラ）モード： 低コヒーレンスな白色光を用いた表面 形状測定モードです。滑らかな表面か ら適度に粗い表面まで測定可能な技術 です。CSIは全ての倍率で同じナノレ ベルの垂直分解能(1nm)の測定が可能 です。低倍率（2.5倍）を使えば、大 面積を高分解能で一括測定することが できます。	Ai焦点移動顕微鏡は、粗い表面の測定 に適した技術で、広いZ方向レンジを 測定することができます。他の手法に 比べ、分解能は劣りますが、測定スピ ードが非常に高速で、低倍率での共焦 点測定を補完し、急傾斜（最大86°） 面の測定が可能です。主に切削工具の 刃先計測など急峻な角度をもった形状 に使用されます。

3 in 1テクノロジーについて詳しく

高性能をコンパクトに

S lynxは、コンパクトで汎用性の高いシステムとして設計された非接触3D形状測定装置です。Sensofar独自の3-in-1テクノロジーを搭載しており、さまざまな表面パターン、段差、構造、粗さ、うねりなど、幅広い表面形状測定アプリケーションに適用することができます。研究開発現場での使用に最適で、かつ、シンプルなその構成はエントリーモデルとしても導入しやすい製品です。付属のSensoSCANソフトウェアにより非常に直感的にシステムを操作することができます。センサヘッドとコントローラが一体化されており、ユーザーの持つ汎用的なノートPCから制御可能です。設置面積が小さくすみ、インストールも非常に簡単です。

幅広い用途に対応する柔軟性

最大100mmまでのサンプル高さに対応した調整カラムを搭載しており、薄いサンプルから高さのあるサンプルまで1台で柔軟に対応することができます。20mmの移動範囲と高い位置精度を備えた電動Zステージと、移動範囲125mm x 75mmの電動XYステージで構成され、広い面積を測定するスティッチング機能も搭載しています。
 

測定事例

インサート刃先	MEMSデバイス