変位センサ
日本レーザーでは、微小変位から長距離まで対応する静電容量型変位センサ（MicroSense 4800／5800／6800／8800シリーズ）や、サブナノ・長作動距離を実現するレーザー干渉式変位センサ（attocube レーザー干渉式）などを取り揃えています。工作機械、半導体装置、光学アライメント用途において、高精度・高速応答・安定測定を実現する変位計測ソリューションをご提供します。
変位センサ 製品一覧
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MicroSense真空対応 高精度位置センサ高真空・超高真空対応プローブ。低アウトガス・高安定性・非磁性対応可能。
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MicroSenseMicroSense 4800 シリーズ 静電容量変位センサ優れた直線性と温度特性。静的な変位測定のスタンダードモデル。
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MicroSenseMicroSense 5800 シリーズ 静電容量変位センサ高分解能・高速応答。動的変位測定のスタンダードモデル。
- MicroSenseMicroSense 6800 シリーズ 静電容量変位センサ
シリーズ最高分解能・高速応答モデル 高速変位を高精度で測定
- MicroSenseMicroSense 静電容量変位センサ一覧
MicroSense LLCの静電容量センサを紹介。全カタログをまとめてダウンロードできます。
- MicroSenseMicroSense 8800 シリーズ 静電容量変位センサ
優れた温度特性と高分解能を実現。制御用途でのフィードバックセンサに最適。
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attocube systems高精度レーザー干渉式変位センサピコオーダ、超高速(10MHz)、長作動距離(最大5m)、多様な材質や極端環境（超高真空、高磁場）に対応する変位測定干渉計【レーザー干渉式変位センサ】
