外付けタイプ 飛行時間型質量分析計 IonTamer PS

外付けタイプ 飛行時間型質量分析計 IonTamer PS

IonTamer PSはアナライザーと差動排気システムを一体化した筐体をプロセスチャンバー脇に設置する構成を採用しており、真空チャンバーへの直付けが難しい装置にも適用できます。
サンプリングするガスの圧力に応じて選択可能な複数のインレットオプションを備えており、10⁻⁶～1000 mbarという非常に広い圧力範囲に対応可能です。これにより、大気圧近傍を含む高圧プロセスやチャンバー直付けタイプ（IonTamer FA）の動作圧力範囲を超える条件にも、ガス分析の適用範囲を広げることができます。
測定性能そのものはIonTamerシリーズ共通であり、全質量範囲（1～1200 u/e）を0.1秒（最大毎秒10回）で取得し、ppmレベルの高感度検出を実現します。取得したデータはEthernet経由でSpacetek社ソフトウェアまたはお客様のプロセス制御システムに送信され、詳細分析に活用できます。

応用例

半導体先端プロセス（エッチング・成膜など）

差動排気システムと選択式インレットにより、チャンバー直付けタイプでは測定が難しい高圧・大気圧近傍のプロセスガスもサンプリング可能です。プロセスレシピ開発の迅速化や歩留まり・信頼性向上のためのプロセス制御にご活用いただけます。

既存の真空設備への後付け導入

プロセスチャンバーの外側に設置する構成のため、四重極型RGAを搭載している既設装置への導入やチャンバー本体の改造が難しい設備にも適用しやすい点が特長です。

プロセス異常検知・予知保全

全ガス種をリアルタイムで検知し、異常発生時にはプロセス条件を即座に調整、さらにメンテナンス時期などの重要イベントを予測することが可能です。