小型直付けタイプ 飛行時間型質量分析計 IonTamer FA

小型直付けタイプ 飛行時間型質量分析計 IonTamer FA

Spacetek Technology社のIonTamer FAは真空チャンバーに直接取り付けて使用するタイプの飛行時間型質量分析計（TOF-MS/RGA）です。新開発の高感度・高分解能アナライザーを搭載し、全質量範囲（1～1200 u/e）のスペクトルを最大毎秒10回、デッドタイムなしで連続取得します。
本体はCF40フランジによって真空チャンバーに直接接続でき、四重極型RGAを搭載している既存設備への組み込みが容易です。検出部は1×10⁻⁵ mbar以下の圧力で動作する飛行時間型検出器を採用し、現場での交換が可能です。イオン源も現場での交換が可能で、メンテナンスコストを抑えられます。
測定性能そのものはIonTamerシリーズ共通であり、全質量範囲（1～1200 u/e）を0.1秒（最大毎秒10回）で取得し、ppmレベルの高感度検出を実現します。取得したデータはEthernet経由でSpacetek社ソフトウェアまたはお客様のプロセス制御システムに送信され、詳細分析に活用できます。

応用例

半導体先端プロセス（エッチング・成膜など）

チャンバー内のガス組成を高速・高感度に測定し、歩留まりや信頼性向上のためのプロセス制御に活用できます。

既存の真空設備への後付け導入

四重極型RGAを搭載している既設装置への導入や複数ラインでの計測器共用が比較的容易です。

プロセス異常検知・予知保全

全ガス種をリアルタイムで検知し、異常発生時にはプロセス条件を即座に調整、さらにメンテナンス時期などの重要イベントを予測することが可能です。