大気・真空対応ナノ位置決めステージ

attocube systems

ピエゾ駆動ナノポジショナ―。大気圧から超高真空(UHV)、極低温に対応できる多彩なラインナップ。

attocube ナノ位置決めステージ概要
 ≫ 極低温対応ナノ位置決めステージ
 ≫ 大気・真空対応ナノ位置決めステージ
 ≫ 特注ナノ位置決めステージ

 

  • 大荷重対応:ナノメートルスケールで数kgまで可能
  • クローズドループ制御可能:高速、高分解能、高い位置再現性を同時に提供
  • 真空対応:大気圧から超高真空(UHV)まで。全モデルでアルマイトかステンレスを選択可能
  • 長寿命と高い費用対効果を両立

 
Attocube(アトキューブ)社のナノポジショナーはすべてピエゾモーター駆動で、ナノメートル精度のモーションを実現しています。用途に応じて、様々な材質の本体、オプションを選択できます。
 
軽量で強度の高いアルミニウム材は、大気中使用向けのナノポジショナーに使用されています。一方ステンレススチール製ハウジングは、UHVまでの真空環境に対応しています。チタンおよびベリリウム銅は、0K 近傍での温度環境で使用できる極低温ナノポジショナーに採用されています。
 
独自のピエゾ駆動技術、堅牢な機械設計、クロスローラベアリング採用により、ナノメートルスケールで数kgまでの荷重が可能です。また AMC100 3軸ドライブエレクトロニクスと組み合わせることで、最高速度 4.5 mm/s(10°/s)と、1 nm(1μ°)の高いクローズドループ分解能を同時に提供します。位置再現性は最高 50 nm(50μ°)です。大気圧から超高真空まで対応し、全モデルについてアルマイトかステンレススチールの材質を選択できます。長寿命と高い費用対効果の両方を兼ねるよう設計された室温最適化駆動機構と、最適な材質により、約50万サイクルの長い寿命と、コスト削減を同時に達成しています。

※表中の各「GO」から、Attocubeサイト内の詳細ページ(英語)へ移動します。
 

モデル タイプ 耐荷重 可動量 温度 真空度 磁場強度 エンコーダ分解能 詳細
ECSx3030/Al/RT リニア 水平 9000 g 20 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECSx3030/Al/NUM/RT リニア 水平 9000 g 20 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 1 nm GO
ECSx3030/StSt/HV リニア 水平 9000 g 20 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar × GO
ECSx3030/StSt/NUM/HV リニア 水平 9000 g 20 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 1 nm GO
ECSx3030/StSt/NUM+/HV リニア 水平 9000 g 20 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 1 nm GO
ECSx3030/StSt/UHV リニア 水平 9000 g 20 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar × GO
ECSx3030/StSt/NUM/UHV リニア 水平 9000 g 20 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 1 nm GO
ECSx3030/StSt/NUM+/UHV リニア 水平 9000 g 20 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 1 nm GO
ECSx3050/Al/RT リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECSx3050/Al/HL/RT リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECSx3050/Al/NUM/RT リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 1 nm GO
ECSx3050/Al/HL/NUM/RT リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 1 nm GO
ECSx3050/StSt/HV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar × GO
ECSx3050/StSt/HL/HV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar × GO
ECSx3050/StSt/NUM/HV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 1 nm GO
ECSx3050/StSt/HL/NUM/HV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 1 nm GO
ECSx3050/StSt/NUM+/HV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 1 nm GO
ECSx3050/StSt/HL/NUM+/HV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 1 nm GO
ECSx3050/StSt/UHV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar × GO
ECSx3050/StSt/HL/UHV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar × GO
ECSx3050/StSt/NUM/UHV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 1 nm GO
ECSx3050/StSt/HL/NUM/UHV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 1 nm GO
ECSx3050/StSt/NUM+/UHV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 1 nm GO
ECSx3050/StSt/HL/NUM+/UHV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 1 nm GO
ECSx3080/Al/RT リニア 水平 24000 g 50 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECSx3080/Al/HL/RT リニア 水平 24000 g 50 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECSx3080/Al/NUM/RT リニア 水平 24000 g 50 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 1 nm GO
ECSx3080/Al/HL/NUM/RT リニア 水平 24000 g 50 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 1 nm GO
ECSx3080/StSt/HV リニア 水平 24000 g 50 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar × GO
ECSx3080/StSt/NUM/HV リニア 水平 24000 g 50 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 1 nm GO
ECSx3080/StSt/NUM+/HV リニア 水平 24000 g 50 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 1 nm GO
ECSx3080/StSt/UHV リニア 水平 24000 g 50 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar × GO
ECSx3080/StSt/NUM/UHV リニア 水平 24000 g 50 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 1 nm GO
ECSx3080/StSt/NUM+/UHV リニア 水平 24000 g 50 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 1 nm GO
ECSx5050/Al/RT リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECSx5050/Al/HL/RT リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECSx5050/Al/NUM/RT リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 1 nm GO
ECSx5050/Al/HL/NUM/RT リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 1 nm GO
ECSx5050/StSt/HV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar × GO
ECSx5050/StSt/HL/HV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar × GO
ECSx5050/StSt/NUM/HV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 1 nm GO
ECSx5050/StSt/HL/NUM/HV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 1 nm GO
ECSx5050/StSt/NUM+/HV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 1 nm GO
ECSx5050/StSt/HL/NUM+/HV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 1 nm GO
ECSx5050/StSt/UHV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar × GO
ECSx5050/StSt/HL/UHV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar × GO
ECSx5050/StSt/NUM/UHV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 1 nm GO
ECSx5050/StSt/HL/NUM/UHV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 1 nm GO
ECSx5050/StSt/NUM+/UHV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 1 nm GO
ECSx5050/StSt/HL/NUM+/UHV リニア 水平 15000 g 30 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 1 nm GO
ECSxy5050/Al/RT スキャナ XY 15000 g 25 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECSxy5050/Al/NUM/RT スキャナ XY 15000 g 25 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 1 nm GO
ECSz3030/Al/RT リニア 垂直 800 g 5 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECSz3030/Al/NUM/RT リニア 垂直 800 g 5 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 1 nm GO
ECSz5050/Al/RT リニア 垂直 800 g 8 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECSz5050/Al/NUM/RT リニア 垂直 800 g 8 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 1 nm GO
ANPz30/RT リニア 垂直 10 g 2.5 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz30/HV リニア 垂直 10 g 2.5 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz30/UHV リニア 垂直 10 g 2.5 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx51/RT リニア 水平 25 g 3 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx51/RES/RT リニア 水平 25 g 3 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx51/HV リニア 水平 25 g 3 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx51/RES/HV リニア 水平 25 g 3 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx51/UHV リニア 水平 25 g 3 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx51/RES/UHV リニア 水平 25 g 3 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz51/RT リニア 垂直 50 g 2.5 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz51eXT/RT リニア 垂直 50 g 6 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz51eXT/RES/RT リニア 垂直 50 g 6 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz51/RES/RT リニア 垂直 50 g 2.5 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz51/HV リニア 垂直 50 g 2.5 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz51eXT/HV リニア 垂直 50 g 6 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz51eXT/RES/HV リニア 垂直 50 g 6 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz51/RES/HV リニア 垂直 50 g 2.5 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz51eXT/UHV リニア 垂直 50 g 6 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz51/UHV リニア 垂直 50 g 2.5 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz51eXT/RES/UHV リニア 垂直 50 g 6 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz51/RES/UHV リニア 垂直 50 g 2.5 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx101/RT リニア 水平 100 g 5 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx101/RES/RT リニア 水平 100 g 5 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx101/HV リニア 水平 1 m° 5 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx101/RES/HV リニア 水平 1 m° 5 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx101/UHV リニア 水平 1 m° 5 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx101/RES/UHV リニア 水平 1 m° 5 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101/RT リニア 垂直 200 g 5 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101eXT12/RT リニア 垂直 200 g 12 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101/HL/RT リニア 垂直 2 mm/s 5 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101/RES/RT リニア 垂直 200 g 5 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101eXT12/RES/RT リニア 垂直 200 g 12 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101/HL/RES/RT リニア 垂直 2 mm/s 5 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101/HV リニア 垂直 2 mm/s 5 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101eXT12/HV リニア 垂直 2 mm/s 12 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101/HL/HV リニア 垂直 2 mm/s 5 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101/RES/HV リニア 垂直 2 mm/s 5 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101eXT12/RES/HV リニア 垂直 2 mm/s 12 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101/RES/HL/HV リニア 垂直 2 mm/s 5 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101/UHV リニア 垂直 2 mm/s 5 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101eXT12/UHV リニア 垂直 2 mm/s 12 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101/HL/UHV リニア 垂直 2 mm/s 5 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101eXT12/RES/UHV リニア 垂直 2 mm/s 12 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101/RES/UHV リニア 垂直 2 mm/s 5 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101/RES/HL/UHV リニア 垂直 2 mm/s 5 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz102/RT リニア 垂直 200 g 5 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz102/RES/RT リニア 垂直 200 g 5 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz102/HV リニア 垂直 2 mm/s 5 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz102/RES/HV リニア 垂直 2 mm/s 5 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz102/UHV リニア 垂直 2 mm/s 5 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz102/RES/UHV リニア 垂直 2 mm/s 5 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx311/RT リニア 水平 2000 g 6 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx311/HL/RT リニア 水平 2000 g 6 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx311/RES/RT リニア 水平 2000 g 6 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx311/HL/RES/RT リニア 水平 2000 g 6 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx311/HV リニア 水平 2000 g 6 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx311/HL/HV リニア 水平 2000 g 6 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx311/RES/HV リニア 水平 2000 g 6 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx311/HL/RES/HV リニア 水平 2000 g 6 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx311/HL/UHV リニア 水平 2000 g 6 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx311/RES/UHV リニア 水平 2000 g 6 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx311/HL/RES/UHV リニア 水平 2000 g 6 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx312/RT リニア 水平 2000 g 6 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx312/HV リニア 水平 2000 g 6 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx321/RT リニア 水平 2000 g 15 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx321/HL/RT – リニア 水平 2000 g 15 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx321/RES/RT リニア 水平 2000 g 15 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx321/HL/RES/RT リニア 水平 2000 g 15 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx321/HV リニア 水平 2000 g 15 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx321/HL/HV リニア 水平 2000 g 15 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx321/RES/HV リニア 水平 2000 g 15 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx321/HL/RES/HV リニア 水平 2000 g 15 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx321/UHV リニア 水平 2000 g 15 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx321/HL/UHV リニア 水平 2000 g 15 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx321/RES/UHV リニア 水平 2000 g 15 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx321/HL/RES/UHV リニア 水平 2000 g 15 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx341/RT リニア 水平 2000 g 20 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx341/HL/RT リニア 水平 2000 g 20 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx341/RES/RT リニア 水平 2000 g 20 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx341/HL/RES/RT リニア 水平 2000 g 20 mm 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx341/HV リニア 水平 2000 g 20 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx341/HL/HV リニア 水平 2000 g 20 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx341/RES/HV リニア 水平 2000 g 20 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx341/HL/RES/HV リニア 水平 2000 g 20 mm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx341/HL/UHV リニア 水平 2000 g 20 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx341/RES/UHV リニア 水平 2000 g 20 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx341/HL/RES/UHV リニア 水平 2000 g 20 mm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANSxy50/RT スキャナ XY 50 g 30 x 30 µm² 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy50/HV スキャナ XY 50 g 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy50/UHV スキャナ XY 50 g 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz50/RT スキャナ Z 50 g 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz50/HV スキャナ Z 50 g 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz50/UHV スキャナ Z 50 g 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz50/RT スキャナ XYZ 100 g 30 x 30 x 4.3 µm³ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz50/HV スキャナ XYZ 0.5 nm 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz50/UHV スキャナ XYZ 0.5 nm 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy100lr/RT スキャナ XY 100 g 50 x 50 µm² 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy100std/RT スキャナ XY 100 g 40 x 40 µm² 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy100lr/HV スキャナ XY 1 m° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy100std/HV スキャナ XY 1 m° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy100std/UHV スキャナ XY 1 m° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy100lr/UHV スキャナ XY 1 m° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100lr/RT スキャナ Z 100 g 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100hs/RT スキャナ Z 100 g 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100std/RT スキャナ Z 100 g 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100lr/HV スキャナ Z 1 m° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100/HV スキャナ Z 1 m° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100hs/HV スキャナ Z 1 m° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100std/UHV スキャナ Z 1 m° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100sr/UHV スキャナ Z 1 m° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100lr/UHV スキャナ Z 1 m° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz100hs/RT スキャナ XYZ 100 g 40 x 40 x 4.3 µm³ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz100/RT スキャナ XYZ 100 g 50 x 50 x 24 µm³ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz100/HV スキャナ XYZ 1 m° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz100hs/HV スキャナ XYZ 1 m° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz100hs/UHV スキャナ XYZ 1 m° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz100/UHV スキャナ XYZ 1 m° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSx150/RT スキャナ X 100 g 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSx150/HV スキャナ X 1 m° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSx150/UHV スキャナ X 1 m° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ECGt5050/Al/RT ゴニオ θ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECGt5050/Al/HL/RT ゴニオ θ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECGt5050/Al/NUM/RT ゴニオ θ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 1E-4 mbar 1 µ° GO
ECGt5050/Al/HL/NUM/RT ゴニオ θ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 1E-4 mbar 1 µ° GO
ECGt5050/StSt/HV ゴニオ θ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 1E-8 mbar × GO
ECGt5050/StSt/NUM/HV ゴニオ θ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 1 µ° GO
ECGt5050/StSt/NUM+/HV ゴニオ θ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 1 µ° GO
ECGt5050/StSt/UHV ゴニオ θ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 5E-11 mbar × GO
ECGt5050/StSt/NUM/UHV ゴニオ θ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 1 µ° GO
ECGt5050/StSt/NUM+/UHV ゴニオ θ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 1 µ° GO
ECGp5050/Al/RT ゴニオ φ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECGp5050/Al/HL/RT ゴニオ φ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECGp5050/Al/NUM/RT ゴニオ φ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 1E-4 mbar 1 µ° GO
ECGp5050/Al/HL/NUM/RT ゴニオ φ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 1E-4 mbar 1 µ° GO
ECGp5050/StSt/HV ゴニオ φ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 1E-8 mbar × GO
ECGp5050/StSt/NUM/HV ゴニオ φ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 1 µ° GO
ECGp5050/StSt/NUM+/HV ゴニオ φ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 1 µ° GO
ECGp5050/StSt/UHV ゴニオ φ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 5E-11 mbar × GO
ECGp5050/StSt/NUM/UHV ゴニオ φ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 1 µ° GO
ECGp5050/StSt/NUM+/UHV ゴニオ φ 1000 g 10 ° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 1 µ° GO
ANGt50/RT ゴニオ θ 25 g 7.2 ° 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANGt50/HV ゴニオ θ 25 g 7.2 ° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANGt50/UHV ゴニオ θ 25 g 7.2 ° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANGp50/RTg ゴニオ φ 25 g 5.8 ° 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANGp50/HVg ゴニオ φ 25 g 5.8 ° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANGp50/UHVg ゴニオ φ 25 g 5.8 ° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANGt101/RT ゴニオ θ 100 g 6.6 ° 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANGt101/RES/RT ゴニオ θ 100 g 6.6 ° 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T 0.1 m° GO
ANGt101/HV ゴニオ θ 1 m° 6.6 ° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANGt101/RES/HV ゴニオ θ 1 m° 6.6 ° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T 0.1 m° GO
ANGt101/UHV ゴニオ θ 1 m° 6.6 ° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANGt101/RES/UHV ゴニオ θ 1 m° 6.6 ° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T 0.1 m° GO
ANGp101/RTg ゴニオ φ 100 g 5.4 ° 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANGp101/RES/RTg ゴニオ φ 100 g 5.4 ° 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T 0.1 m° GO
ANGp101/HVg ゴニオ φ 1 m° 5.4 ° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANGp101/RES/HVg ゴニオ φ 1 m° 5.4 ° 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T 0.1 m° GO
ANGp101/UHVg ゴニオ φ 1 m° 5.4 ° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANGp101/RES/UHVg ゴニオ φ 1 m° 5.4 ° 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T 0.1 m° GO
ECR3030/Al/RT 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECR3030/Al/NUM/RT 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0.01 m° GO
ECR3030/StSt/HV 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar × GO
ECR3030/StSt/NUM/HV 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0.01 m° GO
ECR3030/StSt/NUM+/HV 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0.01 m° GO
ECR3030/StSt/UHV 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 5E-11 mbar × GO
ECR3030/StSt/NUM/UHV 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0.01 m° GO
ECR3030/StSt/NUM+/UHV 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0.01 m° GO
ECR4040/Al/RT 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECR4040/Al/NUM/RT 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0.04 m° GO
ECR5050hs/Al/RT 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar × GO
ECR5050/AL/NUM/RT 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0.01 m° GO
ECR5050hs/AL/NUM/RT 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0.01 m° GO
ECR5050hs/StSt/HV 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar × GO
ECR5050hs/StSt/NUM/HV 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0.01 m° GO
ECR5050hs/StSt/NUM+/HV 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0.01 m° GO
ECR5050hs/StSt/UHV 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-9 mbar × GO
ECR5050hs/StSt/NUM/UHV 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-9 mbar 0.01 m° GO
ECR5050hs/StSt/NUM+/UHV 回転 2000 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-9 mbar 0.01 m° GO
ANR31/RT 回転 垂直回転 5 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANR31/HV 回転 垂直回転 5 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANR31/UHV 回転 垂直回転 5 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANR51/RT 回転 垂直回転 30 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANR51/RES/RT 回転 垂直回転 30 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR51/HV 回転 垂直回転 30 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANR51/RES/HV 回転 垂直回転 30 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR51/UHV 回転 垂直回転 30 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANR51/RES/UHV 回転 垂直回転 30 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANRv51/RT 回転 水平回転 20 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANRv51/RES/RT 回転 水平回転 20 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANRv51/HV 回転 水平回転 0.2 m° 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANRv51/RES/HV 回転 水平回転 0.2 m° 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANRv51/UHV 回転 水平回転 0.2 m° 360 ° ∞ 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANRv51/RES/UHV 回転 水平回転 0.2 m° 360 ° ∞ 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR101/RT 回転 垂直回転 100 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANR101/RES/RT 回転 垂直回転 100 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR101/HV 回転 垂直回転 1 m° 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANR101/RES/HV 回転 垂直回転 1 m° 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR101/UHV 回転 垂直回転 1 m° 360 ° ∞ 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANR101/RES/UHV 回転 垂直回転 1 m° 360 ° ∞ 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANRv220/RT 回転 水平回転 100 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANRv220/RES/RT 回転 水平回転 100 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANRv220/HV 回転 水平回転 1 m° 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANRv220/RES/HV 回転 水平回転 1 m° 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANRv220/UHV 回転 水平回転 1 m° 360 ° ∞ 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANRv220/RES/UHV 回転 水平回転 1 m° 360 ° ∞ 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR240/RT 回転 垂直回転 200 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANR240/RES/RT 回転 垂直回転 200 g 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR240/HV 回転 垂直回転 2 mm/s 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANR240/RES/HV 回転 垂直回転 2 mm/s 360 ° ∞ 0 .. 100°C 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR240/UHV 回転 垂直回転 2 mm/s 360 ° ∞ 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANR240/RES/UHV 回転 垂直回転 2 mm/s 360 ° ∞ 0 .. 100°C 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
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