極低温対応ナノ位置決めステージ

attocube systems

極低温環境対応の非磁性ピエゾ駆動ナノポジショナー

attocube ナノ位置決めステージ概要

 ≫ 極低温対応ナノ位置決めステージ

 ≫ 大気・真空対応ナノ位置決めステージ

 ≫ 特注ナノ位置決めステージ

  • 極限環境対応:極低温、高真空、超高真空対応
  • クローズドループ制御可能:エンコーダ付きで正確かつ高い再位置決め精度
  • 多彩なデザイン、サイズ、可動範囲をラインナップ。直接スタッキングして多軸操作が可能
  • 広い可動量:
    過酷な作業環境での使用に特化した特許取得済み 慣性駆動技術使用。微小ステップでセンチメートルオーダーの可動域を実現

Attocube(アトキューブ)社の極低温ナノポジショナーは、特許取得済みのピエゾ駆動メカニズムにより、極低温、高磁場、超高真空などの極端な環境条件下でも、最高の精度、センチメートルオーダーの広い可動域、高い信頼性を兼ね備えたナノポジショニングを実行できます。

チタンやベリリウム銅のような特殊な非磁性材料を採用し、ミリケルビン(mK)温度までの使用を実現しています。ラインナップの主な2種類のサイズは、強力な超伝導磁石の一般的な口径用に設計されています。モジュール式で、複数のステージを組み合わせた最大6軸の位置決めユニットを構築できます。

※表中の各「GO」から、Attocubeサイト内の詳細ページ(英語)へ移動します。

モデル タイプ 可動量 温度 真空度 磁場強度 エンコーダ分解能 詳細
ANPz30/LT リニア 垂直 2.5 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz30/LT/HV リニア 垂直 2.5 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz30/LT/UHV リニア 垂直 2.5 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx51/LT リニア 水平 3 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx51/LT リニア 水平 3 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx51/LT リニア 水平 3 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx51/RES/LT リニア 水平 3 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx51/LT/HV リニア 水平 3 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx51/RES/LT/HV リニア 水平 3 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx51/LT/UHV リニア 水平 3 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx51/RES/LT/UHV リニア 水平 3 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx51/CuBe/RES+/ULT/HV リニア 水平 3 mm 0.01 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz51/LT リニア 垂直 2.5 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz51eXT/LT リニア 垂直 6 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz51/LT リニア 垂直 2.5 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz51/RES/LT リニア 垂直 2.5 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz51eXT/RES/LT リニア 垂直 6 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz51/LT/HV リニア 垂直 2.5 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz51eXT/LT/HV リニア 垂直 6 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz51eXT/RES/LT/HV リニア 垂直 6 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz51/RES/LT/HV リニア 垂直 2.5 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz51/LT/UHV リニア 垂直 2.5 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz51eXT/LT/UHV リニア 垂直 6 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz51eXT/RES/LT/UHV リニア 垂直 6 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz51/RES/LT/UHV リニア 垂直 2.5 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz51/CuBe/RES+/ULT/HV リニア 垂直 2.5 mm 0.01 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx101/LT リニア 水平 5 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx101/RES/LT リニア 水平 5 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx101/LT/HV リニア 水平 5 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx101/RES/LT/HV リニア 水平 5 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx101/LT/UHV リニア 水平 5 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx101/RES/LT/UHV リニア 水平 5 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx101/CuBe/RES+/ULT/HV リニア 水平 5 mm 0.01 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101eXT12/LT リニア 垂直 2 mm/s 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101/LT リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101/HL/LT リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101eXT12/RES/LT リニア 垂直 12 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101/RES/LT リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101/RES/HL/LT リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101eXT12/LT/HV リニア 垂直 12 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101/LT/HV リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101/HL/LT/HV リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101eXT12/RES/LT/HV リニア 垂直 12 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101/RES/LT/HV リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101/RES/HL/LT/HV リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101/LT/UHV リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101eXT12/LT/UHV リニア 垂直 12 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101/HL/LT/UHV リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz101eXT12/RES/LT/UHV リニア 垂直 12 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101/RES/LT/UHV リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101/RES/HL/LT/UHV リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz101/CuBe/RES+/ULT/HV リニア 垂直 5 mm 0.01 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz102/LT リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz102/RES/LT リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz102/LT/HV リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz102/RES/LT/HV リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz102/LT/UHV リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPz102/RES/LT/UHV リニア 垂直 5 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPz102/CuBe/RES+/ULT/HV リニア 垂直 5 mm 0.01 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx311/LT リニア 水平 6 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx311/HL/LT リニア 水平 6 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx311/RES/LT リニア 水平 6 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx311/HL/RES/LT リニア 水平 6 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx311/LT/HV リニア 水平 6 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx311/HL/LT/HV リニア 水平 6 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx311/RES/LT/HV リニア 水平 6 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx311/HL/RES/LT/HV リニア 水平 6 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx311/LT/UHV リニア 水平 6 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx311/HL/LT/UHV リニア 水平 6 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx311/RES/LT/UHV リニア 水平 6 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx311/HL/RES/LT/UHV リニア 水平 6 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx311/RES+/ULT/HV リニア 水平 6 mm 0.01 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx312/RES/LT リニア 水平 6 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx312/LT/HV リニア 水平 6 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx312/RES/LT/HV リニア 水平 6 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx312/RES/LT/UHV リニア 水平 6 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx321/LT リニア 水平 15 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx321/HL/LT リニア 水平 15 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx321/RES/LT リニア 水平 15 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx321/HL/RES/LT リニア 水平 15 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx321/LT/HV リニア 水平 15 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx321/HL/LT/HV リニア 水平 15 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx321/RES/LT/HV リニア 水平 15 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx321/HL/RES/LT/HV リニア 水平 15 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx321/LT/UHV リニア 水平 15 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx321/HL/LT/UHV リニア 水平 15 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx321/RES/LT/UHV リニア 水平 15 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx321/HL/RES/LT/UHV リニア 水平 15 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx321/RES+/ULT/HV リニア 水平 15 mm 0.01 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx341/LT リニア 水平 20 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx341/HL/LT リニア 水平 20 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx341/RES/LT リニア 水平 20 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx341/HL/RES/LT リニア 水平 20 mm 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx341/LT/HV リニア 水平 20 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx341/HL/LT/HV リニア 水平 20 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx341/RES/LT/HV リニア 水平 20 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx341/HL/RES/LT/HV リニア 水平 20 mm 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx341/LT/UHV リニア 水平 20 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx341/HL/LT/UHV リニア 水平 20 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANPx341/RES/LT/UHV リニア 水平 20 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx341/HL/RES/LT/UHV リニア 水平 20 mm 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANPx341/RES+/ULT/HV リニア 水平 20 mm 0.01 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 200 nm GO
ANSxy50/LT スキャナ XY 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy50/LT スキャナ XY 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy50/LT/HV スキャナ XY 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy50/LT/UHV スキャナ XY 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy50/CuBe/ULT/HV スキャナ XY 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz50/LT スキャナ Z 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz50/LT スキャナ Z 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz50/LT/HV スキャナ Z 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz50/LT/UHV スキャナ Z 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz50/LT スキャナ XYZ 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz50/LT/HV スキャナ XYZ 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz50/LT/UHV スキャナ XYZ 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz50/CuBe/ULT/HV スキャナ XYZ 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy100std/LT スキャナ XY 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy100lr/LT スキャナ XY 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy100std/LT/HV スキャナ XY 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy100lr/LT/HV スキャナ XY 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy100std/LT/UHV スキャナ XY 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy100lr/LT/UHV スキャナ XY 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxy100lr/CuBe/ULT/HV スキャナ XY 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100lr/LT スキャナ Z 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100sr/LT スキャナ Z 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100std/LT スキャナ Z 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100lr/LT/HV スキャナ Z 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100hs/LT/HV スキャナ Z 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100std/LT/HV スキャナ Z 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100lr/LT/UHV スキャナ Z 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100std/LT/UHV スキャナ Z 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSz100hs/LT/UHV スキャナ Z 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz100hs/LT スキャナ XYZ 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz100/LT スキャナ XYZ 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz100hs/LT/HV スキャナ XYZ 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz100/LT/HV スキャナ XYZ 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz100/LT/UHV スキャナ XYZ 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz100hs/LT/UHV スキャナ XYZ 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANSxyz100std/CuBe/ULT/HV スキャナ XYZ 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSx150/LT スキャナ X 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANSx150/LT/HV スキャナ X 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANSx150/LT/UHV スキャナ X 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANGt50/LT ゴニオ θ 7.2 ° 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANGt50/LT/HV ゴニオ θ 7.2 ° 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANGt50/LT/UHV ゴニオ θ 7.2 ° 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANGp50/LT ゴニオ θ 5.8 ° 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANGp50/LT/HV ゴニオ θ 5.8 ° 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANGp50/LT/UHV ゴニオ θ 5.8 ° 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANGt101/LT ゴニオ θ 6.6 ° 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANGt101/RES/LT ゴニオ θ 6.6 ° 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T 0.1 m° GO
ANGt101/LT/HV ゴニオ θ 6.6 ° 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANGt101/RES/LT/HV ゴニオ θ 6.6 ° 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T 0.1 m° GO
ANGt101/LT/UHV ゴニオ θ 6.6 ° 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANGt101/RES/LT/UHV ゴニオ θ 6.6 ° 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T 0.1 m° GO
ANGt101/CuBe/RES+/ULT/HV ゴニオ θ 6.6 ° 0.01 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T 0.1 m° GO
ANGp101/LT ゴニオ θ 5.4 ° 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANGp101/RES/LT ゴニオ θ 5.4 ° 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T 0.1 m° GO
ANGp101/LT/HV ゴニオ θ 5.4 ° 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANGp101/RES/LT/HV ゴニオ θ 5.4 ° 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T 0.1 m° GO
ANGp101/LT/UHV ゴニオ θ 5.4 ° 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANGp101/RES/LT/UHV ゴニオ θ 5.4 ° 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T 0.1 m° GO
ANGp101/CuBe/RES+/ULT/HV ゴニオ θ 5.4 ° 0.01 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T 0.1 m° GO
ANR31/LT 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANR31/LT/HV 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANR31/LT/UHV 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANR51/LT 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANR51/RES/LT 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR51/LT/HV 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANR51/RES/LT/HV 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR51/LT/UHV 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANR51/RES/LT/UHV 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR51/CuBe/RES+/ULT/HV 回転 垂直回転 360°∞ 0.01 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANRv51/LT 回転 水平回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANRv51/RES/LT 回転 水平回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANRv51/LT/HV 回転 水平回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANRv51/RES/LT/HV 回転 水平回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANRv51/LT/UHV 回転 水平回転 360°∞ 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANRv51/RES/LT/UHV 回転 水平回転 360°∞ 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANRv51/CuBe/RES+/ULT/HV 回転 水平回転 360°∞ 0.01 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR101/LT 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANR101/RES/LT 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR101/LT/HV 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANR101/RES/LT/HV 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR101/LT/UHV 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANR101/RES/LT/UHV 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR101/CuBe/RES+/ULT/HV 回転 垂直回転 360°∞ 0.01 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANRv220/LT 回転 水平回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANRv220/RES/LT 回転 水平回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANRv220/LT/HV 回転 水平回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANRv220/RES/LT/HV 回転 水平回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANRv220/LT/UHV 回転 水平回転 360°∞ 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANRv220/RES/LT/UHV 回転 水平回転 360°∞ 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR240/LT 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T × GO
ANR240/RES/LT 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-4 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR240/LT/HV 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T × GO
ANR240/RES/LT/HV 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 1E-8 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO
ANR240/LT/UHV 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T × GO
ANR240/RES/LT/UHV 回転 垂直回転 360°∞ 1 .. 373 K 5E-11 mbar 0 – 31 T ~ 6 m° GO