半導体、ディスプレイ、プリント基板における大型の基板の3D表面測定が可能な白色干渉計・共焦点顕微鏡システムです。測定ソフトウェア、また特定の測定ニーズに合わせたプラグインも幅広くご用意。アプリケーションに適した測定ソリューションをご提供致します。

S neox Five Axis 5軸ステージ付き3D光学プロファイラは、高精度回転ステージモジュールと3D光学プロファイラ 高速・多機能モデルS neox の高度な検査および解析機能を組み合わせています。これにより、指定された位置・角度で自動的に3D表面形状測定を行い、完全な3D形状計測が可能になります。

Sensofar S neoxは、共焦点・干渉・AiFocusの3モードを搭載した高精度3D光学測定装置です。非接触で微細構造や表面粗さを高分解能で解析でき、産業用途から研究開発まで幅広くご利用いただけます。高速データ取得と安定した計測性能により、精密部品や素材評価の品質管理を効率化します。

非接触・非破壊で表面の微細形状、面粗度、粗さ、薄膜計測などの3D形状を測定することができる装置組込み用の顕微鏡ユニット 。3D光学プロファイラおよび3Dレーザー顕微鏡に代表される共焦点顕微鏡技術を搭載。

非接触・非破壊で表面の微細な3D形状、および粗さを測定・解析することができる形状計測装置です。装置組込み用顕微鏡ヘッドモデル、テーブルトップモデル、大型ステージ付きモデル、クリーンルーム対応モデルまで用途に応じた幅広いラインナップを提供。

S lynxは、産業および研究分野向けに開発された非接触3D表面形状測定装置です。コンパクトながら多用途で、光学部品のような滑らかな面から凹凸のある粗い面まで、幅広いアプリケーションに1台で対応します。独自の3-in-1測定技術とSensoSCANソフトウェアにより、R&D用途に最適な直感的操作と高精度測定を実現しています。

3D形状や表面粗さを測定、解析するための直感的で使いやすいソフトウェアパッケージを装置とセットで提供しています。

高精度な3D表面形状・粗さ測定が可能な3D光学プロファイラ・共焦点顕微鏡を、品質管理で用いるための自動化ソリューションを紹介します。測定の自動化のための自動アライメント機能や装置組込み用顕微鏡ヘッド、解析の自動化のためのSensoPRO自動解析ソフトウェア。

Sensofar 組込みセンサによるCMP（Chemical Mechanical Planarization）工程のパッドの平坦性の測定・解析。S mart によるCMPの測定によって、CMPパッドは全般的に十分活用されておらず、多くの場合は有効な製品寿命が半分以上残ったまま廃棄されていることが明らかになっています。

Sensofar製品による切削工具向けのアプリケーション事例をご紹介します。共焦点、Ai焦点移動、光干渉法を使い非接触で耐用年数、性能、切削速度、精度を測定、特性評価が可能です。

TFT液晶やOLEDなどFPD（フラットパネルディスプレイ）の製造の各段階で、TFTアレイ、スペーサー、UVフィルタ、コーティングなど様々な特性の評価、測定することができます。

レンズや光学フィルタやフィルムなど、表面が滑らかで平ら、また透明なサンプルのオプティクス、フィルム厚や表面粗さなどの測定・解析が可能です。、球面レンズ、非球面レンズ、カメラレンズ、多角形レンズ（六角形レンズ）に対応。

PCB プリント基板が正常に機能するための重要な銅回路、パッド、バンプ、レジスト開口部、レーザーグルービングの測定・特性評価が可能。分析ソフトウェアを最適化しました。

集積回路（IC）においてパッケージングは半導体部品の封止を行う最終工程です。Sensofar製品はPCBの端子、パッドに正しく接続されるため重要なピンの寸法の測定、表面仕上げの特性評価ができます。

半導体の製造工程おけるSensofar製品の測定アプリケーションをご紹介します。重要な寸法の測定、3D測定、膜厚測定、粗さの特性評価、欠陥検査などでご使用いただけます。

非接触・非破壊でナノメートルからミリメートルオーダーの3D形状、および表面粗さを測定することができる形状計測技術の原理について紹介します。

光学顕微鏡を用いた共焦点と光干渉方式による3次元形状測定技術

SENSOFAR社の3D測定顕微鏡は、共焦点・光干渉・焦点移動（フォーカスバリエーション）方式の標準的な原理だけでなく、それらの技術をさらに革新させた共焦点技術や膜厚測定などの先進的な測定、観察方式を有しています。