マイクロミリング装置 MicroMill2（同位体分析用マイクロサンプリング）

ESL社 マイクロミリング装置 MicroMill²

MicroMill²は、高分解能のミリング（切削）で固体試料から粉末を回収し、化学分析や同位体分析に供するためのマイクロサンプリング装置です。サブミクロンのステージ分解能と位置精度、リアルタイムの映像観察、専用ソフトウェアを備え、生物の骨格や結晶にみられる複雑な成長構造から狙った部分だけをサンプリングできます。従来機MicroMillをベースに、制御ソフトウェアActiveView2、高精度ステージ、500万画素デジタルカメラを新たに搭載しました。

主な特長

• サブミクロンの試料位置制御
• ナノメートルのステップ分解能を持つ、X・Y・Z各50mmの高精度ステージ（オプションで100mmのXYステージ）
• 最大22.5°まで傾けられるドリルで、成長縞の垂直面もミリング可能
• ドリル先端のセンサーで試料の高さを検出し、傾きを補正
• 試料と工具先端を、機械的に動かさずに同時にライブ観察
• 試料マップ上をナビゲーションして、観察範囲を拡大
• オープンステージ構造で、大型試料にも対応

観察・ミリング機構

• 500万画素USB3デジタル顕微鏡（デジタルズーム6.7～60倍、視野12mm～2mm）
• 落射照明と透過照明のLEDを、ソフトウェアで切り替え
• 360°連続で調整できるクロスポーラー（直交偏光）
• 偏心が少なく高トルクのDCミリングチャック（0～50,000rpmの可変速）
• 1/8インチ、3/32インチの工具に対応。高精度のタングステンカーバイド製ミリングツール
• ジョイスティックによる手動位置決め

制御ソフトウェア ActiveView2

サンプリング経路の作成からデータの記録まで、ワークフローをデジタル化しています。

• ポイント＆クリック操作で、PCモニター上にライブ映像を表示
• 外部の画像を取り込み、画像座標をソフトウェア上で変換
• デジタル化・補間したサブサンプリング経路を画面に表示
• ミリングの実行中に、次のスキャンを追加できる
• サンプリング範囲全体で深さを精密に制御。Z傾き補正と輪郭追従に対応
• サンプル経路と推定サンプル量を記録したデータファイルを出力
• 画像の保存・呼び出し・エクスポート（BMP、TIF、JPG）

オプション：MicroMill² Clean Hood

MicroMill²に取り付けて、試料の汚染を減らし、ラボの安全性を高めるエンクロージャーです。ミリング工程を囲うことで、試料調製を密閉環境で行えます。

• MicroMill²本体から給電・制御
• HEPAフィルター内蔵
• 上下にスライドするドア
• 内部LED照明、左右のエアベント
• 非常停止（EMO）スイッチ内蔵

応用例

• 結晶成長の累帯構造（ゾーニング）における、元素組成・同位体組成の高分解能分析とゾーン内の変動評価
• 貝殻（二枚貝など）の成長縞から、季節変動を調べる
• 鍾乳石（スペレオテム）の成長層をサンプリングし、季節変化を推定
• 耳石や骨をサンプリングし、元素組成・同位体組成を評価
• 古気候研究、環境研究、地質学
• CNOH分析、元素分析、層状材料の分析

対象試料

岩石、鉱物、ガラス、セラミックス、金属、合金、貝殻、鍾乳石、耳石、骨

※ ESL社のレーザーアブレーション装置はレーザーアブレーション装置（LA-ICP-MS／LA-IRMS）、元素イメージングシステム（LA-ICP-MS／LIBS）のページをご覧ください。