高精度レーザー干渉式変位センサ

サブナノメートル精度のコンパクトなモジュール型 レーザー干渉式変位センサです。モジュール式の変位測定干渉計で3軸構成が可能です。一般大気環境から、超高真空、放射線環境といった極端環境下でのチャレンジングなOEM用途においても容易に導入ができます。
 
従来シリーズをさらに小型化、改良したシリーズで、ナノメートル精度の1次元変位（相対変動距離）を測定できます。小型のモジュール設計ですので、幅広いアプリケーションにおける3測定軸（XYZ）に簡単に適合させられます。マシンへの直接の統合も容易で、困難なOEMやシンクロトロン用途に最適です。パッシブ冷却ハウジングは、騒音や振動を最小限まで抑え、他の光学部品や電気部品を干渉しません。
さらにスペースの限られる用途では、ガラスファイバーで接続し、センサーヘッドを遠隔操作することができます。 attocube社のファブリーペロー干渉計技術により、センサヘッド部品を少なくし、より安定した測定を実現しています。 広範なデジタルおよびアナログのリアルタイムインターフェースとプロトコルにより、位置データの送信を簡便化しています。リアルタイムデータ通信用の高速インタフェースには、AquadB、独自のシリアルワード（HSSL）、合成アナログ sin / cos /リニアアナログ出力信号がありご利用可能です。 信号は全て、シングルエンド（LVTTL）または差動（LVDS）のいずれかとして出力できます。

高精度な変位測定が必要なアプリケーション向けに、ご指定の用途に最適化したカスタムコンポーネント、組込モジュール、システムソリューションを提供します。