高エネルギー・高出力マルチモード Nd:YAG/Nd:YLF ナノ秒パルスレーザー
DMシリーズは、Nd:YLFおよびNd:YAGを利得媒質とするマルチモードレーザーです。コンパクトな筐体でありながら、最大200mJのパルスエネルギーと最大400Wの高出力を実現し、マルチモード性能をお求めのお客様に高い信頼性と効率性を提供します。研究開発の現場から産業用の大量生産ラインまで、幅広い分野で安定した動作を発揮します。

DMシリーズは、マルチモード対応の固体(ダイオード励起固体・DPSS)ナノ秒パルスレーザーです。コンパクトで堅牢な筐体に、最大200 mJの高パルスエネルギーと最大400 Wの高出力を実現。さらに、完全独立した2台のレーザーを統合したデュアルヘッド構成を選択でき、パルスエネルギー・出力をシングルヘッドの2倍まで高められます。PIV(粒子画像流速測定)、レーザー熱処理、アニールをはじめとする研究・産業用途に、高い信頼性と効率性を提供します。
DM Nd:YAGシリーズ|532 nm 高出力マルチモード グリーンレーザー
アプリケーション例:PIV(粒子画像流速測定)、Ti:サファイア/超高速増幅システムの励起(ポンピング)、切断、穴あけ、溶接、マーキング、パターニング、レーザー熱処理(LTP)、半導体リソグラフィ、表面クリーニングおよびアブレーション、ウォータージェット援用レーザー切断、ダイヤモンド切断、付加製造(アディティブ・マニュファクチャリング)向け精密層除去
DM UVシリーズ|351 nm 高パルスエネルギー Nd:YLF UVナノ秒レーザー
アプリケーション例:半導体アニーリング、OLEDディスプレイ用レーザーリフトオフ(LLO)、切断、穴あけ、溶接、マーキング、パターニング、レーザー誘起蛍光(LIF)、半導体リソグラフィ、表面クリーニングおよびアブレーション、ウェハプロセシング、レーザー誘起ブレークダウン分光法(LIBS)
DM Nd:YLFシリーズ|527 nm 高パルスエネルギー グリーンレーザー
アプリケーション例:PIV(粒子画像流速測定)、Ti:サファイア/超高速増幅システムの励起(ポンピング)、切断、穴あけ、溶接、マーキング、パターニング、レーザー熱処理(LTP)、半導体リソグラフィ、表面クリーニングおよびアブレーション、ウォータージェット援用レーザー切断、ダイヤモンド切断、付加製造(アディティブ・マニュファクチャリング)向け精密層除去
DM Nd:YAGシリーズ 仕様|532 nm グリーンレーザー
| 項目 | シングルヘッド | デュアルヘッド |
|---|---|---|
| 波長 | 532 nm | 532 nm |
| 平均出力 | 200 W/150 W/100 W/60 W(@10 kHz) | 400 W/300 W/200 W/120 W(@10 kHz) |
| パルスエネルギー | 20 mJ/15 mJ/10 mJ/6 mJ(@10 kHz) | 40 mJ/30 mJ/20 mJ/12 mJ(@10 kHz) |
| パルス幅 | 65 ns/70 ns/75 ns/150 ns(@10 kHz) | 65 ns/70 ns/75 ns/150 ns(@10 kHz) |
| 繰返し周波数 | シングルショット~最大50 kHz | シングルショット~最大50 kHz |
| パルス安定性 | < 0.5% RMS | < 0.5% RMS |
| レーザー媒質 | Nd:YAG(固体) | Nd:YAG(固体) |
※ロングパルス構成(最大300 ns)もご用意しています。
DM UVシリーズ 仕様|351 nm UVナノ秒レーザー(Nd:YLF)
| 項目 | シングルヘッド | デュアルヘッド |
|---|---|---|
| 波長 | 351 nm | 351 nm |
| 平均出力 | 100 W/45 W/30 W(@3 kHz) | 200 W/90 W/60 W(@3 kHz) |
| パルスエネルギー | 60 mJ/30 mJ/20 mJ(@1 kHz) | 120 mJ/60 mJ/40 mJ(@1 kHz) |
| パルス幅 | 100 ns(@1 kHz)/< 30 ns ~数百 ns | 100 ns(@1 kHz)/< 30 ns ~数百 ns |
| 繰返し周波数 | シングルショット~最大5 kHz | シングルショット~最大5 kHz |
| レーザー媒質 | Nd:YLF(固体) | Nd:YLF(固体) |
DM Nd:YLFシリーズ 仕様|527 nm グリーンレーザー
| 項目 | シングルヘッド | デュアルヘッド |
|---|---|---|
| 波長 | 527 nm | 527 nm |
| 平均出力 | 150 W/90 W/75 W/60 W/45 W/30 W(@3 kHz) | 300 W/180 W/150 W/120 W/90 W/60 W(@3 kHz) |
| パルスエネルギー | 100 mJ/60 mJ/50 mJ/40 mJ/30 mJ/20 mJ(@1 kHz) | 200 mJ/120 mJ/100 mJ/80 mJ/60 mJ/40 mJ(@1 kHz) |
| パルス幅 | 180 ns/170 ns/140 ns/120 ns/110 ns/100 ns(@1 kHz) | 180 ns/170 ns/140 ns/120 ns/110 ns/100 ns(@1 kHz) |
| 繰返し周波数 | シングルショット~最大10 kHz | シングルショット~最大10 kHz |
| パルス安定性 | < 0.5% RMS | < 0.5% RMS |
| レーザー媒質 | Nd:YLF(固体) | Nd:YLF(固体) |


