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高エネルギー・高出力マルチモード Nd:YAG/Nd:YLF ナノ秒パルスレーザー

新商品

Photonics Industries

DMシリーズは、Nd:YLFおよびNd:YAGを利得媒質とするマルチモードレーザーです。コンパクトな筐体でありながら、最大200mJのパルスエネルギーと最大400Wの高出力を実現し、マルチモード性能をお求めのお客様に高い信頼性と効率性を提供します。研究開発の現場から産業用の大量生産ラインまで、幅広い分野で安定した動作を発揮します。

DMシリーズは、マルチモード対応の固体(ダイオード励起固体・DPSS)ナノ秒パルスレーザーです。コンパクトで堅牢な筐体に、最大200 mJの高パルスエネルギーと最大400 Wの高出力を実現。さらに、完全独立した2台のレーザーを統合したデュアルヘッド構成を選択でき、パルスエネルギー・出力をシングルヘッドの2倍まで高められます。PIV(粒子画像流速測定)、レーザー熱処理、アニールをはじめとする研究・産業用途に、高い信頼性と効率性を提供します。

DM Nd:YAGシリーズ|532 nm 高出力マルチモード グリーンレーザー

DM-Nd-YAGseries

  • 平均出力:最大約400 W@10 kHz
  • マルチモード出力
  • 繰返し周波数:シングルショット~最大50 kHz
  • 優れたパルス安定性:< 0.5% RMS
  • 独自のツインパルスモード(オプション)
  • パルス幅最大300 nsのロングパルス構成も選択可能(別途ロングパルスシリーズをご用意)
  • 水冷方式
  • 堅牢な筐体設計
  • 動的パルスエネルギー制御 – PEC(Dynamic Pulse Energy Control)
  • パワーモニタリングおよび自動減衰(オート・アッテネーション)機能
  • 卓越した信頼性
  • TEM00ビーム(オプション)

アプリケーション例:PIV(粒子画像流速測定)、Ti:サファイア/超高速増幅システムの励起(ポンピング)、切断、穴あけ、溶接、マーキング、パターニング、レーザー熱処理(LTP)、半導体リソグラフィ、表面クリーニングおよびアブレーション、ウォータージェット援用レーザー切断、ダイヤモンド切断、付加製造(アディティブ・マニュファクチャリング)向け精密層除去

DM UVシリーズ|351 nm 高パルスエネルギー Nd:YLF UVナノ秒レーザー

DM-Nd-YAGseries

  • 波長 UV 351 nm(Nd:YLF)
  • 高パルスエネルギー:最大60 mJ@1 kHz(シングルヘッド)、最大約120 mJ@1kHz(デュアルヘッド)
  • 高出力:100 W@3kHz
  • 繰返し周波数:シングルショット~最大5 kHz
  • ロングナノ秒パルス幅:< 30 ns ~数百 ns
  • マルチモード出力
  • 堅牢かつコンパクトな筐体設計
  • 動的パルスエネルギー制御(PEC:Dynamic Pulse Energy Control)
  • パワーモニタリングおよび自動減衰(オート・アッテネーション)機能

アプリケーション例:半導体アニーリング、OLEDディスプレイ用レーザーリフトオフ(LLO)、切断、穴あけ、溶接、マーキング、パターニング、レーザー誘起蛍光(LIF)、半導体リソグラフィ、表面クリーニングおよびアブレーション、ウェハプロセシング、レーザー誘起ブレークダウン分光法(LIBS)

DM Nd:YLFシリーズ|527 nm 高パルスエネルギー グリーンレーザー

DM-NdYLFSeries

  • 最大約200 mJ@1 kHz(Nd:YLF)
  • 繰返し周波数:シングルショット~最大10 kHz(Nd:YLF)
  • 優れたパルス安定性:< 0.5% RMS
  • マルチモード出力
  • 独自のツインパルスモード(特許技術)オプション:
  • TEM00ビーム(オプション)
  • 水冷方式/堅牢かつコンパクトな筐体設計
  • 動的パルスエネルギー制御(PEC:Dynamic Pulse Energy Control)
  • パワーモニタリングおよび自動減衰(オート・アッテネーション)機能

アプリケーション例:PIV(粒子画像流速測定)、Ti:サファイア/超高速増幅システムの励起(ポンピング)、切断、穴あけ、溶接、マーキング、パターニング、レーザー熱処理(LTP)、半導体リソグラフィ、表面クリーニングおよびアブレーション、ウォータージェット援用レーザー切断、ダイヤモンド切断、付加製造(アディティブ・マニュファクチャリング)向け精密層除去

DM Nd:YAGシリーズ 仕様|532 nm グリーンレーザー

項目シングルヘッドデュアルヘッド
波長532 nm532 nm
平均出力200 W/150 W/100 W/60 W(@10 kHz)400 W/300 W/200 W/120 W(@10 kHz)
パルスエネルギー20 mJ/15 mJ/10 mJ/6 mJ(@10 kHz)40 mJ/30 mJ/20 mJ/12 mJ(@10 kHz)
パルス幅65 ns/70 ns/75 ns/150 ns(@10 kHz)65 ns/70 ns/75 ns/150 ns(@10 kHz)
繰返し周波数シングルショット~最大50 kHzシングルショット~最大50 kHz
パルス安定性< 0.5% RMS< 0.5% RMS
レーザー媒質Nd:YAG(固体)Nd:YAG(固体)

※ロングパルス構成(最大300 ns)もご用意しています。

DM UVシリーズ 仕様|351 nm UVナノ秒レーザー(Nd:YLF)

項目シングルヘッドデュアルヘッド
波長351 nm351 nm
平均出力100 W/45 W/30 W(@3 kHz)200 W/90 W/60 W(@3 kHz)
パルスエネルギー60 mJ/30 mJ/20 mJ(@1 kHz)120 mJ/60 mJ/40 mJ(@1 kHz)
パルス幅100 ns(@1 kHz)/< 30 ns ~数百 ns100 ns(@1 kHz)/< 30 ns ~数百 ns
繰返し周波数シングルショット~最大5 kHzシングルショット~最大5 kHz
レーザー媒質Nd:YLF(固体)Nd:YLF(固体)

DM Nd:YLFシリーズ 仕様|527 nm グリーンレーザー

項目シングルヘッドデュアルヘッド
波長527 nm527 nm
平均出力150 W/90 W/75 W/60 W/45 W/30 W(@3 kHz)300 W/180 W/150 W/120 W/90 W/60 W(@3 kHz)
パルスエネルギー100 mJ/60 mJ/50 mJ/40 mJ/30 mJ/20 mJ(@1 kHz)200 mJ/120 mJ/100 mJ/80 mJ/60 mJ/40 mJ(@1 kHz)
パルス幅180 ns/170 ns/140 ns/120 ns/110 ns/100 ns(@1 kHz)180 ns/170 ns/140 ns/120 ns/110 ns/100 ns(@1 kHz)
繰返し周波数シングルショット~最大10 kHzシングルショット~最大10 kHz
パルス安定性< 0.5% RMS< 0.5% RMS
レーザー媒質Nd:YLF(固体)Nd:YLF(固体)
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