製品情報

超分解能ミクロスフィア増幅レンズ SMAL（Super-resolution Microsphere Amplifying Lens ) 。≦100nm分解能を実現。世界トップレベルの光学分解能を持つ最先端の材料検査用の対物レンズです。非接触・非破壊で半導体製造工程でのシリコンウエハの検査等にご使用いただけます。

超解像光学顕微鏡です。回折限界を超えて観察ができます100nm以下の空間分解能で、ナノスケールの構造を非破壊・フルカラーで観察できます。半導体研究開発および先端材料イメージング、またはSEMやAFMの代わりとしてご使用いただけます。対物レンズのみでの販売も可能です。（対物レンズ製品ページリンク 下記）

最先端のAFM（原子間力顕微鏡）Nano-Observer 2は、柔軟性、卓越した性能、使いやすい操作性を兼ね備えつつ、老舗AFMメーカのハイエンド品並みの測定品質を実現。ナノスケールのイメージングと特性評価のための幅広い機能を備えています。電気特性測定（KFM、C-AFM)、脆いサンプルも測定可能なソフトICモードも実現。

レーザー波長計872シリーズ：極細分解能で可視・近赤外域を網羅、量子コンピュータや原子冷却にも最適独自のフィゾー・エタロン技術で200kHzまでの測定分解能を実現したレーザー波長計872シリーズは、可視域から近赤外域までの幅広い波長に対応し、レーザー周波数安定化に最適です。量子コンピュータや原子冷却など、高精度な波長測定が求められる研究開発にご活用いただけます。最大8台までのレーザー接続と安定化を可能にするマルチレーザーPIDコントローラーや、ファイバーオプティクススイッチもアクセサリでご用意しております。

NanoViewラージスキャナシリーズは4～12インチのサンプルを分割することなく直接観察が可能。表面粗さ、粒子サイズ、ステップ高さなどの3次元表面形状の画像が取得可能な最も直感的で高速かつ費用対効果に優れた産業用AFMです。また自動ポジショニングのための座標の設定も可能で、製品開発と品質管理にとって最適なツールをなっています。

波長 320, 349, 532, 640, 780 nm、狭線幅 (< 0.5 MHz)、非常に小さい強度ノイズ (< 0.1% RMS)、回折限界 TEM00 ビーム。 独自の光学アーキテクチャとハーメチックシールドパッケージにより、長期間にわたって非常に安定した動作と性能を保持します。要件の厳しい組み込み用途で高い堅牢性と耐久性を発揮します。また、高い精度、安定性、スペクトル純度が求められる、ラマン分光、干渉実験、ホログラフィ、量子技術開発など、高度な研究用途にも最適です。