微細加工向けフェムト秒ファイバレーザー ”Indylit”とは
Indylitは、様々な超高速アプリケーションに適した高エネルギーの空冷式フェムト秒レーザーです。特に産業向け微細加工に最適です。レーザーヘッドは完全なパッシブ冷却設計を採用しており、パルス幅、ビームポインティング、出力などの光学パラメータの高い安定性を確保しています。Indylitは、その高い堅牢性と安定性により、様々な不安定要素から護られた産業用フェムト秒レーザーです。
微細加工向けフェムト秒ファイバレーザー ”Indylit”の特長とメリット
- 極めて優れた堅牢性と安定性
- 高パルスエネルギーと綺麗なパルス形状
- メンテナンスフリー&ターンキー
- 繰り返し周波数、パルス幅、出力調整可能
- パッシブ空冷
- 波長1030nm/515nm、 平均パワー10W以上/20W以上
- 材料のマイクロ加工
- 眼科治療
- コールドマーキング
- 半導体、ガラス、セラミックのダイシングとスクライビング
- ディスプレイ製造
- 理化学研究
| 繰り返し周波数 vs パルスエネルギー | パルス相関トレース | ビーム品質・ビームプロファイル | |
|---|---|---|---|
| Indylit 10 |  |  |  |
| Indylit 20 |  |  |  |
| Indylit 10 | Indylit 10 SH 1) | Indylit 20 | Indylit 20 SH 1) | |
|---|---|---|---|---|
| 中心波長 | 1030 ± 2 nm | 515 ± 1 nm | 1030 ± 2 nm | 515 ± 1 nm |
| スペクトラル帯域幅 (FWHM) | < 4 nm | < 3 nm | – | |
| 平均出力 2) | > 10 W @ 100 kHz, > 12 W @ 1000 kHz | > 5 W @ 100 kHz,> 2 W @ 1000 kHz | > 13 W @ 100 kHz,> 18 W @ 1 MHz (代表値 20 W @ 1 MHz) | > 7 W @ 100 kHz,> 3 W @ 1 MHz |
| 最大パルスエネルギー 2) | > 100 μJ | > 50 μJ | > 130 μJ | > 70 μJ |
| パルス幅 | < 400 fs | |||
| パルス幅調整性 | 400 fs – 4 ps | N/A | 400 fs – 2 ps | N/A |
| 出力間のスイッチ時間 | < 1 秒 | |||
| 内部パルス繰り返し周波数 | 100 kHz – 1.6 MHz（バーストモードで最小 30 kHz ） | 100 kHz – 1 MHz（バーストモードで最小 30 kHz ） | ||
| パルスピッカー | 内蔵 | |||
| トリガーモード | TTLゲート経由パルスピッカー制御 | |||
| バースト長 | 1…12 pulses | |||
| 最大エネルギー（バースト時） | > 400 μJ | > 150 μJ | > 500 μJ | > 200 μJ |
| パワー減衰 3) | 100 – 1% | |||
| ビーム品質 | M² < 1.2 | |||
| ビーム円形性 4) | > 0.90 | > 0.85 | > 0.90 | > 0.85 |
| ビーム径 (1/e² levelにおいて) | 2.6 ± 0.2 mm | 2.2 ± 0.2 mm | 2.6 ± 0.3 mm | 2.2 ± 0.3 mm |
| 偏光 | 水平リニア, > 200:1 消光 | |||
| パルス前コントラスト | > 1:1000 | |||
| パルス後コントラスト | > 1:100 | |||
| ビーム発散角（全角） | < 1 mrad | |||
| ビームポインティング (RMS) 5) | < 20 μrad | |||
| ビームポインティングvs 温度 | < 20 μrad/°C | |||
| 出力安定性 (RMS) 6) | < 1% | < 2% | < 1% | < 2% |
| パルスエネルギー安定性 (RMS) 7) | < 1% | < 2% | < 1% | < 2% |
| ウォームアップ時間 (コールドスタート) | < 30 分 | |||
| ウォームアップ時間 (ウォームスタート) | < 3 分 | |||
| レーザー制御インターフェイス | CAN, USB | |||
| 駆動電圧 | 24V, 25A (100…240 V AC, 47…63 Hz to 24V AC/DC コンバータ内蔵 | |||
| 平均消費電力 (ウォームアップ後) | 300 W | |||
| 最大電力定格 | 700 W | |||
| 動作環境温度 | 18 – 32 °C 8) | |||
| 湿度 | 結露なきこと | |||
| 運搬/保存環境温度 | -20 – +70 °C | |||
| 寸法 | ||||
| レーザーヘッド (L x W x H) | 498 x 248 x 194 mm | |||
| 制御ユニット (L x W x H) | 449 x 370 x 140 mm | |||
| AC/DC コンバータ (L x W x H) | 250 x 125 x 60 mm | |||
| アンビリカル長 | 3 ± 0.1 m | |||
| 冷却:レーザーヘッド制御ユニット | 空冷(パッシブ), オプション – 水冷, 空冷ファン | |||
1) Indylit 10SH､Indylit 20SH モデルも、Indylit 10､Indylit20 モデルと同じ仕様で 1030 nm 出力を備えています。出力の切り替えはGUIまたはCANコマンドで行います。
2) 標準的な値については、パワーとエネルギー対パルス繰り返し率の曲線を参照してください。
3) 減衰はいくつかの方法で制御できます：a) PCユーザーインターフェース、b) CANレジスタ、c) アナログ入力（0 – 1 V、立ち上がり時間 < 1 μs）。ビーム品質仕様は10%パワー・レベルまで維持されています。
4) ビームのZスキャンに沿った最悪楕円率（± 5 × Lレイリー）と定義。
5) ウォームアップ30分後から8時間の運転で測定。環境温度は±1℃以内。
6) (6)と同じ条件で積分時間1秒で測定。
7) 10秒の時間間隔で1000パルス以上測定。
※ご要望により、より高い動作温度での測定も可能です。詳細はLITILITにお問い合わせください。
※本レーザーの技術は国際特許で保護されています： lt6261 (b); jp6276471 (b2); us10038297 (b2); ep3178137; dk3178137 (t3); cn106575849 (b); pl3178137 (t3); lt6639 (b); lt2020 563.
