微細加工向けフェムト秒ファイバレーザー ”Indylit”

litilit

微細加工向けフェムト秒ファイバレーザー。きわめて高い堅牢性と優れた安定性。クリーンな超短パルスにより非熱加工を実現。波長1030nm、平均パワー10W、可変パルス幅 450f~2ps

  • 極めて優れた堅牢性と安定性
  • 高パルスエネルギーと綺麗なパルス形状
  • メンテナンスフリー&ターンキー
  • 繰り返し周波数、パルス幅、出力調整可能
  • パッシブ空冷
  • 波長1030nm, 平均パワー10W以上, 可変パルス幅 450fs~2ps, 繰り返し周波数80kHz~1 MHz

Indylit 10は、様々な超高速アプリケーションに適した高エネルギーの空冷式フェムト秒レーザーです。特に産業向け微細加工に最適です。
レーザーヘッドは完全なパッシブ冷却設計(特許出願中)を採用しており、パルス幅、ビームポインティング、出力などの光学パラメータの高い安定性を確保しています。Indylitは、その高い堅牢性と安定性により、様々な不安定要素から護られた産業用フェムト秒レーザーです。

  • 材料のマイクロ加工
  • 眼科治療
  • コールドマーキング
  • 半導体、ガラス、セラミックのダイシングとスクライビング
  • ディスプレイ製造
  • 理化学研究

繰り返し周波数 vs パルスエネルギー

100μJでのパルス波形

ビーム径
モデル Indylit 10
中心波長 1030± 2 nm
平均出力※1 >10W (300~1,000 kHZ)
最大パルスエネルギー※1 >100 μJ(80 kHz), >10μJ(1 MHz)
パルス幅可変 450 fs~2 ps
内部パルス繰り返し周波数(RRi) 80 kHz ~ 1 MHz
パルスピッカー後のパルス繰り返し周波数 RRi/N、N=1,2,…
トリガーモード TTL経由パルスピッカー制御
ビーム品質 M2<1.2
ビーム真円度※2
ビーム径(1/e2 レベル)
>0.87
ビーム径(1/e2 レベル) 1.5±0.5 mm
ビーム発散(全角) <1.5 mrad
ビームポインティング(ピーク間) <30μrad(80~500 kHz), <50 μrad(0.5~1 MHz)
ビームポインティング対温度(ピーク間) <20 μrad/℃
パルスエネルギー安定性(RMS) <1.0%
パワー安定性(RMS) <1.0%
ウォームアップタイム(コールドスタート) <15分
ウォームアップタイム(ウォームスタート) <10秒
レーザー制御インターフェイス CAN, USB
電源 10…240 V AC, 47…63 Hz
平均消費電力(ウォームアップ後) <300 W
動作温度 15~35℃
湿度 結露無き事
輸送/保管温度 -20~+70℃
寸法 レーザーヘッド:483 x 204 x 186 mm、制御ユニット:449 x 368 x 140 mm
アンビリカル長 3±0.3 mm
冷却 レーザーヘッド:パッシブ空冷、制御ユニット:空冷(ファン)

※1 typ値については、出力とエネルギー対パルス繰り返し率の曲線を参照してください。
※2 z-スキャンに沿った最悪の場合の楕円率として定義されています。

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