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微細加工向けフェムト秒ファイバレーザー ”Indylit”
微細加工向けフェムト秒ファイバレーザー。きわめて高い堅牢性と優れた安定性。クリーンな超短パルスにより非熱加工を実現。波長1030nm、平均パワー10W、可変パルス幅 450f~2ps
- 極めて優れた堅牢性と安定性
- 高パルスエネルギーと綺麗なパルス形状
- メンテナンスフリー&ターンキー
- 繰り返し周波数、パルス幅、出力調整可能
- パッシブ空冷
- 波長1030nm, 平均パワー10W以上, 可変パルス幅 450fs～2ps, 繰り返し周波数80kHz～1 MHz
Indylit 10は、様々な超高速アプリケーションに適した高エネルギーの空冷式フェムト秒レーザーです。特に産業向け微細加工に最適です。
レーザーヘッドは完全なパッシブ冷却設計（特許出願中）を採用しており、パルス幅、ビームポインティング、出力などの光学パラメータの高い安定性を確保しています。Indylitは、その高い堅牢性と安定性により、様々な不安定要素から護られた産業用フェムト秒レーザーです。
- 材料のマイクロ加工
- 眼科治療
- コールドマーキング
- 半導体、ガラス、セラミックのダイシングとスクライビング
- ディスプレイ製造
- 理化学研究
| モデル | Indylit 10 |
|---|---|
| 中心波長 | 1030± 2 nm |
| 平均出力※1 | >10W (300～1,000 kHZ) |
| 最大パルスエネルギー※1 | >100 μJ（80 kHz), >10μJ（1 MHz) |
| パルス幅可変 | 450 fs～2 ps |
| 内部パルス繰り返し周波数(RRi) | 80 kHz ～ 1 MHz |
| パルスピッカー後のパルス繰り返し周波数 | RRi/N、N＝1,2,… |
| トリガーモード | TTL経由パルスピッカー制御 |
| ビーム品質 | M2<1.2 |
| ビーム真円度※2 ビーム径（1/e2 レベル） | >0.87 |
| ビーム径（1/e2 レベル） | 1.5±0.5 mm |
| ビーム発散（全角） | <1.5 mrad |
| ビームポインティング（ピーク間） | <30μrad(80～500 kHz), <50 μrad(0.5～1 MHz) |
| ビームポインティング対温度（ピーク間） | <20 μrad/℃ |
| パルスエネルギー安定性(RMS) | <1.0% |
| パワー安定性（RMS） | <1.0% |
| ウォームアップタイム（コールドスタート） | ＜15分 |
| ウォームアップタイム（ウォームスタート） | ＜10秒 |
| レーザー制御インターフェイス | CAN, USB |
| 電源 | 10…240 V AC, 47…63 Hz |
| 平均消費電力(ウォームアップ後） | <300 W |
| 動作温度 | 15～35℃ |
| 湿度 | 結露無き事 |
| 輸送/保管温度 | -20～+70℃ |
| 寸法 | レーザーヘッド：483 x 204 x 186 mm、制御ユニット：449 x 368 x 140 mm |
| アンビリカル長 | 3±0.3 mm |
| 冷却 | レーザーヘッド：パッシブ空冷、制御ユニット：空冷（ファン） |
※1 typ値については、出力とエネルギー対パルス繰り返し率の曲線を参照してください。
※2 z-スキャンに沿った最悪の場合の楕円率として定義されています。
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