微細加工向けフェムト秒ファイバレーザー ”Indylit”

微細加工向けフェムト秒ファイバレーザー。きわめて高い堅牢性と優れた安定性。クリーンな超短パルスにより非熱加工を実現。波長1030nm、平均パワー10W、可変パルス幅 450f~2ps
- 極めて優れた堅牢性と安定性
- 高パルスエネルギーと綺麗なパルス形状
- メンテナンスフリー&ターンキー
- 繰り返し周波数、パルス幅、出力調整可能
- パッシブ空冷
- 波長1030nm, 平均パワー10W以上, 可変パルス幅 450fs~2ps, 繰り返し周波数80kHz~1 MHz
Indylit 10は、様々な超高速アプリケーションに適した高エネルギーの空冷式フェムト秒レーザーです。特に産業向け微細加工に最適です。
レーザーヘッドは完全なパッシブ冷却設計(特許出願中)を採用しており、パルス幅、ビームポインティング、出力などの光学パラメータの高い安定性を確保しています。Indylitは、その高い堅牢性と安定性により、様々な不安定要素から護られた産業用フェムト秒レーザーです。
- 材料のマイクロ加工
- 眼科治療
- コールドマーキング
- 半導体、ガラス、セラミックのダイシングとスクライビング
- ディスプレイ製造
- 理化学研究
モデル | Indylit 10 |
---|---|
中心波長 | 1030± 2 nm |
平均出力※1 | >10W (300~1,000 kHZ) |
最大パルスエネルギー※1 | >100 μJ(80 kHz), >10μJ(1 MHz) |
パルス幅可変 | 450 fs~2 ps |
内部パルス繰り返し周波数(RRi) | 80 kHz ~ 1 MHz |
パルスピッカー後のパルス繰り返し周波数 | RRi/N、N=1,2,… |
トリガーモード | TTL経由パルスピッカー制御 |
ビーム品質 | M2<1.2 |
ビーム真円度※2 ビーム径(1/e2 レベル) | >0.87 |
ビーム径(1/e2 レベル) | 1.5±0.5 mm |
ビーム発散(全角) | <1.5 mrad |
ビームポインティング(ピーク間) | <30μrad(80~500 kHz), <50 μrad(0.5~1 MHz) |
ビームポインティング対温度(ピーク間) | <20 μrad/℃ |
パルスエネルギー安定性(RMS) | <1.0% |
パワー安定性(RMS) | <1.0% |
ウォームアップタイム(コールドスタート) | <15分 |
ウォームアップタイム(ウォームスタート) | <10秒 |
レーザー制御インターフェイス | CAN, USB |
電源 | 10…240 V AC, 47…63 Hz |
平均消費電力(ウォームアップ後) | <300 W |
動作温度 | 15~35℃ |
湿度 | 結露無き事 |
輸送/保管温度 | -20~+70℃ |
寸法 | レーザーヘッド:483 x 204 x 186 mm、制御ユニット:449 x 368 x 140 mm |
アンビリカル長 | 3±0.3 mm |
冷却 | レーザーヘッド:パッシブ空冷、制御ユニット:空冷(ファン) |
※1 typ値については、出力とエネルギー対パルス繰り返し率の曲線を参照してください。
※2 z-スキャンに沿った最悪の場合の楕円率として定義されています。
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